水平度调整装置及水平度调整方法与流程

本发明涉及测量技术领域，尤其涉及一种水平度调整装置及水平度调整方法。

背景技术：

在tft(thinfilmtransistor，薄膜晶体管)制造工艺中，以磁控溅射设备为例，需要承托盘等来承载玻璃基板在设备内传送，而承托盘的传送是靠其下部一排滚轮进行的，如果各滚轮不在同一水平高度上时，会造成承托盘的颠簸和振动，从而导致玻璃基板碎片，因此调整各滚轮的水平度至关重要。

目前业内常用调整各滚轮水平度的方法主要是利用激光准直仪，测量每一滚轮的高度，来对滚轮高度进行调整。但是，由于设备的滚轮较多，这种方法导致测量所需时间长，且准确度不高。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种水平度调整装置及水平度调整方法，测量方法方便，节省作业时间，提高作业效率，且能够提高水平度调整精度。

本发明所提供的技术方案如下：

一种水平度调整方法，用于将多个待调整部件的测量点位置调整至处于同一预定水平面上；所述方法包括：

在各待调整部件的测量点位置处设置待触发物，所述待触发物能够被预设光线触发而发出预设触发信号；

发射所述预设光线，且所述预设光线为在所述预定水平面上传播的准直光线；

调整每一待调整部件的位置，直至每一待调整部件的测量点处的待触发物发出所述预设触发信号。

进一步的，在所述方法中，所述待触发物包括能够在所述预定光线激发下发出预定波长的光的发光件。

进一步的，所述发光件包括能够在所述预定光线激发下发出预定波长的荧光的量子点材料及用于承载所述量子点材料的量子点载体器件，所述量子点载体器件可拆卸地设置在所述待调整部件的测量点处。

进一步的，所述量子点载体器件包括包裹或掺杂所述量子点材料的纳米器件。

进一步的，在所述方法中，沿所述预定水平面发射所述预设光线，具体包括：

沿一水平面发射所述预定光线，且所述预定光线发射至一基准参照物上，当所述预定光线触发预定基准待调整部件上的待触发物发出所述预定触发信号时，在所述基准参照物上对当前所述预定光线的高度进行标记，并以当前水平面作为所述预定水平面；

发射所述预设光线，并保证所述预定光线始终发射至所述基准参照物上的标记上。

进一步的，在所述方法中，调整每一待调整部件的位置，直至每一待调整部件的测量点处的待触发物发出所述预设触发信号，具体包括：

第一调整步骤：当所述待调整部件的数量大于预设值时，多个待调整部件沿所述预定光线发射方向依次排列，包括最接近所述预定光线发射点的第一待调整部件和除所述第一待调整部件之外的多个第二待调整部件；其中当调整除所述第一待调整部件之外的第二待调整部件时，将位于当前待调整的第二待调整部件的靠近所述预定光线的发射侧的待调整部件的触发物拆卸下来，调整当前待调整的第二待调整部件的位置，直到当前待调整的第二待调整部件的测量点处的待触发物发出所述预设触发信号；

按照上述第一调整步骤，沿所述预定光线发射方向依次调整除所述第一待调整部件之外的各第二待调整部件的位置。

进一步的，在所述方法中，调整每一待调整部件的位置，直至每一待调整部件的测量点处的待触发物发出所述预设触发信号，具体包括：

第二调整步骤：当所述待调整部件的数量小于等于预设值时，当调整任一待调整部件时，保持其他待调整部件不变，调整当前待调整的待调整部件的位置，直到当前待调整的待调整部件的测量点处的待触发物发出所述预设触发信号；

按照上述第二调整步骤，沿所述预定光线发射方向依次调整各待调整部件的位置。

进一步的，所述待调整部件包括滚轮，所述待调整部件的测量点包括所述滚轮的外周面上的水平位置最高点。

一种水平度调整装置，用于将多个待调整部件的测量点位置调整至处于同一预定水平面上；所述装置包括：

用于设置在各待调整部件的测量点位置处的待触发物，所述待触发物能够被预设光线触发而发出预设触发信号；

用于沿所述预定水平面发射所述预设光线的光发射器；

以及，用于调整各待调整部件的位置的调整单元。

进一步的，所述待触发物包括能够在所述预定光线激发下发出预定波长的光的发光件。

进一步的，所述发光件包括能够在所述预定光线激发下发出预定波长的荧光的量子点材料及用于承载所述量子点材料的量子点载体器件，所述量子点载体器件可拆卸地设置在所述待调整部件的测量点处。

进一步的，所述量子点载体器件包括包裹或掺杂所述量子点材料的纳米器件。

本发明所带来的有益效果如下：

本发明所提供的水平度调整方法及装置，利用待触发物能够被预设光线触发而发出预设触发信号的特性，将待触发物设置在各待调整部件的测量点位置上，通过在预定水平面上发射准直光线，若待调整部件上的待触发物不发出触发信号，说明该待触发物未处于正确位置上，则继续调整待调整部件的位置，直至待触发物发出触发信号为止，这种调整方式，比传统的采用激光准直法测试的方式更为方便，能够节省作业时间，提高作业效率。

附图说明

图1表示本发明实施例所提供的水平度调整方法的示意图；

图2表示本发明实施例所提供的水平度调整装置的结构示意图；

图3表示本发明实施例所提供的水平度调整方法的步骤s2的示意图；

图4表示本发明实施例所提供的水平度调整方法的步骤s3的第一种实施方式的示意图；

图5表示本发明实施例所提供的水平度调整方法的步骤s3的第二种实施方式的示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

针对现有技术中调整滚轮水平度时测量所需时间长，且准确度不高的技术问题，本发明提供了一种水平度调整装置及水平度调整方法，测量方法方便，节省作业时间，提高作业效率，且能够提高水平度调整精度。

本发明所提供的一种水平度调整方法，用于将多个待调整部件的测量点位置调整至处于同一预定水平面上；如图1和图2所示，所述方法包括：

步骤s1、在各待调整部件100的测量点位置处设置待触发物200，所述待触发物200能够被预设光线触发而发出预设触发信号；

步骤s2、发射所述预设光线，且所述预设光线为在所述预定水平面上传播的准直光线；

步骤s3、调整每一待调整部件100的位置，直至每一待调整部件100的测量点处的待触发物200发出所述预设触发信号。

本发明所提供的水平度调整方法，利用待触发物200能够被预设光线触发而发出预设触发信号的特性，将待触发物200设置在各待调整部件100的测量点位置上，通过在预定水平面上发射准直光线，若待调整部件100上的待触发物200不发出触发信号，说明该待触发物200未处于正确位置上，则继续调整待调整部件100的位置，直至待触发物200发出触发信号为止，这种调整方式，比传统的采用激光准直法测试的方式更为方便，能够节省作业时间，提高作业效率。

需要说明的是，本发明所提供的水平度调整方法可以适用于多种场合下多个待调整部件100的水平度调整，例如，可以适用于承载基板的基板传送装置中的多个滚轮的水平度调整。

以下就以该水平度调整方法调整基板传送装置中的多个滚轮的水平度为例，来对本发明进行更为详细的说明。

其中，当该水平度调整方法用于基板传送装置中多个滚轮的水平度调整时，滚轮的顶端水平度需要在同一水平面上，以支撑和传送基板，因此，滚轮的待调整部件100的测量点位置即为滚轮的外周面上的水平位置最高点，所述待触发物200可以设置在滚轮的外周面上的水平位置最高点。

在本发明所提供的实施例中，优选的，在所述方法中，所述待触发物200包括能够在所述预定光线激发下发出预定波长的光的发光件。

采用上述方案，所述待触发物200可以利用发光件能够在预定光线激发下发光的特性，在预定水平面上发射的准直光线，当调整滚轮的水平位置，若位于滚轮水平位置最高点处的发光件未发光时，说明滚轮的水平高度不够，继续调整滚轮的高度，直至滚轮的水平位置最高点处的发光件发光为止，这种方式利于操作人员在调整滚轮的位置时更为直观地观察。

需要说明的是，在实际应用中，所述待触发物200还可以是能够在所述预定光线激发下发出其他类型的触发信号，例如，发出电触发信号等，上述优选实施例利用发光件被预定光线激发发光的方式与其他方式相比，具有观察更为直观，结构更为简单等优点。

此外，在本发明所提供的实施例中，优选的，所述发光件包括能够在所述预定光线激发下发出预定波长的荧光的量子点材料及用于承载所述量子点材料的量子点载体器件，所述量子点载体器件可拆卸地设置在所述待调整部件100的测量点处。优选的，所述量子点载体器件包括包裹或掺杂所述量子点材料的纳米器件。

量子点(quantumdot，qd)，也称半导体纳米微晶体，是一种能够接受激发光产生荧光的纳米颗粒。qd作为一种新型的无机荧光纳米材料，因其独特的荧光性质—优良的光谱特性和光化学稳定性，被广泛应用于诸多领域。qd的粒径很小(约2～10nm)，电子和空穴被量子限域，qd内部电子在各方向上的运动都受限，显著的量子限制效应(quantumconfinementeffect)使其能带变成具有分子特性的分立能级，因此使qd具有独特的光学性质。qd荧光特性如下：很强的荧光发射能力；光学稳定性高；激发光范围很宽，同一波长的光可以激发不同qd；多种颜色可以选择，如红，蓝，绿等；发射波长可通过改变qd的粒径大小和组成材料制备多种荧光光谱特征不同的qd；并且峰型尖锐，对称性好。不同尺寸的量子点颜色参考表现不同。

在上述方案中，就是利用量子点的荧光效应，将承载量子点材料的量子点载体器件采用贴附等方式设置在滚轮表面的水平位置最高点，预设光线可以为激光，通过激光来激发量子点发光。量子点材料可以采用纳米器件来包裹或掺杂，所述量子点材料的包裹有多种方式，可以采用纳米材料或者脂质体进行包裹等，可以根据需求的尺寸、亮度选择要包裹的量子点的数量；所述纳米器件可以是量子点荧光纳米球，其是以纳米球为载体，将量子点材料组装或包埋到纳米球上，具有荧光信号更强烈、更稳定，安全性更高等优点，由于量子点材料采用纳米器件来承载，是nm级别，所以水平度调整的精度比较高。

此外，在本发明所提供的实施例中，优选的，如图2所示，在所述方法中，沿所述预定水平面发射所述预设光线，具体包括：

沿一水平面发射所述预定光线，且所述预定光线发射至一基准参照物300上，当所述预定光线触发预定基准待调整部件100上的待触发物200发出所述预定触发信号时，在所述基准参照物上对当前所述预定光线的高度作标记301，并以当前水平面作为所述预定水平面；

发射所述预设光线，并保证所述预定光线始终发射至所述基准参照物上的标记301上。

采用上述方案，若要沿一预定水平面发射所述预设光线，需要保证发射的所述预设光线始终处于所述预定水平面上，其中所述预定水平面可以通过在调整各待调整部件100之前，将各待调整部件100中的一个待调整部件100作为预定基准待调整部件100，发送准直预设光线，激发所述预定基准待调整部件100上的待触发物200，使得待触发物200发出触发信号，此时，在基准参照物上做好标记，记录此时所述预定基准待调整部件100的高度，然后在调整其他各待调整部件100的高度时，使得所述预定光线始终发射至所述基准参数物的标记301上，以此保证所述预设光线的水平度。

以下说明本发明所提供的水平度调整方法的两种优选实施例。

实施例1

在本实施例中，若待调整部件100的数量较多时，例如，在基板传送装置中的滚轮数量较多，预设光线在穿过各待调整部件100上的待触发物200之后，光能量会逐渐减弱，那么待调整部件100距离发射预设光线的发射侧越远，可能会导致触发信号越弱，因此，在本实施例中，所述水平度调整方法包括：

步骤s11、在各待调整部件100的测量点位置处设置待触发物200，所述待触发物200能够被预设光线触发而发出预设触发信号；

步骤s12、发射所述预设光线，且所述预设光线为在所述预定水平面上传播的准直光线；

步骤s13、调整每一待调整部件100的位置，直至每一待调整部件100的测量点处的待触发物200发出所述预设触发信号。

其中，在所述步骤s12中，在调整各待调整部件100之前，将各待调整部件100中的一个待调整部件100作为预定基准待调整部件100，发送准直预设光线，激发所述预定基准待调整部件100上的待触发物200，使得待触发物200发出触发信号，此时，在基准参照物300上做好标记，记录此时所述预定基准待调整部件100的高度，然后在调整其他各待调整部件100的高度时，使得所述预定光线始终发射至所述基准参数物的标记上，以此保证所述预设光线的水平度。

所述步骤s13，具体包括：

第一调整步骤：当所述待调整部件100的数量大于预设值时，多个待调整部件100沿所述预定光线发射方向依次排列，包括最接近所述预定光线发射点的第一待调整部件100和除所述第一待调整部件100之外的多个第二待调整部件100；其中当调整除所述第一待调整部件100之外的第二待调整部件100时，将位于当前待调整的第二待调整部件100的靠近所述预定光线的发射侧的待调整部件100的触发物拆卸下来，调整当前待调整的第二待调整部件100的位置，直到当前待调整的第二待调整部件100的测量点处的待触发物200发出所述预设触发信号；

按照上述第一调整步骤，沿所述预定光线发射方向依次调整除所述第一待调整部件100之外的各第二待调整部件100的位置。

以本实施例中所提供的水平度调整方法调整滚轮为例，对本实施例所提供的方法进行详细说明：

首先，如图3所示，调整准直预设光线(例如，激光)的水平度，激发靠近预设光线发射侧(即，光发射器400所在的一侧)的第一个滚轮101上的发光件201，使发光件201发光，并在基准参照物300上做好标记301，记录第一个滚轮101的水平高度；

然后，如图4所示，取下第一个滚轮101上的发光件201，预设光发射器400的位置不变，调整第二个滚轮102的高度，直到第二个滚轮102上的发光件202发光为止，并依次类推，按照所述预设光线的发射方向依次调整各滚轮的位置，直到所有滚轮调整完成为止。

实施例2

在本实施例中，若待调整部件100的数量不多时，预设光线在穿过各待调整部件100上的待触发物200之后，光能量虽然会逐渐减弱，但是对触发信号强弱影响不会很大，此时，所述水平度调整方法包括：

步骤s21、在各待调整部件100的测量点位置处设置待触发物200，所述待触发物200能够被预设光线触发而发出预设触发信号；

步骤s22、发射所述预设光线，且所述预设光线为在所述预定水平面上传播的准直光线；

步骤s23、调整每一待调整部件100的位置，直至每一待调整部件100的测量点处的待触发物200发出所述预设触发信号。

其中，在所述步骤s22中，在调整各待调整部件100之前，将各待调整部件100中的一个待调整部件100作为预定基准待调整部件100，发送准直预设光线，激发所述预定基准待调整部件100上的待触发物200，使得待触发物200发出触发信号，此时，在基准参照物300上做好标记，记录此时所述预定基准待调整部件100的高度，然后在调整其他各待调整部件100的高度时，使得所述预定光线始终发射至所述基准参数物的标记上，以此保证所述预设光线的水平度。

所述步骤s23，具体包括：

第二调整步骤：当所述待调整部件100的数量小于等于预设值时，当调整任一待调整部件100时，保持其他待调整部件100不变，调整当前待调整的待调整部件100的位置，直到当前待调整的待调整部件100的测量点处的待触发物200发出所述预设触发信号；

按照上述第二调整步骤，沿所述预定光线发射方向依次调整各待调整部件100的位置。

以本实施例中所提供的水平度调整方法调整滚轮为例，对本实施例所提供的方法进行详细说明：

首先，如图3所示，调整准直预设光线(例如，激光)的水平度，激发靠近预设光线发射侧的第一个滚轮101上的发光件201，使发光件201发光，并在基准参照物300上做好标记301，记录第一个滚轮101的水平高度；

然后，如图4所示，保留第一个滚轮101上的发光件201不变，预设光发射器的位置不变，调整第二个滚轮102的高度，直到第二个滚轮102上的发光件202发光为止，并依次类推，按照所述预设光线的发射方向依次调整各滚轮的位置，直到所有滚轮调整完成为止。

本发明的实施例中还提供了一种适用于上述水平度调整方法的水平度调整装置，用于将多个待调整部件100的测量点位置调整至处于同一预定水平面上；如图2所示，所述装置包括：

用于设置在各待调整部件100的测量点位置处的待触发物200，所述待触发物200能够被预设光线触发而发出预设触发信号；

用于沿所述预定水平面发射所述预设光线的光发射器400；

以及，用于调整各待调整部件100的位置的调整单元500。

本发明所提供的水平度调整装置，可以利用待触发物200能够被预设光线触发而发出预设触发信号的特性，将待触发物200设置在各待调整部件100的测量点位置上，通过在预定水平面上发射准直光线，若待调整部件100上的待触发物200不发出触发信号，说明该待触发物200未处于正确位置上，则继续调整待调整部件100的位置，直至待触发物200发出触发信号为止，这种调整方式，比传统的采用激光准直法测试的方式更为方便，能够节省作业时间，提高作业效率。

需要说明的是，本发明所提供的水平度调整装置可以适用于多种场合下多个待调整部件100的水平度调整，例如，可以适用于承载基板的基板传送装置中的多个滚轮的水平度调整。

以下就以该水平度调整方法调整基板传送装置中的多个滚轮的水平度为例，来对本发明进行更为详细的说明。

其中，当该水平度调整方法用于基板传送装置中多个滚轮的水平度调整时，滚轮的顶端水平度需要在同一水平面上，以支撑和传送基板，因此，滚轮的待调整部件100的测量点位置即为滚轮的外周面上的水平位置最高点，所述待触发物200可以设置在滚轮的外周面上的水平位置最高点。

在本发明所提供的实施例中，优选的，所述待触发物200包括能够在所述预定光线激发下发出预定波长的光的发光件。

采用上述方案，所述待触发物200可以利用发光件能够在预定光线激发下发光的特性，在预定水平面上发射的准直光线，当调整滚轮的水平位置，若位于滚轮水平位置最高点处的发光件未发光时，说明滚轮的水平高度不够，继续调整滚轮的高度，直至滚轮的水平位置最高点处的发光件发光为止，这种方式利于操作人员在调整滚轮的位置时更为直观地观察。

需要说明的是，在实际应用中，所述待触发物200还可以是能够在所述预定光线激发下发出其他类型的触发信号，例如，发出电触发信号等，上述优选实施例利用发光件被预定光线激发发光的方式与其他方式相比，具有观察更为直观，结构更为简单等优点。

此外，在本发明所提供的实施例中，优选的，所述发光件包括能够在所述预定光线激发下发出预定波长的荧光的量子点材料及用于承载所述量子点材料的量子点载体器件，所述量子点载体器件可拆卸地设置在所述待调整部件100的测量点处。优选的，所述量子点载体器件包括包裹或掺杂所述量子点材料的纳米器件。

量子点(quantumdot，qd)，也称半导体纳米微晶体，是一种能够接受激发光产生荧光的纳米颗粒。qd作为一种新型的无机荧光纳米材料，因其独特的荧光性质—优良的光谱特性和光化学稳定性，被广泛应用于诸多领域。qd的粒径很小(约2～10nm)，电子和空穴被量子限域，qd内部电子在各方向上的运动都受限，显著的量子限制效应(quantumconfinementeffect)使其能带变成具有分子特性的分立能级，因此使qd具有独特的光学性质。qd荧光特性如下：很强的荧光发射能力；光学稳定性高；激发光范围很宽，同一波长的光可以激发不同qd；多种颜色可以选择，如红，蓝，绿等；发射波长可通过改变qd的粒径大小和组成材料制备多种荧光光谱特征不同的qd；并且峰型尖锐，对称性好。不同尺寸的量子点颜色参考表现不同。

在上述方案中，就是利用量子点的荧光效应，将承载量子点材料的量子点载体器件采用贴附等方式设置在滚轮表面的水平位置最高点，预设光线可以为激光，通过激光来激发量子点发光。量子点材料可以采用纳米器件来包裹或掺杂，所述量子点材料的包裹有多种方式，可以采用纳米材料或者脂质体进行包裹等，可以根据需求的尺寸、亮度选择要包裹的量子点的数量；所述纳米器件可以是量子点荧光纳米球，其是以纳米球为载体，将量子点材料组装或包埋到纳米球上，具有荧光信号更强烈、更稳定，安全性更高等优点，由于量子点材料采用纳米器件来承载，是nm级别，所以水平度调整的精度比较高。

需要说明的是，所述纳米器件可以通过粘贴等方式可拆卸地设置在所述待调整部件100上。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。