本发明涉及一种具备主泵及增压泵的真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。
背景技术：
近年，能够在大气压下动作且容易得到干净的真空环境的干式真空泵作为半导体制造设备的组件或者作为液晶的制造设备等而被使用于广阔的领域。以往，在内置主泵(MP)和增压泵(BP)的干式真空泵的运转中，泵控制部、压力传感器、主泵逆变器以及增压泵逆变器被使用。并且，在增压泵的启动中，压力传感器是必要的。其理由如下。
主泵和增压泵分别具备进气口和排气口，主泵的进气口与增压泵的排气口连通。增压泵的进气口是真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是真空泵装置的排气侧。在连接增压泵的排气口与主泵的进气口的配管配置有压力传感器。压力传感器对该配管内的压力进行检测。启动增压泵的时机为：泵控制部判断由压力传感器检测出的压力值是否适当，若适当，则泵控制部将启动信号输出到增压泵逆变器。
不同时启动主泵和增压泵的理由如下。因为对于增压泵来说，若增压泵与主泵之间的配管的压力未变为规定压力以下的真空，则增压泵的负载大，增压泵不能稳定地运转。因此，在通过主泵的运转而将主泵与增压泵之间的配管真空化之后启动增压泵。
干式真空泵的启动、停止以往如以下那样进行。通过使用者的启动开关的操作而启动主泵。泵控制部判断主泵与增压泵之间的配管的压力是否变为规定压力以下的真空。当判断为变为规定压力以下的真空时，泵控制部对增压泵逆变器发送指令而启动增压泵。
当通过使用者的停止开关的操作或者主泵内的警报发生而停止主泵时，泵控制部对增压泵逆变器发送指令而停止增压泵。另一方面，当通过增压泵内的警报发生而停止增压泵时，泵控制部判断是否停止主泵，在判断为不需要停止主泵时，主泵不停止。其理由如下。即使增压泵停止，但若主泵运转，则应该为真空的容器内的压力上升的速度被抑制。另外，也是因为在增压泵的停止是根据增压泵特有的理由而停止的情况下，主泵被认为是正常的。因此，是否使主泵的运转持续，依赖于真空系统的使用者或者设计者的设计思想。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第4218756号
在以往的内置主泵和增压泵的干式真空泵中，为了适当地进行增压泵的启动，需要压力传感器和压力传感器的信号处理电路。因此，需要压力传感器用的设置空间，使真空泵大型化。另外，用于压力传感器和其信号处理电路的成本导致真空泵造价高。
技术实现要素：
本发明的一个方式是为了消除这样的问题而完成的，其目的在于提供一种与以往相比更小型并且低成本的真空泵。
为了解决上述课题，在第一方式中采用如下结构的运转控制装置，该运转控制装置用于具备主泵和增压泵的真空泵装置，其特征在于，所述各泵具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，所述运转控制装置具备：启动指示接受部，该启动指示接受部接受用于使所述主泵启动的启动指示；以及增压泵启动部，该增压泵启动部在所述启动指示接受部接受所述启动指示而所述主泵启动时，基于所述启动指示来判定是否启动所述增压泵，进而启动所述增压泵。
在本实施方式中，没有压力传感器和压力传感器的信号处理电路，并且不使用压力传感器就能够启动主泵和增压泵。因此，在启动指示接受部接受启动指示而主泵启动时，增压泵启动部基于启动指示来判定是否启动增压泵，进而启动增压泵。由于没有压力传感器和压力传感器的信号处理电路，因此能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。
即使无压力传感器也能够运转的理由如下。以往，不同时启动主泵和增压泵的理由是因为，对于增压泵来说，若增压泵与主泵之间的配管内的压力未变为规定压力以下的真空，则增压泵的负载较大，增压泵不能稳定运转。以往，在通过主泵的运转而使主泵与增压泵之间的配管真空化之后，启动增压泵。
在主泵的启动后，当其转速超过规定的值且经过规定的时间时，主泵与增压泵之间的压力被推测为变为能够启动增压泵的级别的压力。这是由于，主泵的进气侧(上级侧)的容积并非无限大。在真空泵装置的进气侧设置有应变为真空的容器。干式真空泵对该容器内的气体进行排气而使容器内变为真空。容器的体积有限，因此主泵的进气侧(上级侧)的容积并非无限大。由以上可知，仅知道在主泵的启动后经过了规定的时间，就能够安全地启动增压泵。另外，当在主泵的停止后仅经过短时间时，配管内的真空度大致不降低，因此能够在主泵的启动后，立即安全地启动增压泵。
能够启动增压泵所需的时间，或者，能够启动所需的主泵的转速能通过实验等确定。然而，在设想外的事态的情况下，即，在容器的容积远比泵设计时的设想大的情况、容器因失误等而未被密闭的情况、因破损等而相对于容器有从外部流入气体的情况下，有以下的处置方法。在这样的情况下，有时即使主泵变为规定转速且经过预定的时间，主泵与增压泵之间的压力也未达到使增压泵稳定运行的充分的真空。在该情况下，流到增压泵用马达的电流变大，因此利用增压泵的逆变器装置对增压泵用马达的电流进行检测，并生成增压泵过电流警报。当检测到增压泵过电流警报时使增压泵停止。此外，将表示增压泵的停止的信号从增压泵用的逆变器装置的数字输出部传递到主泵逆变器装置的数字输入部，从而使主泵停止，使泵系统安全地停止。
在第二方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，所述增压泵启动部在所述启动指示接受部接受了所述启动指示时判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。
在第三方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，在所述启动指示接受部接受了所述启动指示之后并且经过了规定时间时，所述增压泵启动部判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。
在第四方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，在所述启动指示接受部接受了所述启动指示之后，并且经过所述规定时间且所述主泵的转速为规定数以上时，所述增压泵启动部判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。
在第五方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，在所述启动指示接受部接受了所述启动指示之后，经过所述规定时间且所述主泵的转速为规定数以上，并且驱动所述主泵的马达的电流值为规定值以下时，所述增压泵启动部判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。
在本实施方式中，在驱动主泵的马达的电流值为规定值以下时，判定为能够启动增压泵的理由如下。由于没有压力传感器，因此不能实际测量主泵与增压泵之间的压力，因此是否达到增压泵的稳定运行所需要的压力要根据实验等的结果推测。使该推测的精度提高的一个方法是本实施方式的方法。在本实施方式中，当主泵达到规定的转速时，监视主泵的电流，并且若在主泵的电流下降到规定的值之后经过了规定的时间，则启动增压泵。
流到主泵马达的电流与被导入到主泵的气体的流量成比例。即，在开始运转后不久，容器内压力高的情况下，主泵电流高。当容器内的气体被排气而主泵上级的压力降低时，主泵的电流降低。根据该事实，基于转速、电流及时间来进行推测与基于转速、时间来进行推测相比，能够更高精度地推测主泵的上级侧的压力。因此，能够可靠地把握增压泵的旋转开始的条件成立的情况，能够降低增压泵启动时的警报发生的可能性。
在第六方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，所述运转控制装置具备：停止指示接受部，该停止指示接受部接受用于使所述主泵停止的停止指示；以及增压泵停止部，该增压泵停止部在所述停止指示接受部接受所述停止指示而所述主泵停止时，基于所述停止指示来判定是否停止所述增压泵，进而停止所述增压泵。
在第七方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，所述运转控制装置具备：主泵异常检测部，该主泵异常检测部对所述主泵的异常进行检测；以及异常时停止部，该异常时停止部在所述主泵异常检测部检测到所述主泵的异常时，停止所述主泵和所述增压泵。
在第八方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，所述运转控制装置具备：增压泵异常检测部，该增压泵异常检测部对所述增压泵的异常进行检测；以及增压泵异常时停止部，该增压泵异常时停止部在所述增压泵异常检测部检测到所述增压泵的异常时，使所述增压泵停止，而不使所述主泵停止。
在本实施方式中，在增压泵停止时，不使主泵。其理由是由于在增压泵停止时不一定必须使主泵停止。即使增压泵停止，若主泵运转，则容器内的压力上升的速度被抑制。因此，在增压泵由于增压泵特有的理由而停止的情况下，是使主泵停止还是使主泵持续运转取决于真空系统的设计思想。在使用者等希望主泵的运转持续的情况下，也可以不将用于使增压泵停止的信号从增压泵用的数字输出部发送到主泵用的数字输入部。另外，即使假设发送信号且主泵接受到增压泵停止的信号，也可以不使主泵停止。
在第九方式中采用如下结构的运转控制装置，其特征在于，所述运转控制装置具备信号输入部，该信号输入部被从外部输入用于控制所述主泵及/或所述增压泵的转速的信号。
在第十方式中采用如下结构的运转控制方法，该运转控制方法用于具备主泵和增压泵的真空泵装置，其特征在于，所述各泵具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，所述运转控制方法具备：接受用于使所述主泵启动的启动指示的步骤；以及在接受所述启动指示而所述主泵启动时，基于所述启动指示来判定是否启动所述增压泵，进而启动所述增压泵的步骤。
附图说明
图1是表示具有本发明的一个实施方式所涉及的运转控制装置的真空泵装置的概略结构的框图。
图2是表示具有比较例所涉及的运转控制装置的真空泵装置的概略结构的框图。
图3是表示主泵逆变器41的结构的框图。
图4是表示逆变器控制电路66内部的信号的流动的框图。
图5是表示主泵10的逆变器控制电路66与增压泵20的逆变器控制电路66之间的信号的交换的框图。
图6是表示主泵10与增压泵20的启动、停止的时机的关系的图。
图7是表示主泵10与增压泵20的启动、停止的时机的关系的图。
符号说明
1 真空泵装置
41 主泵逆变器
42 增压泵逆变器
64 逆变器主电路
66 逆变器控制电路
72 警报检测部
74 温度检测部
76 电流检测部
78 转速检测部
80 数字信号检测部
82 数字信号输出部
84 模拟信号检测部
86 开关
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，在以下的各实施方式中，对相同或者相当的部件附加相同符号并省略重复的说明。
图1是表示本发明的一个实施方式所涉及的具有运转控制装置的真空泵装置的概略结构的框图。如图所示，真空泵装置1具备双轴容积型的干式真空泵的主泵10和增压泵20。主泵10具有泵部102和马达部(泵驱动用电动机)104。泵部102具备进气口11a和排气口11b。另外，增压泵20具有泵部202和马达部(泵驱动用电动机)204。泵部202具备进气口21a和排气口21b。
通过连结管31连接而使主泵10的进气口11a与增压泵20的排气口21b连通。通过连结管92连接而使增压泵20的进气口21a与容器(未图示)的排气口(未图示)连通，从而构成真空泵装置1。并且，将增压泵20的进气口11a作为真空泵装置1的进气侧，将主泵10的排气口11b作为真空泵装置1的排气侧。通过使主泵10及增压泵20的马达部104、204与泵部102、202运转，容器内的气体如箭头A所示那样从增压泵20的进气口21a被吸引。被吸引的气体从增压泵20的排气口21b吸入到主泵10的进气口11a，并且如箭头B所示那样从排气口11b被排出。
主泵逆变器41通过供电线L1而将驱动电流供给到马达部104(泵驱动用电动机)。增压泵逆变器42通过供电线L2而将驱动电流供给到马达部204(泵驱动用电动机)。主泵逆变器41与增压泵逆变器42经由信号线50而传递用于启动或者停止的信号。用于启动或者停止的信号的详细情况后述。
真空泵装置1的启动、停止大致如以下那样进行。通过使用者的启动停止开关的操作，启动停止指示60被输入到主泵逆变器41，泵部102启动。主泵逆变器41经由信号线50而传递用于启动泵部202的信号。泵部202通过该信号启动。
关于停止，如以下所述。当在主泵10的泵部102发生警报而泵部102停止时，主泵逆变器41经由信号线50而传递用于停止泵部202的信号。泵部202通过该信号停止。
当在增压泵20的泵部202发生警报而增压泵停止时，主泵10不停止。此时，增压泵20通过增压泵逆变器42的重试功能而再一次启动。
当通过使用者的启动停止开关的操作而停止主泵10时，主泵逆变器41经由信号线50而传递用于停止泵部202的信号。泵部202通过该信号停止。此外，增压泵逆变器42具有依靠外部模拟电压62的增压泵转速控制的功能。
在此，为了与本实施方式比较，在图2表示在增压泵的启动中需要压力传感器的真空泵装置52。图2是表示比较例所涉及的具有运转控制装置的真空泵装置52的概略结构的框图。在连接增压泵20的泵部202的排气口21b与主泵10的泵部102的进气口11a的连结管31配置有压力传感器54。压力传感器54对该连结管31内的压力进行检测。压力传感器54所检测的压力被发送到泵控制部56。为了对启动增压泵20的泵部202的时机进行检测，泵控制部56判断在压力传感器54测出的压力值是否为适当的值。若压力值适当，则泵控制部56将启动信号58输出到增压泵逆变器421。
通过图3对本实施方式中的主泵逆变器41进行说明。图3是表示主泵逆变器41的结构的框图。增压泵逆变器42是与主泵逆变器41大致相同的结构。对于不同的点，在以下的主泵逆变器41的说明中提及。对于与增压泵逆变器42相关的未提及的主泵逆变器41的部分，主泵逆变器41与增压泵逆变器42具有相同的结构、动作。
主泵逆变器41具有：逆变器主电路64，该逆变器主电路64对马达部104供给交流的电流而驱动马达部104；逆变器控制电路66，该逆变器控制电路66依照从外部输入的各种信号来控制逆变器主电路64从而间接进行马达部104的运转；以及控制电路用电源70，该控制电路用电源70依靠输入到主泵逆变器41的电源68生成逆变器控制电路66的驱动所需要的低电压的直流电源。一般而言，在主泵逆变器41输入有AC的100V、200V、400V等。另一方面，逆变器控制电路66由DC的3.3V、5V、12V等驱动。逆变器控制电路66进行基于向逆变器控制电路66的输入信号的警报检测、显示及目标转速等的记录、逆变器的运转历史的记录。主泵10的逆变器控制电路66、增压泵20的逆变器控制电路66以及开关86构成运转控制装置。
主泵逆变器41还具有警报检测部72、温度检测部74、电流检测部76以及转速检测部78。警报检测部72在马达部104超过规定的电流、温度、转速的情况下，或者在即使从泵部102启动开始经过一定时间也未达到指定转速的情况下，将警报检测信号108输出到数字信号检测部80。对于数字信号检测部80中的警报检测信号108的处理后述。
电流、温度、转速的检测由下述的电流检测部76、温度检测部74、转速检测部78进行。如图4所示，电流检测部76、温度检测部74、转速检测部78将各自的检测结果输出到警报检测部72。图4是表示逆变器控制电路66内部的信号的流动的框图。
温度检测部74被输入来自设置于主泵逆变器41的外部的温度传感器的温度信号，并且将该温度信号变换为规定的形式的温度信息。将变换了的信息传递到警报检测部72。温度检测部74是模拟电路或者具有A/D变换功能的CPU。通过对主泵10的各部分温度进行测定而能够推测泵的负载。温度传感器例如设置于泵部102主体、马达部104。温度传感器有时也设置于增压泵20的进气口21a的前段、主泵10与增压泵20之间、主泵10的排气口11b的后段的配管94。
电流检测部76被输入来自电流传感器的信号，并且将该信号变换为规定的形式的电流信息。将变换了的信息传递到警报检测部72。电流检测部76是模拟电路或者具有A/D变换功能的CPU。电流传感器例如设置于主泵逆变器41的输出部、输入部及马达部104。电流传感器例如是霍尔电流检测器。霍尔电流检测器通过磁铁芯和磁传感器(霍尔元件)的组合而非接触地测定与电流成比例发生的磁通，从而对电流进行测定。
转速检测部78根据由电流检测部76得到的马达电流而得到马达的转速。转速检测部78根据马达电流的波形的变形来推定马达的磁极的位置并且连续地推定马达磁极的位置，从而得到马达的转速。代替使用马达电流，也可以在马达设置磁极传感器、转速传感器，并将由这些传感器得到的传感器信号读入转速检测部，从而对马达转速进行检测。在该情况下，与根据电流的转速推测相比，能够容易且高精度地把握马达的相位，因此能够更稳定地控制马达。
主泵逆变器41还具有电压频率控制部100、数字信号检测部80、数字信号输出部82以及模拟信号检测部84。电压频率控制部100通过控制逆变器主电路64而对马达部104施加具有规定的频率和电压的电信号。电压频率控制部100通过控制逆变器主电路64而使马达部104启动或者停止。
数字信号检测部80对来自用于启动及停止真空泵装置1的开关86的开关信号88(模拟信号或数字信号)、来自上(下)位装置的作为数字信号的启动/停止信号、来自上(下)位装置的数字信号(TH温度信号、警报信号等)进行检测。数字信号检测部80在主泵10启动时基于启动指示而判定是否启动增压泵20，并且数字信号检测部80具有启动增压泵20的增压泵启动部等的功能，但关于该点后述。
接受用于使主泵10启动的启动指示的启动指示接受部即开关86输出开关信号88。启动指示通过真空泵装置1的使用者对开关86进行操作而被输入。开关86被使用者用来对主泵10的启动及停止进行指示。即，开关86是接受用于使主泵停止的停止指示的停止指示接受部。停止指示通过真空泵装置1的使用者对开关86进行操作而被输入。是启动指示还是停止指示例如通过开关信号88的电压是高电平还是低电平来识别。
主泵逆变器41的数字信号检测部80识别来自开关86的开关信号88是高电平还是低电平。基于识别结果而将启动信号或者停止信号作为信号106输出到电压频率控制部100。信号106是启动指示还是停止指示例如通过信号106的电压是高电平还是低电平来识别。接受了信号106的电压频率控制部100对逆变器主电路64进行控制而使主泵10启动或者停止。此外，数字信号检测部80将识别结果输出到数字信号输出部82。
增压泵逆变器42的数字信号检测部80对主泵逆变器41的数字信号输出部82输出的数字信号即启动/停止信号进行检测。接受了主泵逆变器41的数字信号输出部82输出的数字信号即启动/停止信号的增压泵逆变器42的数字信号检测部80识别是启动信号还是停止信号。基于识别结果而将启动信号或者停止信号输出到增压泵逆变器42的电压频率控制部100。接受了这些信号的电压频率控制部100对逆变器主电路64进行控制而使增压泵20启动或者停止。
数字信号检测部80能够接受来自开关86的信号，也能够接受数字信号的启动信号/停止信号。是通过开关86来进行启动/停止(主泵逆变器41的情况)还是通过数字信号来进行启动停止(增压泵逆变器42的情况)，有如下两种方法：a)预先在逆变器装置中进行设定的方法，b)将依照哪一种指示作为数字信号而从外部输入的方法。
主泵逆变器41及增压泵逆变器42的数字信号检测部80对TH温度信号、警报信号等进行检测。此外，TH(thermal protector，热保护器)是用于防止马达的过热的温度传感器，并且是当马达温度达到规定温度时温度传感器的内部接点变为断开的温度传感器。数字信号检测部80根据TH温度信号而对温度传感器的内部接点变为断开的情况进行检测。对变为断开的情况进行检测的方法有例如以当变为断开时TH温度信号从低电平变为高电平的方式构成电路的方法。
数字信号输出部82被输入来自数字信号检测部80的启动停止信号，并且将数字信号(启动(停止)信号96)输出到上(下)位装置。即，如图5所示，主泵逆变器41的数字信号输出部82将启动(停止)信号96输出到增压泵逆变器42的数字信号检测部80。增压泵逆变器42的数字信号输出部82将警报信号输出到增压泵逆变器42的数字信号输出部82。图5是表示主泵10的逆变器控制电路66与增压泵20的逆变器控制电路66之间的信号的交换的框图。
主泵逆变器41的数字信号检测部80是在启动指示接受部(开关86)接受启动指示而主泵逆变器41的泵部102启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵逆变器42的泵部202，进而启动泵部202的增压泵启动部。判定方法根据真空泵装置1的用途、状态、特性而有多种。
例如图6所示，在开关86接受了启动指示之后并且经过了规定时间90(增压泵启动延迟时间)时，主泵逆变器41的数字信号检测部80判定为能够启动增压泵20，并且启动增压泵20。此时，数字信号检测部80将用于启动增压泵20的信号发送到数字信号输出部82。数字信号输出部82将启动信号发送到增压泵20的数字信号检测部80。图6是表示主泵10与增压泵20的启动、停止的时机的关系的图。
在此，规定时间90有为0秒的情况。即，主泵逆变器41的数字信号检测部80有在开关86接受了启动指示时判定为能够启动增压泵20并且启动增压泵20的情况。在增压泵20停止之后，在经过的时间较短时，连结管31内的真空度未降低，因此能够立即启动增压泵20。
也可以在开关86接受了启动指示之后并且经过规定时间且主泵10的转速为规定数以上时，主泵逆变器41的数字信号检测部80判定为能够启动增压泵20，并且启动增压泵20。转速从转速检测部78作为信号110而被发送到数字信号检测部80。通过考虑转速而能够认为连结管31内的真空度可靠地降低。
也可以在开关86接受了启动指示之后，经过规定时间且主泵10的转速为规定数以上，并且驱动主泵的马达的电流值为规定值以下时，主泵逆变器41的数字信号检测部80判定为能够启动增压泵20，并且启动增压泵20。电流值从电流检测部76作为信号112而被发送到数字信号检测部80。通过考虑马达的电流值和转速而能够认为连结管31内的真空度更可靠地降低。
主泵逆变器41的逆变器控制电路66具有停止指示接受部(开关86)和增压泵停止部(数字信号检测部80)，停止指示接受部(开关86)接受用于使主泵10停止的停止指示，增压泵停止部(数字信号检测部80)在开关86接受停止指示而主泵10停止时，基于停止指示来判定是否停止增压泵20。在该情况下，如图6中时刻114所示，在主泵10的停止同时，增压泵20也停止。
此时，数字信号检测部80对电压频率控制部100发送停止信号，以停止主泵10，并且对数字信号输出部82发送停止信号，以停止增压泵20。
运转控制装置具备主泵异常检测部(主泵10的警报检测部72)和异常时停止部(主泵10以及增压泵20的数字信号检测部80)，主泵异常检测部(主泵10的警报检测部72)对主泵10的异常进行检测，异常时停止部(主泵10以及增压泵20的数字信号检测部80)在警报检测部72检测到主泵10的异常时停止主泵10和增压泵20。即，主泵10以及增压泵20的数字信号检测部80经由电压频率控制部100而分别使主泵10以及增压泵20的逆变器主电路64停止。
作为信号的流动，关于主泵10的停止，信号从主泵10的警报检测部72向数字信号检测部80，并且从数字信号检测部80向电压频率控制部100流动，进而主泵10停止。另外，关于增压泵20的停止，信号从主泵10的警报检测部72向数字信号检测部80，从数字信号检测部80向数字信号输出部82，从数字信号输出部82向增压泵20的数字信号检测部80，并且从数字信号检测部80向电压频率控制部100流动，进而增压泵20停止。
运转控制装置也可以具备增压泵异常检测部(增压泵20的警报检测部72)和增压泵异常时停止部(增压泵20的数字信号输出部82)，增压泵异常检测部(增压泵20的警报检测部72)对增压泵20的异常进行检测，增压泵异常时停止部(增压泵20的数字信号输出部82)在增压泵异常检测部检测到增压泵20的异常时使增压泵停止，而不使主泵停止。
此时，为了停止增压泵20，信号从增压泵20的警报检测部72向数字信号检测部80，并且从数字信号检测部80向电压频率控制部100流动，进而增压泵20停止。停止信号不从增压泵20向主泵10流动。是停止主泵还是不停止，如已述那样取决于真空泵装置1的设计思想。
运转控制装置具备信号输入部(模拟信号检测部84)，该信号输入部(模拟信号检测部84)被从外部输入用于控制主泵10及/或增压泵20的转速的信号。以下，对此进行说明。图3所示的模拟信号检测部84被从外部以模拟的形式输入信号。信号可以是例如4至20mA这样的电流信号。另外，信号也可以是0至5V、1至10V这样的电压信号。通过被输入的信号来变更马达部104或者马达部204的目标转速。例如，在通过4至20mA信号来进行变更的情况下，若输入有4mA，则使泵目标转速降低。与输入的电流成比例地使目标转速上升，在20mA下为额定转速。泵使用者在不要求泵排气性能的场合，能够通过降低泵的转速来实现泵的消耗电力的降低。
也可以通过数字信号代替模拟信号来变更转速。在该情况下，使用预先设定于逆变器装置的目标转速A、目标转速B中的哪一个，由数字信号确定。通过多个系统输入数字信号而能够增加转速的模式。例如，若为3系统则能够选择2的3次方即8模式。从预先设定于逆变器装置的目标转速A至目标转速H的8个之中选择转速而控制马达部104或者马达部204。通过多个系统输入数字信号，外部的转速指令电路与为模拟电路时相比，能够廉价地构成。
根据本实施方式，能够实施用于具备主泵10和增压泵20的真空泵装置1的运转控制方法。在本方法中，如已述那样，各泵具备进气口和排气口，在增压泵的排气口连通有主泵的进气口，增压泵的进气口是真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是真空泵装置的排气侧。
如图7所示，运转控制方法接受用于使主泵10启动的启动指示(步骤1)。在接受启动指示而主泵10启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵20进而启动增压泵20(步骤2)。在启动增压泵20之后，通过将模拟电压从外部输入到增压泵20来控制增压泵20的转速(步骤3)。图7是表示主泵10与增压泵20的启动、停止的时机的关系的图。
关于增压泵20的停止，停止指示接受部接受停止指示而主泵停止(步骤4)。数字信号检测部80基于停止指示来判定是否停止增压泵20，在如已述那样判断为停止增压泵20时，停止增压泵20(步骤5)。在主泵异常检测部检测到主泵10的异常时，能够使主泵10和增压泵20停止(步骤6)。
以上，对本发明的实施方式的例子进行了说明，但上述的发明的实施方式是为了便于本发明的理解，而并非限定本发明。本发明只要不脱离其主旨，则能够变更、改良，并且在本发明中，当然也包含其均等物。另外，在能够解决上述至少一部分的课题的范围，或者，实现至少一部分效果的范围中，请求保护的范围以及说明书所记载的各结构要素能够任意的组合或者省略。
如以上说明的那样，本发明具有以下的方式。
[方式一]
一种运转控制装置，是用于具备主泵和增压泵的真空泵装置的运转控制装置，其特征在于，
所述各泵具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，
所述运转控制装置具备：
启动指示接受部，该启动指示接受部接受用于使所述主泵启动的启动指示；以及
增压泵启动部，该增压泵启动部在所述启动指示接受部接受所述启动指示而所述主泵启动时，基于所述启动指示来判定是否启动所述增压泵，进而启动所述增压泵。
[方式二]
根据方式一所述的运转控制装置，其特征在于，
所述增压泵启动部在所述启动指示接受部接受了所述启动指示时判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。
[方式三]
根据方式一所述的运转控制装置，其特征在于，
在所述启动指示接受部接受了所述启动指示之后并且经过了规定时间时，所述增压泵启动部判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。
[方式四]
根据方式三所述的运转控制装置，其特征在于，
在所述启动指示接受部接受了所述启动指示之后，并且经过所述规定时间且所述主泵的转速为规定数以上时，所述增压泵启动部判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。
[方式五]
根据方式四所述的运转控制装置，其特征在于，
在所述启动指示接受部接受了所述启动指示之后，经过所述规定时间且所述主泵的转速为规定数以上，并且驱动所述主泵的马达的电流值为规定值以下时，所述增压泵启动部判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。
[方式六]
根据方式一至五中任一项所述的运转控制装置，其特征在于，
所述运转控制装置具备：
停止指示接受部，该停止指示接受部接受用于使所述主泵停止的停止指示；以及
增压泵停止部，该增压泵停止部在所述停止指示接受部接受所述停止指示而所述主泵停止时，基于所述停止指示来判定是否停止所述增压泵，进而停止所述增压泵。
[方式七]
根据方式一至六中任一项所述的运转控制装置，其特征在于，
所述运转控制装置具备：
主泵异常检测部，该主泵异常检测部对所述主泵的异常进行检测；以及
异常时停止部，该异常时停止部在所述主泵异常检测部检测到所述主泵的异常时，停止所述主泵和所述增压泵。
[方式八]
根据方式一至七中任一项所述的运转控制装置，其特征在于，
所述运转控制装置具备：
增压泵异常检测部，该增压泵异常检测部对所述增压泵的异常进行检测；以及
增压泵异常时停止部，该增压泵异常时停止部在所述增压泵异常检测部检测到所述增压泵的异常时，使所述增压泵停止，而不使所述主泵停止。
[方式九]
根据方式一至八中任一项所述的运转控制装置，其特征在于，
所述运转控制装置具备信号输入部，该信号输入部被从外部输入用于控制所述主泵及/或所述增压泵的转速的信号。
[方式十]
一种运转控制方法，是用于具备主泵和增压泵的真空泵装置的运转控制方法，其特征在于，
所述各泵具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，
所述运转控制方法具备：
接受用于使所述主泵启动的启动指示的步骤；以及
在接受所述启动指示而所述主泵启动时，基于所述启动指示来判定是否启动所述增压泵，进而启动所述增压泵的步骤。