技术总结
本实用新型公开了一种静压导轨直线度测量装置，包括标准件、电感测头、与所述电感测头电性连接的控制装置和与所述控制装置电性连接的显示装置，所述标准件用于与和待测静压导轨配合的溜板保持相对静止，所述电感测头与所述标准件的标准表面接触以检测所述标准件随所述待测静压导轨运动产生的位移并发送检测数据至所述控制装置，所述控制装置用于将所述检测数据处理并通过所述显示装置显示。本实用新型提供的静压导轨直线度测量装置，检测操作简单，装置成本低，性价比高，可以满足精度需求0.1微米的直线度测量。
技术研发人员：刘浩;刘强;尹自强;喻里程;卢诗意;张霞峰;姚建华;张一博;刘震;张根明
受保护的技术使用者：广东工业大学
文档号码：201621458966
技术研发日：2016.12.27
技术公布日：2017.09.12