技术总结
本实用新型公开了一种用于磁体杜瓦高真空度的测量及分析装置，包括真空管路、法兰、真空阀门、真空规管、四极质谱分析仪、氦标准漏孔，真空管路上安装有与被测真空腔体进行快速连接的刀口法兰接口，真空规管、四极质谱分析仪分别通过刀口法兰安装在装置真空管路上，标准漏孔通过快接法兰安装在装置真空管路上，且被测真空腔体的刀口法兰接口、真空规管、四极质谱分析仪、氦标准漏孔均通过真空阀门与真空管路连接，真空管路上还留有备用接口。本实用新型最大限度地减少了对真空腔体的开孔，可显著地提升真空腔体的真空度，采用结构简单，易于加工实现的材料，使用标准件，有效实现了真空测量及分析功能，保证其能稳定长期工作，降低了生产成本。
技术研发人员：黄鹏程;程翔宇;房震;高洋;陈文革
受保护的技术使用者：中国科学院合肥物质科学研究院
文档号码：201720273357
技术研发日：2017.03.21
技术公布日：2017.10.24