探针和接触检查装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在半导体集成电路等的通电测试中使用的探针和设置有该探针的接触检查装置。
【背景技术】
[0002]通常，对诸如半导体集成电路等的测试对象执行通电测试，以确定测试对象是否是按照精确的规格制造的。使用诸如探针卡、探针单元和探针块等的接触检查装置来执行该通电测试，该接触检查装置具有作为单独压靠测试对象的待检查部分的接触部的多根探针。这种类型的接触检查装置用于通过使测试对象的待检查部分与测试器电连接而执行检查。
[0003]这种类型的接触检查装置通过利用与测试对象的待检查部分接触的多根探针对该待检查部分施加压力来建立电连接。然而，由于半导体集成电路越来越小且越来越复杂，因此用于检查测试对象的待检查部分的探针的尺寸已经相应地变得很小。结果，如果在对测试对象进行检查期间作用于探针的压力是大的，则探针可能会弯曲，或者相邻的探针可能会彼此接触并导致短路，所有这些都会造成如下问题:可能不能对测试对象进行适当的检查。
[0004]对于该问题，提出了如下接触检查装置:在该接触检查装置中，每根探针均设置有可伸缩部。可伸缩部伸缩，以吸收在对测试对象进行检查期间作用于探针的一部分压力。因此，能够控制探针的弯曲以及由相邻的探针所导致的短路(参照专利文献I)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:JP2010-281583A
【发明内容】
[0008]发明要解决的问题
[0009]该接触检查装置包括:探针，其由筒状构件制成，该探针与测试对象的待检查部分接触;头部，其将探针的顶部引导至预定位置;保持部，其保持探针的中间部;基部，其引导探针的后端部；以及电极部，其与探针的由基部引导的后端部电连接。
[0010]在该探针中，具有螺旋槽的可伸缩部设置在探针的顶部与中间部之间以及探针的中间部与后端部之间。因此，当探针压靠测试对象的待检查部分时，可伸缩部沿探针的轴线方向弯曲并吸收一部分压力，使得作用在探针与该待检查部分之间的压力能够具有适当的强度。
[0011]顺便地，该探针通过可伸缩部沿探针的轴线方向的弯曲来吸收一部分压力。此时，一部分压力沿螺旋方向作用于螺旋状的可伸缩部，并且给予探针绕着探针的轴线方向的转动力。这可以使探针绕着轴线方向转动。如果探针绕着轴线方向转动，则探针的与电极部接触的后端也会绕着轴线方向转动。结果，在与探针的后端部接触的电极部处会产生磨损和损坏。因此，探针的后端部与电极部之间的接触会变得不稳定，从而可能导致接触不良。因此，探针与电极部之间的电连接可能会变得不稳定，使得接触检查装置的可靠性劣化。
[0012]本发明是鉴于上述缺点而作出的，因而，本发明的目的在于提供能够使探针与电路板之间的电连接稳定化的探针，以及设置有该探针的接触检查装置。
[0013]用于解决问题的方案
[0014]为了实现上述目的，根据本发明的第一方面的探针为如下的探针:其具有第一端和第二端，所述第一端与测试对象接触和分离，所述第二端与电路板接触，以对所述测试对象执行检查，其中，所述第二端设置有转动被限制部，所述转动被限制部限制所述探针绕着所述探针的轴线方向的转动。
[0015]当探针的第一端在探针的第二端与电路板接触的情况下压靠测试对象时，或者当探针与测试对象分离时，有时会产生绕着探针的轴线方向的转动力。探针的第二端侧被构造成与电路板接触(非固定)。因而，当产生该转动力时，可能会通过转动而对接触部造成磨损和损坏。此外，如果探针重复地对测试对象执行检测，则会产生该转动力。因而，将会在探针与电路板之间重复地产生探针的转动，从而可能导致较大的磨损或损坏。
[0016]根据该方面，因为转动被限制部限制探针绕着轴线方向转动，所以能够控制第二端与电路板之间的接触部处产生的磨损和损坏。因此，能够使探针与电路板之间的电连接稳定化，因而能够改善接触检查装置的可靠性。
[0017]根据本发明的第二方面的探针为根据第一方面的探针，其中，所述第一端与所述第二端之间设置有可伸缩部，所述可伸缩部能够沿所述探针的轴线方向自由伸缩并具有至少一个螺旋槽。
[0018]根据该方面，当探针的第一端与测试对象接触时，设置在第一端与第二端之间的、具有螺旋槽的可伸缩部沿轴线方向收缩并吸收一部分压力。然后，一部分压力作用于探针使探针绕着轴线方向转动。然而，因为限制探针绕着轴线方向转动的转动被限制部设置于第二端，所以限制了探针在其第二端处绕着轴线方向转动。结果，能够控制第二端与电路板之间的接触部处产生的磨损和损坏。因此，能够使探针与电路板之间的电连接稳定化，因而能够改善接触检查装置的可靠性。
[0019]根据本发明的第三方面的探针为根据第二方面的探针，其中，所述第二端由管状构件形成。
[0020]探针的第二端由管状构件构成。因此，当探针与电路板之间重复地发生转动时，电路板的接触部被环状地磨损。换言之，磨损集中在同一部位。结果，探针与电路板之间发生接触压力的波动，从而使探针与电路板之间的电连接变得不稳定。
[0021]然而，在该方面中，通过转动被限制部限制了第二端的转动。因此，即使当第二端由管状构件形成时，也会限制第二端处的转动。因而，能够更有效地控制第二端与电路板之间的磨损和损坏的产生，并且能够使探针与电路板之间的电连接稳定化。
[0022]根据本发明的第四方面的探针为根据第二方面或第三方面的探针，其中，所述第一端与所述第二端之间设置有至少两个所述可伸缩部，并且所述可伸缩部之间形成有中间部。
[0023]根据本发明的第五方面的探针为根据第一方面至第四方面中任一方面的探针，其中，所述转动被限制部形成为缺欠部，所述缺欠部通过使所述第二端的一部分缺欠而形成。
[0024]在本说明书中，“通过使第二端的一部分缺欠而形成的缺欠部”不仅包括通过切除第二端的一部分所形成的缺口，而且还包括通过除了切割以外的诸如加压和其它形成方法等的方法而在第二端形成的缺欠部。
[0025]根据该方面，因为将转动被限制部形成为缺欠部，所以转动被限制部能够容易地形成于第二端。
[0026]根据本发明的第六方面的探针为根据第一方面至第四方面中任一方面的探针，其中，所述转动被限制部通过将管状构件的所述第二端形成为多边形形状而形成。
[0027]根据该方面，转动被限制部通过将由管状构件制成的第二端形成为多边形形状而形成。通过将转动被限制部的形状形成为多边形形状，能够使如下力分布至该多边形形状的各表面:作用于转动被限制部以限制绕着轴线方向转动的力。因此，需要较小的力来控制探针的第二端的转动。
[0028]此外，通过将第二端形成为多边形形状，增大了第二端与电路板之间的接触面积，由此增加了第二端与电路板之间的摩擦力。因而，能够控制探针的转动。另外，归因于接触面积的增大，所以能够减小第二端与电路板之间的每单位面积的接触压力。因而，能够减少磨损，并且能够使探针与电路板之间的电连接稳定化。
[0029]此外，因为通过对由管状构件制成的第二端进行加压成型来形成转动被限制部，所以能够在第二端容易地形成转动被限制部。另外，因为管状构件被形成为多边形形状，所以能够改善管状构件的强度(刚性)。
[0030]根据本发明的第七方面的探针为根据第一方面至第四方面中任一方面的探针，其中，所述转动被限制部形成为突起，该突起沿所述探针的径向从所述探针突出。
[0031]根据本发明的第八方面的探针为根据第一方面或第二方面的探针，其中，所述探针包括:第一接触部，其构成所述探针的第一端；以及第二接触部，其构成所述探针的第二端，所述第二接触部与所述电路板线接触，并且所述转动被限制部形成为突起，该突起沿所述探针的径向从所述探针突出。
[0032]根据本发明的第九方面的接触检查装置为如下接触检查装置:其对测试对象执行接触检查，该接触检查装置包括:第一方面至第八方面所述的多根探针；电路板，其与所述探针的所述第二端接触；以及探针头，所述多根探针插入通过所述探针头，并且所述探针头能够拆装地安装于所述电路板，其中，所述探针头的与所述电路板相对的一侧设置有转动限制部，所述转动限制部与所述探针的转动被限制部接合。
[0033]根据该方面，因为探针头的与电路板相对的一侧设置有与探针的转动被限制部接合的转动限制部，所以当探针的第一端与测试对象接触时，在允许第一端相对于测试对象绕着轴线方向转动的同时确实地限制了第二端绕着轴线方向转动。因此，能够使探针与电路板之间的电连接稳定化，因而能够改善接触检查装置的可靠性。
【附图说明】
[0034]图1是根据本发明的第一实施方式的设置有探针的接触检查装置的侧截面图。
[0035]图2是图1所示的接触检查装置的探针基板侧的放大图。
[0036]图3是根据第一实施方式的探针的侧视图。
[0037]图4是示出根据第一实施方式的探针的转动被限制部的放大图。
[0038]图5是示出根据第一实施方式的探针头的上表面的立体图。
[0039]图6是示出探针插入通过探针头的状态下的探针头的上表面的平面图。
[0040]图7是示出根据第一实施方式的一个变型的转动被限制部的立体图。
[0041]图8是示出根据第一实施方式的另一变型的转动被限制部的立体图。
[0042]图9是示出根据第一实施方式的再一变型的转动被限制部的立体图。
[0043]图1OA是示出当探针基板的接触点部的形状为管状时的接触状态的示意图，图1OB是示出当探针基板的接触点部的形状为六边形时的接触状态的示意图，图1OC是示出当探针基板的接触点部的形状为星形时的接触状态的示意图。
[0044]图11是根据第二实施方式的探针的侧视图。
[0045]图12是示出根据第二实施方式的探针的转动被限制部的