一种用于单晶炉的放气阀的制作方法

文档序号:15945748发布日期:2018-11-14 04:08阅读:171来源:国知局

本发明涉及单晶炉技术领域,特别是一种用于单晶炉的放气阀。



背景技术:

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。其中生产出的而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅目前世界上最重要的单晶材料之一,它不但是集成电路的主要材料,更是太阳能电池的的主要材料。因此单晶炉的质量好坏直接关系着晶硅的质量。现有的单晶硅的放气装置是直接将密封螺母密封后,放气时直接将螺母旋下进行放气,这种放气装置容易发生惰性气体的泄漏,印象惰性气体的质量。



技术实现要素:

本发明需要解决的技术问题是通过设置溢流孔和压力阀来对单晶炉自身结构起到保护的作用,防止由于内外压力差过大而造成自身结构的损坏,减少了不必要的损失;提供一种用于单晶炉的放气阀。

为解决上述的技术问题,本发明的结构包括

阀筒,

阀盖,所述的阀盖安装在阀筒的左端上,

阀座,所述的阀座安装在阀筒的右端内,所述的阀座的中心处开设有出气孔,

阀芯,所述的阀芯活动连接在阀筒内,所述的阀芯为半球形阀头,所述的阀芯的球形面正对阀坐,所述的阀芯通过弹簧与阀盖相连,所述的阀芯在弹簧的作用下堵塞在阀座的出气孔处,从而实现密封作用,

预紧力调节装置,所述的预紧力调节装置设置在弹簧与阀盖之间。

进一步:所述的预紧力调节装置包括开设在阀盖上的螺纹孔、设置在阀筒左端外侧的外接螺纹和顶紧块,所述的阀筒通过外侧的外接螺纹连接在阀盖的螺纹孔内,所述的顶紧块的一端伸入至螺纹孔内,所述的阀盖通过顶紧块与弹簧相连。

又进一步:所述的顶紧块的中心处开设有导向孔,所述的导向孔内活动连接有导向杆,所述的导向杆与阀芯相连。

再进一步:所述的阀芯上开设有溢流孔,所述的溢流孔正对阀座的出气孔,所述的溢流孔安装有压力阀。

采用上述结构后,本发明通过设置溢流孔和压力阀来对单晶炉自身结构起到保护的作用,防止由于内外压力差过大而造成自身结构的损坏,减少了不必要的损失;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示的一种用于单晶炉的放气阀,包括阀筒1、阀盖2、阀座4、阀芯3和预紧力调节装置,所述的阀盖2安装在阀筒1的左端上,所述的阀座4安装在阀筒1的右端内,所述的阀座4的中心处开设有出气孔,所述的阀芯3活动连接在阀筒1内,所述的阀芯3为半球形阀头,所述的阀芯3的球形面正对阀坐4,所述的阀芯3通过弹簧10与阀盖2相连,所述的阀芯3在弹簧10的作用下堵塞在阀座4的出气孔处,从而实现密封作用,所述的预紧力调节装置设置在弹簧10与阀盖2之间。工作时,当单晶炉内的气压过大时,高压气体会推动阀芯3挤压弹簧10,使阀芯3与阀座4分离,从而使单晶炉内的高压气体从阀座4上的出气孔跑出,降低单晶炉内的气压,其具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。并且本设计还可以通过预紧力调节装置对弹簧10的预紧力进行调节,从而实现了定压放气,增加了其的实用性能。

如图1所示的预紧力调节装置包括开设在阀盖2上的螺纹孔、设置在阀筒1左端外侧的外接螺纹和顶紧块5,所述的阀筒1通过外侧的外接螺纹连接在阀盖2的螺纹孔内,所述的顶紧块5的一端伸入至螺纹孔内,所述的阀盖2通过顶紧块5与弹簧10相连,所述的顶紧块5的中心处开设有导向孔9,所述的导向孔9内活动连接有导向杆7,所述的导向杆7与阀芯3相连。当需要对弹簧10的预紧力进行调节时,旋转阀盖2调节阀筒1伸入螺纹孔内的长度,从而通过顶紧块5调节弹簧10的压缩量,完成对弹簧10预紧力的调节。本设计通过预紧力调节装置对弹簧10的预紧力进行调节,实现了定压放气,增加了其的实用性能。

如图1所示的阀芯3上开设有溢流孔11,所述的溢流孔11正对阀座4的出气孔,所述的溢流孔11安装有压力阀12。当阀芯3与阀座4发生卡死后,本发明通过设置溢流孔和压力阀来对单晶炉自身结构起到保护的作用,防止由于内外压力差过大而造成自身结构的损坏,减少了不必要的损失。



技术特征:

技术总结
本发明涉及一种用于单晶炉的放气阀,包括阀筒、阀盖、阀座、阀芯和预紧力调节装置,所述的阀盖安装在阀筒的左端上,所述的阀座安装在阀筒的右端内,所述的阀座的中心处开设有出气孔,所述的阀芯活动连接在阀筒内,所述的阀芯为半球形阀头,所述的阀芯的球形面正对阀坐,所述的阀芯通过弹簧与阀盖相连,所述的阀芯在弹簧的作用下堵塞在阀座的出气孔处,从而实现密封作用,所述的预紧力调节装置设置在弹簧与阀盖之间。本设计通过预紧力调节装置对弹簧的预紧力进行调节,从而实现了定压放气,增加了其的实用性能。

技术研发人员:宦嘉敏
受保护的技术使用者:常州金禾新能源科技有限公司
技术研发日:2018.09.24
技术公布日:2018.11.13
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