8、会聚透镜21与作为成像位置的入射窗22的关系式。这里，由波长来决定焦点距离F。并且，位置运算部24可运算1/A+1/B = I/F成立的会聚透镜21的位置作为最优位置。
[0029]为了便于了解效果，假定下述这样的光学系统来比较原子发光线相对于入射窗22的通过光量(％)。
[0030]将原子发光线作为点光源，采用与光轴构成的角度为3.5的光线，并将到达等离子18与入射窗22的距离(A+B)固定为300mm。会聚透镜21的大小是曲率半径R55、厚度15mm、有效口径Φ 50，该会聚透镜21采用了材质由石英构成的凸透镜形状。并且，入射窗22的大小为20 μ mX 20 μ m的正方形。根据以上的条件，比较来自等离子18的原子发光线通过入射窗22的是几％ (通过光量)。
[0031]分析⑴:设距离A(从会聚透镜21的中心点到等离子18的水平距离)为80.55cm，计算通过600nm的原子发光线的入射窗22的通过光量。
[0032]分析(2):设距离A为80.55cm，计算300nm的光通过入射窗22的通过光量。
[0033]分析⑶:设距离A为89.37cm,计算通过600nm的原子发光线的入射窗22的通过光量。
[0034]这里，在分析⑴和(3)中会聚透镜21的焦点F与缝隙(slit)的位置一致，仅在分析(2)中会聚透镜21的焦点F与入射窗22的位置不一致。
[0035]以下示出各自的计算结果。
[0036]分析⑴:通过入射窗22的原子发光线是0.52%。
[0037]分析⑵:通过入射窗22的原子发光线是0.04%。
[0038]分析(3):通过入射窗22的原子发光线是0.81 %。
[0039]根据以上的结果，当焦点F为不对焦的状态时，原子发光线的强度从0.52%降低到0.04%，但可通过调整焦点位置，来使原子发光线的0.81 %入射到分光器30。因此，可通过移动会聚透镜21，来使20倍强度的原子发光线入射到分光器30。
[0040]本发明的ICP发光分光分析装置I根据希望测定的原子发光线的波长利用位置运算部24来运算最优位置，并根据运算结果利用驱动部23使会聚透镜21移动到最优位置。通过使会聚透镜21移动到最优位置，能够在全部波长区域中进行高灵敏度的测定，而不会产生由于焦点F偏差而引起的灵敏度降低。另外，只要是与波长相应的最优位置，就能够使相对于测定适当强度的原子发光线入射到分光器30，并能够发挥可测定10nm至900nm左右的宽范围的波长的ICP发光分光分析装置I的性能。
[0041]图3是本发明的ICP发光分光分析装置的框图。采用框图来说明具体的操作方法。
[0042](I)向控制部50输入实验者希望测定的波长。
[0043](2)控制部50根据所输入的波长数据来运算驱动部23的例如步进电机的脉冲数。
[0044](3)位置运算部24根据运算出的脉冲数来计算会聚透镜21的最优位置。
[0045](4)驱动部23根据位置运算部24的指令使会聚透镜21移动到最优位置。
[0046](5)从高频电源16流动高频电流，对溶液试样17a的试样分子(或原子)进行加热/激励后产生发光，并生成等离子18。
[0047]通过分光器30并利用检测器33转换为放大信号的原子发光线利用放大运算部51进行运算，并在控制部50中记录为测定数据。放大运算部51对分光器30进行波长扫描(sweep)控制，对检测器33进行检测器电压或积分时间等的控制。
[0048]上述的操作方法仅为一例，实验者可测定利用等离子18进行原子化或离子化后的原子发光线的波长，对会聚透镜21的位置进行微调整，使会聚透镜21移动到检测出原子发光线的强度最大值的位置。
[0049]此外，还能够根据实验者希望测定的波长来计算等离子18或分光器30的最优位置，使等离子18或分光器30移动到最优位置。
[0050]此外，本发明不被上述实施方式所限定，可适当地进行变形或改良等。另外，上述实施方式中的各构成要素的材质、形状、尺寸、数值、形态、数、配置位置等只要能够实现本发明即可，对其无任何限定。
[0051]工业上的可利用性
[0052]本发明的ICP发光分光分析装置能够应用于使会聚透镜移动到与波长相应的最优位置的用途。
【主权项】
1.一种ICP发光分光分析装置，具备: 感应耦合等离子产生部，其利用感应耦合等离子对分析对象元素进行原子化或离子化，得到原子发光线； 会聚透镜，其会聚所述原子发光线； 分光器，其在隔着入射窗导入所述原子发光线之后，对所述原子发光线进行分光检测； 位置运算部，其根据所述原子发光线的波长，运算所述会聚透镜相对于所述感应耦合等离子产生部以及所述分光器在所述原子发光线的行进方向上的最优位置；和 驱动部，其根据所述最优位置，使所述会聚透镜相对于所述感应耦合等离子产生部以及所述分光器相对地进行移动。2.根据权利要求1所述的ICP发光分光分析装置，其中， 当设从所述会聚透镜的中心点到由所述感应耦合等离子产生部生成的所述感应耦合等离子的水平距离为A、设从所述会聚透镜的中心点到所述入射窗的水平距离为B、设根据所述原子发光线的波长决定的所述会聚透镜的焦点距离为F时，所述位置运算部运算I/A+1/B = 1/F成立的所述会聚透镜的位置作为所述最优位置。
【专利摘要】本发明提供ICP发光分光分析装置，其通过与所测定的波长相应的适当的会聚透镜位置将原子发光线的损耗限制到最小限。ICP发光分光分析装置(1)大致由感应耦合等离子产生部(10)、会聚部(20)、分光器(30)和控制部(50)构成。会聚部(20)配置于感应耦合等离子产生部(10)与分光器(30)之间，具备会聚透镜(21)、入射窗(22)、驱动部(23)和位置运算部(24)。位置运算部(24)根据预先输入到控制部(50)的原子发光线的波长，运算会聚透镜(21)相对于感应耦合等离子产生部(10)以及分光器(30)在原子发光线的行进方向上的最优位置。驱动部(23)根据运算部(24)的运算结果使会聚透镜(21)移动到相对于特定波长最优化的位置。
【IPC分类】G01N21/73
【公开号】CN104949962
【申请号】CN201510088056
【发明人】田边英规
【申请人】日本株式会社日立高新技术科学
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2015年2月26日