一种高阻尼减振地脚的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及减振装置技术领域，更具体的说，特别涉及一种高阻尼减振地脚。
【背景技术】
[0002] 随着技术的快速发展和进步，在LED或者半导体封装设备领域，机台的主运动平台 速度越来越高，这些设备主运动平台运动加速度从之前的4~10G(G = 9.81m/s2)，发展到20 ~25G的加速度甚至更高。同时，机台执行机构定位精度也需要达到0.1 um甚至0.05um级别， 与此同时，机台的整体尺寸没有相应提高，甚至在不断缩小，这就对机台在工作过程中姿态 的稳定给出了较高的要求，即要求机台与地面接触的地脚接触面积能够尽可能充分，同时 迫切需要较高的阻尼系数来耗散掉机台高速运动带来的较高幅值的振动。
[0003] 传统的地脚虽然高度方向可以调节，但沿高度方向角度偏摆无法较大幅度调节， 亦或者是依靠地脚螺杆和脚杯间的间隙小角度适应，但由于间隙的存在显然无法满足稳固 接触的要求;其次，传统地脚通常采用普通橡胶、塑胶或者硫化橡胶作为阻尼或者缓冲材 料，但这些材料的阻尼比较低，应对一些低惯量低速运动尚能满足要求，但对于大加速度、 高频运动的机台，无法有效吸收密集的振动幅值。
【发明内容】
[0004] 本实用新型的目的在于针对现有技术存在的技术问题，提供一种摆角可自适应调 节的高阻尼减振地脚，能够保持和地面无间隙接触，并有效降低设备自身振动幅值。
[0005] 为了解决以上提出的问题，本实用新型采用的技术方案为：
[0006] -种高阻尼减振地脚，所述地脚包括螺杆、脚杯、第一螺钉、高阻尼合成橡胶垫和 第二螺钉;所述螺杆通过第一螺钉与脚杯连接，所述脚杯通过第二螺钉与高阻尼合成橡胶 垫螺纹连接。
[0007] 所述高阻尼减振地脚还包括锁紧螺母，所述螺杆与机架对应的螺纹孔螺纹连接， 所述锁紧螺母对螺杆与机架进行固定。
[0008] 所述螺杆和脚杯之间的接触面为球面结构。
[0009] 所述螺杆的底端设有圆柱状的凸出部，所述脚杯的中间设有与凸出部位置相对应 的通孔，所述第一螺钉通过通孔与凸出部连接在一起;且所述通孔的直径大于凸出部的直 径。
[0010] 所述高阻尼减振地脚还包括柔性橡胶垫片和钢垫片，所述柔性橡胶垫片和钢垫片 依次设于螺杆与第一螺钉的连接处。
[0011] 所述第二螺钉为半圆头螺钉，所述第二螺钉的数量为2个。
[0012] 所述螺杆和脚杯的材质包括铸铁、铸钢、合金钢或碳钢。
[0013] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于:本实用新型实施例的高阻尼减振 地脚通过接触面的球面设计使得螺杆和脚杯之间的接触面压强大大降低，同时降低了地脚 使用过程中的磨损，极大的改进了传统地脚结构对于沿重力方向角度调节的局限性，大大 提高地脚的承载能力和使用寿命;通过柔性橡胶垫片和钢垫片的过渡使螺钉和螺杆实现柔 性连接，保证了在角度自适应的条件下连接的可靠性;并通过应用高阻尼比的隔振材料，极 大的改进了传统地脚结构的减振、隔振性能。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型实施的高阻尼减振地脚的结构示意图。
[0015]附图标记说明：1-螺杆、2-锁紧螺母、3-脚杯、4-接触面、5-柔性橡胶垫片、6-钢垫 片、7-第一螺钉、8-高阻尼合成橡胶垫、9-第二螺钉
【具体实施方式】
[0016] 为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描 述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实 现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公 开内容的理解更加透彻全面。
[0017] 除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领 域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为 了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。
[0018] 请参阅图1，是本实用新型实施例的高阻尼减振地脚的结构示意图。本实用新型实 施例的高阻尼减振地脚包括螺杆1、锁紧螺母2、脚杯3、接触面4、柔性橡胶垫片5、钢垫片6、 第一螺钉7、高阻尼合成橡胶垫8以及第二螺钉9;其中，螺杆1与机架（图未示)对应的螺纹孔 螺纹连接，并通过锁紧螺母2对螺杆1与机架进行固定;螺杆1通过第一螺钉7与脚杯3连接， 保证了在地脚搬运过程中，螺杆1和脚杯3结构不会分离;螺杆1和脚杯3之间的接触面4为球 面结构，螺杆1和脚杯3沿重力方向的摆角可通过接触面4的相对滑移达到自适应;螺杆1的 底端设有一个圆柱状的凸出部10,脚杯3的中间设有一个与凸出部10位置相对应的通孔11， 第一螺钉7通过通孔11与凸出部10连接在一起;且通孔11的直径大于凸出部10的直径，从而 使得螺杆1在通孔11与凸出部10之间的空隙中位移。
[0019] 脚杯3通过第二螺钉9与高阻尼合成橡胶垫8螺纹连接，可以有效克服地脚在机台 水平调节时沿螺杆1轴线旋转的扭矩，确保脚杯3与高阻尼合成橡胶垫8之间的连接可靠性； 其中，在本实施方式中，第二螺钉9为半圆头螺钉，第二螺钉9的数量为2个，在其他实施方式 中，第二螺钉9的数量可根据需要调整。
[0020] 螺杆1与第一螺钉7的连接处还依次设有柔性橡胶垫片5和钢垫片6,通过柔性橡胶 垫片5和钢垫片6的过渡使螺杆1和第一螺钉7达到一种柔性连接，从而既保证了螺杆1和脚 杯3的连接可靠性，同时由于柔性橡胶垫片5的作用，使接触面4的接触内应力保持在合理范 围内，避免了第一螺钉7过高的预紧力导致的接触面4相对滑移阻力过大。
[0021] 在本实用新型实施例中，螺杆1和脚杯3可以为铸铁、铸钢、合金钢或碳钢等材质， 接触面4通过球面设计突出了接触面4的接触面积，从而使得螺杆1和脚杯3之间的接触面压 强大大降低，从而提高了地脚的承载能力，同时降低了地脚使用过程中的磨损，大大提高使 用寿命。
[0022] 另外，本实用新型通过隔振或减振材料的性能理论指导引入了高阻尼比的高阻尼 合成橡胶垫8,有效降低设备自身振动幅值，同时减小了振动传递到周围环境，极大的改进 了传统地脚结构的减振、隔振性能。其理论依据为:一种隔振或减振材料的性能可以用传递 率来描述，即输出能量与进入能量之比为：
(1)
[0024] 上述公式（1)中，T =传递率 [0025] Aout =材料输出的能量 [0026] Ain =进入材料的能量
[0027] ζ =阻尼比
[0028] fd =干扰频率
[0029] fn=固有频率
[0030]在非常低的频率区(fd/fn 1)，输入的振动等于输出的振动(传递率等于1)，输入的 位移基本上等于输出的位移。
[0031] 在固有频率区(fd/fn? 1)，系统的运动处于共振区。由上述公式(1)看出，此时如果 忽略阻尼的存在，即ζ = 〇,则传递率T将接近无穷大，随着阻尼的增大，共振处的传递率将减 小。但所有的真实系统总是具有一定的内阻尼，因此在真实系统中不可能存在ζ = 〇的情况， 由此证明了阻尼的重要性。如果地脚的工作频率接近机台的系统固有频率，或者高阻尼合 成橡胶垫8的材质是传统结构上使用的低阻尼普通橡胶或者塑胶，就会因为能量放大而带 来许多问题，甚至会对机台的机械结构带来灾难性损伤。
[0032] 如果频率比等于V5(即Λ/Λ = # )，则传递率再一次下降到1，这就是所谓的交 叉频率。低于此频率的区域称为放大区，其传递率大于1;超过此频率的区域称为隔振/减振 区，其传递率小于1。
[0033] 本实用新型实施例的高阻尼减振地脚通过接触面的球面设计使得螺杆和脚杯之 间的接触面压强大大降低，同时降低了地脚使用过程中的磨损，极大的改进了传统地脚结 构对于沿重力方向角度调节的局限性，大大提高地脚的承载能力和使用寿命;通过柔性橡 胶垫片和钢垫片的过渡使螺钉和螺杆实现柔性连接，保证了在角度自适应的条件下连接的 可靠性;并通过应用高阻尼比的隔振材料，极大的改进了传统地脚结构的减振、隔振性能。
[0034] 上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述 实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替 代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1. 一种高阻尼减振地脚，其特征在于:所述地脚包括螺杆（1)、脚杯(3)、第一螺钉(7)、 高阻尼合成橡胶垫(8)和第二螺钉(9);所述螺杆(1)通过第一螺钉(7)与脚杯(3)连接，所述 脚杯(3)通过第二螺钉(9)与高阻尼合成橡胶垫(8)螺纹连接。2. 根据权利要求1所述的高阻尼减振地脚，其特征在于:还包括锁紧螺母(2)，所述螺杆 (1)与机架对应的螺纹孔螺纹连接，所述锁紧螺母(2)对螺杆(1)与机架进行固定。3. 根据权利要求1所述的高阻尼减振地脚，其特征在于:所述螺杆（1)和脚杯(3)之间的 接触面(4)为球面结构。4. 根据权利要求1所述的高阻尼减振地脚，其特征在于:所述螺杆（1)的底端设有圆柱 状的凸出部（10)，所述脚杯(3)的中间设有与凸出部（10)位置相对应的通孔（11)，所述第一 螺钉(7)通过通孔（11)与凸出部（10)连接在一起;且所述通孔（11)的直径大于凸出部（10) 的直径。5. 根据权利要求1所述的高阻尼减振地脚，其特征在于:还包括柔性橡胶垫片（5)和钢 垫片(6)，所述柔性橡胶垫片(5)和钢垫片(6)依次设于螺杆(1)与第一螺钉(7)的连接处。6. 根据权利要求1所述的高阻尼减振地脚，其特征在于:所述第二螺钉(9)为半圆头螺 钉，所述第二螺钉(9)的数量为2个。7. 根据权利要求1或3所述的高阻尼减振地脚，其特征在于:所述螺杆（1)和脚杯(3)的 材质包括铸铁、铸钢、合金钢或碳钢。
【专利摘要】本实用新型涉及减振装置技术领域，特别涉及一种高阻尼减振地脚。所述地脚包括螺杆、脚杯、第一螺钉、高阻尼合成橡胶垫和第二螺钉；所述螺杆通过第一螺钉与脚杯连接，所述脚杯通过第二螺钉与高阻尼合成橡胶垫螺纹连接。本实用新型实施例的高阻尼减振地脚通过接触面的球面设计使得螺杆和脚杯之间的接触面压强大大降低，同时降低了地脚使用过程中的磨损，极大的改进了传统地脚结构对于沿重力方向角度调节的局限性，大大提高地脚的承载能力和使用寿命；通过柔性橡胶垫片和钢垫片的过渡使螺钉和螺杆实现柔性连接，保证了在角度自适应的条件下连接的可靠性；并通过应用高阻尼比的隔振材料，极大的改进了传统地脚结构的减振、隔振性能。
【IPC分类】F16F15/08, F16M7/00
【公开号】CN205173875
【申请号】CN201520909898
【发明人】胡晶, 罗诚, 高云峰
【申请人】大族激光科技产业集团股份有限公司, 深圳市大族光电设备有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2015年11月16日