省略具体的详细说明。
[0036]在栗座B的上端部(具体而言，后述的上基座B1的上端部)，设置有固定叶片定位部5，该固定叶片定位部5在其上承载后述的最下级的固定叶片7A，由此，具有将该固定叶片7A沿栗轴心方向定位的功能。
[0037]转子4可旋转地配置于栗座B上，包含在栗座B和栗壳C内。另外，该转子4是包围定子列3的外周的圆筒形状，成为如下的构造:由环状板体的联接部4A将直径不同的2个筒体(第1筒体4B和第2筒体4C)沿其筒轴方向联接，而且由未图示的端部件将其第1筒体4B的上端面侧(图1中的纸面上方)堵塞。
[0038]在转子4的内侧，安装有旋转轴(省略图示)，由内置于前述定子列3的磁力轴承支撑所涉及的旋转轴，并且，由内置于前述定子列3的驱动电动机旋转驱动所涉及的旋转轴，由此，转子4成为围绕其轴心(前述旋转轴)可旋转地被支撑并围绕其轴心被旋转驱动的构成。在该构成的情况下，前述旋转轴、内置于定子列3的前述磁力轴承和驱动电动机作为转子4的支撑和驱动机构而起作用。也可以通过除此以外的构成来将转子4围绕其轴心可旋转地支撑并旋转驱动。
[0039]在转子4的外周面侧，设置有气体流路R，该气体流路R将通过转子4的旋转而吸入的气体引导至排出口 2。此外，从前述气体吸气口(省略图示)进行所涉及的气体的吸气。
[0040]在图1的真空栗P1中，作为前述气体流路R的一个实施方式，该气体流路R整体中的前半部的吸气侧气体流路R1 (比转子4的联接部4A更靠上游侧)由配设于转子4的外周面的旋转叶片6、和将被该旋转叶片6赋予朝向气体流路R的下游侧的运动量的气体分子向气体流路R的下游侧引导的固定叶片7形成，后半部的排气侧气体流路R2(比转子4的联接部4A更靠下游侧)作为由转子4的外周面和与其对置的螺纹槽栗定子8形成的螺纹槽状的气体流路而形成。
[0041]进一步详细地说明前述吸气侧气体流路R1的构成，在图1的真空栗P1中，构成吸气侧气体流路R1的旋转叶片6以转子4旋转中心等栗轴心为中心而以放射状并排地配置多个。另一方面，构成吸气侧气体流路R1的固定叶片7经由固定叶片定位隔离物9而以沿栗径方向和栗轴方向定位的形式配置固定于栗壳C的内周侧，并且以栗轴心为中心而以放射状并排地配置多个。
[0042]而且，在图1的真空栗P1中，采用如下的构成:如前所述地以放射状配置的旋转叶片6和固定叶片7沿着栗轴心交替地配置多级，由此，形成吸气侧气体流路R1。
[0043]在由以上构成组成的吸气侧气体流路R1中，通过驱动电动机的启动而转子4和多个旋转叶片6 —体地高速旋转，由此，旋转叶片6对从气体吸气口入射的气体分子赋予向下方向的运动量。具有该向下方向的运动量的气体分子由固定叶片7向下一级的旋转叶片侧送入。重复多级地进行如以上那样的向气体分子的运动量的赋予和送入动作，由此，气体吸气口侧的气体分子通过吸气侧气体流路R1而以沿排气侧气体流路R2的方向逐渐转移的方式排气。
[0044]接着，进一步详细地说明前述排气侧气体流路R2的构成，在图1的真空栗P1中，构成排气侧气体流路R2的螺纹槽栗定子8是包围转子4的下游侧外周面(具体而言，第2筒体4C的外周面。以下也是如此)的圆筒形状的固定零件，而且配置为，其内周面侧隔开既定间隙而与转子4的下游侧外周面对置。
[0045]另外，在该螺纹槽栗定子8的内周部，形成有螺纹槽8A，所涉及的螺纹槽8A其深度以朝向下方小径化的圆锥形状变化，从螺纹槽栗定子8的上端至下端以螺旋状雕刻设置。
[0046]在图1的真空栗P1中，采用如下的构成:转子4的下游侧外周面与具备前述螺纹槽8A的螺纹槽栗定子对置，由此，前述排气侧气体流路R2作为螺纹槽状的气体流路而形成。作为除此以外的实施方式，虽然省略图示，但是例如，还能够采用如下的构成:将所涉及的螺纹槽8A设置于转子4的下游侧外周面，从而形成如前所述的排气侧气体流路R2。
[0047]在由以上构成组成的排气侧气体流路R2中，如果通过驱动电动机的启动而使转子4旋转，则气体从吸气侧气体流路R1流入，由于螺纹槽8A和转子4的下游侧外周面上的曳引效应而将该流入的气体以从迀移流压缩成粘性流并同时输送的形式排气。
[0048]〈绝热机构和加热机构的说明>
在图1的真空栗P1中，构成排气侧气体流路R2的固定零件，即螺纹槽栗定子8，通过绝热机构10而与除此以外的零件绝热，这样绝热的螺纹槽栗定子8构成为通过加热机构11而利用热传导直接加热。
[0049]作为前述绝热机构10和前述加热机构11的具体的构成示例，在图1的真空栗P1中，加热机构11为如下的构造:在螺纹槽栗定子8的外周面设置有安装部12，在该安装部12内埋入设置有加热器13，由此，该加热器13通过热传导而直接加热螺纹槽栗定子8，绝热机构10作为如下的构造:在前述安装部12的周围，设定由栗座B与螺纹槽栗定子8(固定零件)之间的间隙构成的绝热空间14，而且，由绝热隔离物15支撑包括安装部12的螺纹槽栗定子8整体。
[0050]另外，在前述安装部12，还埋入设置有加热器控制用的温度传感器S1，基于来自该温度传感器S1的检测信号而进行加热器13的温度控制。
[0051]另外，在图1的真空栗P1中，在采用前述绝热空间14、绝热隔离物15的方面，采用下述〈构成1>至〈构成4>。
[0052]<构成1>栗座B是如下的构成:至少分割成上基座部B1和下基座部B2，所分割成的上基座部B1和下基座部B2由紧固机构D2接合，由此，上基座部B1和下基座部B2存在热传导。
[0053]<构成2>是如下的构成:通过前述〈构成1>的接合，与转子4的下游侧外周面对置的凹部16形成于栗座B的内表面，在该凹部16经由既定的间隙而组装有螺纹槽栗定子8的安装部12，并且，将该既定的间隙作为前述绝热空间14而利用。在该构成中，为了将螺纹槽栗定子8沿栗径方向定位，利用前述凹部16的缘部使栗座B和螺纹槽栗定子8接触，但由于外力(例如，紧固螺栓导致的紧固力等)对该接触部不起任何作用，因而几乎不产生经由那样的接触部的热传导。
[0054]<构成3>前述绝热隔离物15是如下的构成:介于螺纹槽栗定子8与位于其下部的栗座B (具体而言，下基座B2)之间，而且将螺纹槽栗定子8和栗座B紧固(具体而言，由紧固机构D3将螺纹槽栗定子8的安装部12和下基座B2紧固)，从而支撑螺纹槽栗定子8。
[0055]<构成4>前述加热器13的电线从螺纹槽栗定子8的安装部12引出至外部，这样的安装部12暴露于高真空，由此，有可能对加热器13或其电线造成绝缘破坏。于是，在图1的真空栗P1中，在安装部12的外周面设置有0形环等密封机构17，从而将安装部12配设于大气侧。
[0056]〈作为冷却机构的冷却管的说明>
图2是关于作为本发明的第1实施方式的真空栗所产生的热的传导方式和冷却管的设置场所等的说明图。
[0057]在图2中，Q1表示从固定叶片7通过热传导传导至上基座部B1的热，Q2表示从转子4向螺纹槽栗定子8的放射所导致的热及其传导方式，Q3表示从定子列3通过热传导传导至下基座部B2的热，Q4表示加热器13中的加热所导致的热及其传导方式。
[0058]在图1的真空栗P1中，如图2所示，能够在上基座部B1和下基座部B2的双方设置有冷却管18作为冷却机构，也可以仅采用任一方的冷却管18。
[0059]上基座部B1的冷却管18作为主要将如前述Q2或Q4的热那样从螺纹槽栗定子8经由绝热隔离物15或密封机构17传导至上基座部B1或下基座部B2的热和如前述Q1的热那样从固定叶片7通过热传导传导至上基座部B1的热冷却的机构而起作用。<