技术特征：
技术总结
本发明公开了一种薄膜驱动结构，包括：具有多个流体通道的基底；位于所述基底上的薄膜层，所述薄膜层的位于所述流体通道上的部分凸起，以形成与所述流体通道连通的压力腔；位于所述薄膜层的避开所述流体通道的部分上的支撑壁。本发明也公开了一种薄膜驱动结构的制造方法。本发明还公开了一种包括上述薄膜驱动结构的喷墨装置。通过本发明的薄膜驱动结构的制造方法所制出的薄膜驱动结构，压力腔与悬空薄膜是一个整体，大大提高了制造精度，且工艺简单、成本较低，可适用于薄膜驱动结构的批量化生产。
技术研发人员：谢永林;李令英;刘迪;钱波;张小飞;王文浩;周岩
受保护的技术使用者：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
技术研发日：2018.03.09
技术公布日：2019.09.17