一种用于气体状态转换的蒸发罐设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，尤其涉及一种用于气体状态转换的蒸发罐设备。
【背景技术】
[0002]随着全球电子产业和光伏产业的蓬勃发展，国内的半导体和光伏等制造业也得到了迅猛的发展。据2006年中国半导体产业研宄报告指出:“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”可见光伏产业在近几年的快速发展，是未来新能源产业的主力军。
[0003]目前，在半导体或光伏的相关产业中，通常的制程中一般会需要使用到许多的特殊气体，其中一些是液态性气体，需要转化为气态性气体来使用；然而，现有的用于气体状态转换的设备较为缺乏，并且工作效率交底，同时还存在着操作复杂而导致泄露等安全隐串
■/Q1、O
【实用新型内容】
[0004]为了解决上述问题，本实用新型提供了一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，具备工作效率高、安全性能好等优点。
[0005]上述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，包括柜体，其中，所述柜体的一个侧壁上设置有密闭门和观察窗，所述密闭门位于观察窗的上方，所述密闭门的表面设置有显示屏和蜂鸣器；所述柜体的顶部设置有风阀和差压表，所述差压表的上方设置有三色指示灯；所述柜体的内部设置有辅助盘面、蒸发罐以及高温盘面，所述辅助盘面和蒸发罐均位于高温盘面的下方。
[0006]上述装置中，所述观察窗为防爆玻璃视窗。
[0007]上述装置中，所述风阀设置有调节装置。
[0008]上述装置中，所述蒸发罐设置有压力传感器和液位传感器。
[0009]上述装置中，所述蜂鸣器和三色指示灯组成报警单元。
[0010]上述装置中，还包括操作单元和微处理器。
[0011]上述装置中，所述操作单元位于密封门的表面，所述显示屏通过操作单元与微处理器相连。
[0012]上述装置中，所述显示屏为LED触摸屏。
[0013]本实用新型的优点和有益效果在于:本实用新型提供了一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，主要适用于液态性气体的净化，降压及输送，通过加热将液态性气体转化为气态性气体，且蒸发罐有一定的储存量，从而能够相对稳定的供应气体；同时通过报警单元来避免现有的安全隐患问题，具备了较强的安全性能，并最终达到了提高工作效率和降低安全隐患等目的。
【附图说明】
[0014]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1是本实用新型中蒸发罐设备的整体结构示意图；
[0016]图2是本实用新型中蒸发罐设备的内部结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图和实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
[0018]如图1和图2所示，本实用新型记载了一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，主要由柜体I构成，在柜体I的正面侧壁上设置有密闭门2和观察窗3，且该密闭门2位于观察窗3的上方；同时，在密闭门2的表面还设置有显不屏6和蜂鸣器10 ；
[0019]优选的，本实用新型中的蒸发罐设备还设置有操作单元和微处理器，具体将操作单元设置于密封门2的表面，并且将显示屏6通过操作单元与微处理器相连，从而便于对显示屏6进行操作和控制；同时，为了提高装置的操作便利性和安全性，上述的显示屏6采用了 LED触摸屏，而观察窗3则采用了防爆玻璃视窗。
[0020]此外，在柜体I的顶部还设置有风阀4和差压表5，并且在差压表5的上方还设置有三色指示灯11，通过该三色指示灯11与上述蜂鸣器10来组成报警单元，从而进一步提高了装置的安全性能。
[0021]优选的，风阀4还设置有调节装置，从而能够调节排风量，进而便于操作人员根据现场情况做出临时的调节。
[0022]进一步的，在柜体I的内部设置有辅助盘面7、蒸发罐8以及高温盘面9，该辅助盘面7和蒸发罐8均位于高温盘面9的下方；其中，辅助盘面7作为常温的液态性气体和惰性气体输送的盘面；而蒸发罐8具有一定的容量，能够相对稳定的供应气体，主要负责将液态性气体蒸发为气态性气体；至于高温盘面9则是用来输送液态性型气体蒸发后的气态性气体，以便完成最终的供应操作。
[0023]优选的，上述的蒸发罐8设置有压力传感器和液位传感器，通过该压力传感器可以检测蒸发罐8内的压力是否具备罐内补液，而通过液位传感器则可以检测罐内补液是否完成。
[0024]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，包括柜体，其特征在于，所述柜体的一个侧壁上设置有密闭门和观察窗，所述密闭门位于观察窗的上方，所述密闭门的表面设置有显示屏和蜂鸣器；所述柜体的顶部设置有风阀和差压表，所述差压表的上方设置有三色指示灯；所述柜体的内部设置有辅助盘面、蒸发罐以及高温盘面，所述辅助盘面和蒸发罐均位于高温盘面的下方。
2.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，其特征在于，所述观察窗为防爆玻璃视窗。
3.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，其特征在于，所述风阀设置有调节装置。
4.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，其特征在于，所述蒸发罐设置有压力传感器和液位传感器。
5.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，其特征在于，所述蜂鸣器和三色指示灯组成报警单元。
6.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，其特征在于，还包括操作单元和微处理器。
7.如权利要求6所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，其特征在于，所述操作单元位于密封门的表面，所述显示屏通过操作单元与微处理器相连。
8.如权利要求1所述的一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，其特征在于，所述显示屏为LED触摸屏。
【专利摘要】本实用新型记载了一种用于气体状态转换的蒸发罐设备，包括柜体，在该柜体的一个侧壁上设置有密闭门和观察窗，且密闭门位于观察窗的上方，同时在密闭门的表面还设置有显示屏和蜂鸣器；此外，在柜体的顶部设置有风阀和差压表，并且在差压表的上方还设置有三色指示灯；至于柜体的内部则设置有辅助盘面、蒸发罐以及高温盘面，并且辅助盘面和蒸发罐均位于高温盘面的下方。由于采用了上述技术，本实用新型可以通过加热将液态性气体转化为气态性气体，且蒸发罐有一定的储存量，从而能够相对稳定的供应气体；同时通过报警单元来避免现有的安全隐患问题，具备了较强的安全性能，并最终达到了提高工作效率和降低安全隐患等目的。
【IPC分类】F17C7-04
【公开号】CN204573579
【申请号】CN201520253684
【发明人】甘万
【申请人】上海盛韬半导体科技有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年4月23日