技术总结
本发明涉及一种真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。真空泵装置(1)具备主泵(10)和增压泵(20)。各泵具备进气口(11a、21a)和排气口(11b、21b)。主泵(10)的进气口(11a)与增压泵(20)的排气口(21b)连通。开关接受用于使主泵(10)启动的启动指示。在开关接受启动指示而主泵10启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵20，进而启动增压泵20。由此，能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。
技术研发人员：林介元;岩崎弘一;大须贺透;石井勇次;河嶌浩康;岛田圣二
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
技术研发日：2018.04.11
技术公布日：2018.10.23