技术总结
本发明涉及一种对OLED制造设备进行表面处理的方法，该方法包括对金属表面进行预处理；采用刻蚀液对经预处理的金属表面进行刻蚀；采用三嗪系化合物作为电镀液对经刻蚀的金属表面进行电镀；其中，所述三嗪化合物为C3N3S2HK—SH或C3N3S2HK—N(C6H13)2。本发明采用该方法对OLED制造设备的处理能够增加OLED制造设备的工艺使用周期，降低蒸镀材料包裹制造设备后，产生脱落与崩裂的概率，减少颗粒的干扰和污染。
技术研发人员：郭建利
受保护的技术使用者：北京蜃景光电科技有限公司
技术研发日：2018.07.23
技术公布日：2018.09.18