1.一种微通道板组件处理及测试设备，其特征在于，包括依次连接的预真空室（1）、真空烘烤室（2）、电子清刷及测试室（3）、真空过渡室（4）及出样室（5），所述的预真空室（1）、真空烘烤室（2）、电子清刷及测试室（3）、真空过渡室（4）及出样室（5）形成相互连通的腔体结构，所述腔体结构内设有样品行走机构；所述的预真空室（1）连接有机械泵（6）和分子泵（7），所述的电子清刷及测试室（3）连接有溅射离子泵（8）。
2.根据权利要求1所述的一种微通道板组件处理及测试设备，其特征在于，所述的行走机构通信连接有外部控制机构。
3.根据权利要求2所述的一种微通道板组件处理及测试设备，其特征在于，所述的真空过渡室（4）连接有机械泵（6）和分子泵（7）。