专利名称：真空泵滤网结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单多晶真空泵系统防尘装置领域，特别是一种真空泵滤网结构。
背景技术：
现有单多晶炉台都安装有过滤装置，炉内带颗粒会发物质的热气流从过滤装置顶部往下最后流入泵油内，现有的过滤装置的内部支撑架外围原本覆盖的滤网为单层的、整体式的，如
图1所示。
实用新型内容本实用新_要解决的技术问题是共一种真空泵滤网结构，延长滤网，泵油—。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种真空泵滤网结构，滤网为圆筒形，包括四周的筒状侧面滤网和顶部、底部的端部滤网，在筒状侧面滤网内部增设至少一层中间滤网。添加的多层滤网，可有效阻挡固体颗粒进入到泵油内。筒状侧面滤网由整张滤网围成，接缝处通过可拆卸连接结构连接，筒状侧面滤网和端部滤网之间通过可拆卸连接结构连接，中间滤网与筒状侧面滤网之间通过可拆卸连接结构连接。通过引入可拆卸连接结构，在局部滤网破损时只需单独更换该局部滤网，可有效降低因为局部破损引起的整体滤网的更换带来的成本损耗。可拆卸连接结构为拉链。本实用新型的有益效果是通过增加滤网减少单位时间内进入泵油的固体颗粒的量，延长滤网，泵油以及真空泵的使用寿命。当局部滤网有破损时可单独卸下，替换新的少量的滤网上去就能解决，避免滤网浪费问题。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；
图1是现有真空泵滤网结构的结构示意图；图2是本实用新型的结构示意图；图3是本实用新型的剖面图；图中，1.筒状侧面滤网，2.端部滤网，3.中间滤网，4.拉链。
具体实施方式
如图2和3所示，一种真空泵滤网结构，滤网为圆筒形，包括四周的筒状侧面滤网 1和顶部、底部的端部滤网2，在筒状侧面滤网1内部增设至少一层中间滤网3。筒状侧面滤网1由整张滤网围成，接缝处通过可拆卸连接结构连接，筒状侧面滤网1和端部滤网2之间通过可拆卸连接结构连接，中间滤网3与筒状侧面滤网1之间通过可拆卸连接结构连接。可拆卸连接结构为拉链4。当局部滤网有破损时可单独卸下，替换新的少量的滤网上去就能解决，滤网浪费问题。
权利要求1.一种真空泵滤网结构，其特征是所述的滤网为圆筒形，包括四周的筒状侧面滤网 (1)和顶部、底部的端部滤网O)，在筒状侧面滤网(1)内部增设至少一层中间滤网(3)。
2.根据权利要求1所述的真空泵滤网结构，其特征是所述的筒状侧面滤网(1)由整张滤网围成，接缝处通过可拆卸连接结构连接，筒状侧面滤网(1)和端部滤网( 之间通过可拆卸连接结构连接，中间滤网(3)与筒状侧面滤网(1)之间通过可拆卸连接结构连接。
3.根据权利要求1所述的真空泵滤网结构，其特征是所述的可拆卸连接结构为拉链⑷。
专利摘要本实用新型涉及单多晶真空泵系统防尘装置领域，特别是一种真空泵滤网结构，滤网为圆筒形，包括四周的筒状侧面滤网和顶部、底部的端部滤网，在筒状侧面滤网内部增设至少一层中间滤网。添加的多层滤网，可有效阻挡固体颗粒进入到泵油内。筒状侧面滤网由整张滤网围成，接缝处通过可拆卸连接结构连接，筒状侧面滤网和端部滤网之间通过可拆卸连接结构连接，中间滤网与筒状侧面滤网之间通过可拆卸连接结构连接。通过引入可拆卸连接结构，在局部滤网破损时只需单独更换该局部滤网，可有效降低因为局部破损引起的整体滤网的更换带来的成本损耗。
文档编号F04B39/16GK202140282SQ201120225889
公开日2012年2月8日 申请日期2011年6月30日 优先权日2011年6月30日
发明者孙恺, 张晓洪 申请人:常州天合光能有限公司