专利名称：具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备，尤指在电镀槽内的每一隔槽内装设数根夹具头、隔板、导电体，并与多孔板及弱电解板所组装形成具有多组式晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备。
背景技术：
目前，在市面上装设有单一电镀槽作为晶圆的电镀设备，其缺点是产生电镀液使用量多易老化变质，无法作多片式的电镀作业，另有改良式的单槽串连装设形成多槽进行晶圆电镀作业，改机体可以作多片电镀作业，但是装设设备的成本增加，不符合成本效率，况且电镀的作业性困难提高
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备。本实用新型具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备，主要系在电镀槽内的隔槽内装设数根夹具头(11，12，13，14，15)、导电体(21，22，23，24，25)、隔板(31，32，33，34,35)与多孔板(F)、弱电解板(Gl，G2)及波浪板(S)所组成，其特征在于，导电体系由圆孔长方体上方装设一导电杆，而圆孔长方体的前端置入金属网后再装上圆孔方体所组装成，其导电体装设在隔板与间隔板之间与前端装设夹具头，而电镀槽的上方装设波浪板其下方装设一多孔板，其左侧装设弱地电解板，电镀槽左侧下方装设一出水口，而侧端面连接数根连接管、数个计量器、并以连接管连接加热器、过滤器、泵连接开关、计量器至电镀槽，以循环回流管作为回流进行电镀作业。其中，电镀槽系指上盖板、底座板、侧板、间隔板及支撑板所组成并形成数个隔槽。其中，圆孔长方体的上方两侧装设圆孔洞与下方装设一圆孔，而圆孔方体的中央亦装设一圆孔。其中，弱电解板系由上端板下方连接两根支撑板再连接浪板，弱电解板系指上端板两侧为L型端面板及两者之间装设一多孔板体，弱电解板装设在隔槽内的右侧，弱电解板装设在隔槽内的左侧。其中，所述的金属网指钛金属网、铜金属网及镍金属网。本实用新型可以多片进行晶圆电镀，当晶圆在电镀槽结构内进行电镀加工可以提高作业的效率及结省工时。
图I为本实用新型的具有多组式晶圆电镀结构体的电镀槽侧面剖视图。图2为本实用新型的具有多组式晶圆电镀结构体的电镀槽侧面前视图。图3为本实用新型的夹具头、导电体与电镀槽结合剖面图。[0013]图4为本实用新型的具有多组式晶圆电镀结构体的电镀槽上视图。图5为本实用新型的具有多组式晶圆电镀结构体的电镀槽的多孔板示意图。图6为本实用新型的导电体与电镀槽结合剖面图。图7为本实用新型的导电体的立体图。图8为本实用新型的导电体立体分解图。图9(a)为本实用新型的导电体前视图。图9(b)为本实用新型的导电体侧视图。图10为本实用新型的弱电解板示意图之一。
图12为本实用新型的多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备实施例图之
O图13为本实用新型的多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备实施例图之
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具体实施方式
一种具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备，主要系在电镀槽I’内的隔槽内装设数根夹具头11，12，13，14，15、导电体21，22，23，24，25、隔板31，32，33，34，35与多孔板F、弱电解板Gl，G2及波浪板S所组成如图1，2，4，5所示，其中电镀槽I’系指上盖板A、底座板C、侧板BI, B2、间隔板El, E2，E3，E4，E5及进水管Dl, D2，D3，D4，D5所组成并形成数个隔槽111，!12，!13，！14，册，册如图1，2，3，4，5。请参阅如图6，7，8，9所示举例导电体21系由圆孔长方体212上方装设一导电杆211，而圆孔长方体212的前端置入金属网213后再装上圆孔方体214组装成，其中圆孔长方体212的上方两侧装设圆孔洞K1，K2，其下方装设一圆孔212’而圆孔方体214的中央装设一圆孔214相对圆孔212’，并装设在电镀槽I’的每一隔槽!11，!12，!13，!14，册，册内隔板31，32，33，34，35与间隔板Ε1，Ε2，Ε3，Ε4，Ε5之间，请参阅图10与图11所示的弱电解板Gl系由上端板Gl I下方连接两根支撑板G12再连接浪板G12 ’，弱电解板Gl系指上端板G21两侧为L型端面板G22及两者之间装设一多孔板体G23，弱电解板Gl装设在隔槽Η6内的右侧，弱电解板G2装设在隔槽Η6内的左侧。请参阅图1，3，4，5，6，12，13所示，夹具头11，12，13，14，15装设在导电体31，32，33，34，35与隔板21，22，23，24，25的前端，数个隔槽Η1，Η2，Η3，Η4，Η5，Η6下方与电镀槽I ’的底座板C之间装设一多孔板F，而弱电解板Gl，G2则装设在左侧隔槽Η6内，并在电镀槽’左侧下方装设一出水口 0，而侧端面连接数根连接管e、数个计量器f、并以连接管e连接加热器hi、过滤器h2、泵h3连接开关g、计量器f至电镀槽I’，以循环回流管作为回流进行电镀作业，本实用新型可以多片进行晶圆电镀，当晶圆在电镀槽结构内进行电镀加工可以提高作业的效率及结省工时。
权利要求1.一种具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备，主要系在电镀槽内的隔槽内装设数根夹具头(11，12，13，14，15)、导电体(21，22，23，24，25)、隔板(31，32，33，34，35)与多孔板(F)、弱电解板(Gl，G2)及波浪板(S)所组成，其特征在于，导电体由圆孔长方体上方装设一导电杆，而圆孔长方体的前端置入金属网后再装上圆孔方体所组装成，其导电体装设在隔板与间隔板之间与前端装设夹具头，而电镀槽的上方装设波浪板其下方装设一多孔板，其左侧装设弱地电解板，电镀槽左侧下方装设一出水口，而侧端面连接数根连接管、数个计量器、并以连接管连接加热器、过滤器、泵连接开关、计量器至电镀槽，以循环回流管作为回流进行电镀作业。
2.如权利要求I所述的电镀槽组合改良设备，其特征在于，电镀槽系指上盖板、底座板、侧板、间隔板及支撑板所组成并形成数个隔槽。
3.如权利要求I所述的电镀槽组合改良设备，其特征在于，圆孔长方体的上方两侧装设圆孔洞与下方装设一圆孔，而圆孔方体的中央亦装设一圆孔。
4.如权利要求I所述的电镀槽组合改良设备，其特征在于，弱电解板系由上端板下方连接两根支撑板再连接浪板，弱电解板系指上端板两侧为L型端面板及两者之间装设一多孔板体，弱电解板装设在隔槽内的右侧，弱电解板装设在隔槽内的左侧。
5.如权利要求I所述的电镀槽组合改良设备，其特征在于，所述的金属网选自钛金属网、铜金属网及镍金属网。
专利摘要本实用新型公开一种具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备，主要在电镀槽内的数个隔槽内装设数根夹具头、隔板、导电体、多孔板、波浪板及弱电解板所组成，侧端面连接数根连接管、数个计量器、并以连接管连接加热器、过滤器、泵连接开关、计量器至电镀槽，以循环回流管作为回流进行电镀作业，本实用新型可以多片进行晶圆电镀作业，当晶圆在电镀槽结构内进行电镀加工可以提高作业的效率及结省工时。
文档编号C25D7/12GK202465931SQ20112050967
公开日2012年10月3日 申请日期2011年12月8日 优先权日2011年12月8日
发明者温进浪 申请人:温进浪