专利名称：盘装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种具有直径为1英寸或更小的盘形记录媒体的盘装置。
背景技术：
作为典型的盘装置的磁盘装置包括容纳在壳体中的磁盘、支承该盘并使该盘旋转的主轴马达、用于从该盘读取信息和向该盘写入信息的磁头和支承该磁头以便于其相对于盘移动的托架组件。该托架组件具有可摇摆地支承的臂件和从该臂件延伸的悬架。磁头单个地支承在各个悬架的延伸端部上。每个磁头都具有一个安装在其相应的悬架上的滑动器和滑动器上的头部。该头部包括用于读写信息的再现元件和记录元件。
滑动器具有面对磁盘的记录表面的对向表面。滑动器通过悬架受到给定的头荷重，该荷重指向磁盘的磁记录层。当磁盘装置被致动时，在旋转的盘和该滑动器之间产生气流。根据空气动力学的表面效应原理，使滑动器在盘的记录表面上方飞行的力作用在滑动器的对向表面上。通过使飞行力和头荷重平衡，可以使滑动器以给定的间隙在磁盘的记录表面上方飞行。
在不考虑磁盘上的径向位置的情况下，滑动器的飞行高度基本相同。盘的旋转频率是固定的，并且其线速度依径向位置而变化。由于磁头由旋转的托架组件定位，而且斜交角(skew angles)(气流方向和滑动器的中心线之间的夹角)也依盘上的径向位置而变化。因此，在设计滑动器时，必须通过恰当地的利用依径向盘位置而变化的上述两个参数而限制取决于径向盘位置的飞行高度的变化。
考虑到工作环境的变化，期望盘装置在低压的高原环境下平稳地工作。如果只考虑头荷重和基于空气流体润滑作用在滑动器的对向表面上的正压之间的平衡而构造磁头，那么在低压环境下，由空气流体润滑所产生的正压被降低。因此，滑动器必然在飞行高度减小或者磁头接触磁盘表面处达到平衡。
例如，在日本专利申请公开文献No.2001-283549所描述的盘装置中，为了防止飞行高度的减小，负压腔形成在滑动器的对向表面的中央附近。负压腔由在不同于空气出口方向的其它三个方向上被突出的轨道围绕的凹陷部限定。滑动器构造成依靠负压腔产生的负压、头荷重、正压之间的平衡飞行。在低压环境下，根据该构型，所产生的正压减小时，负压也减小。因此滑动器能够实现飞行高度的较少量的减小。中心垫在滑动器的空气出口端侧形成在负压腔中。头部形成在滑动器的出口侧端表面上，因而位于中心垫附近。因此，可以通过适当地布置滑动器的对向表面的不规则形状来调整滑动器的减压时的飞行高度、飞行姿态以及飞行高度的减小。
随着磁盘装置的小型化发展，现代磁盘的直径已经减小。尽管到目前为止3.5英寸和2.5英寸的磁盘仍然流行，但1.8英寸、1.0英寸和0.85英寸盘装置已经商品化或者被预计商品化。利用它们的小型，这些磁盘装置主要安装在移动设备中。
另一方面，对于这些小直径磁盘装置的头滑动器来说，盘的线速度随着盘直径的减小而降低，并且支承滑动器的空气轴承力减小。因此，当承载希望的头压力荷重时，难以确保所要求的滑动器的各种特性，例如飞行高度的线速度依赖性、减压时的飞行高度的减小等。该头压力荷重的确定主要取决于耐冲击性，并且移动设备需要较高的耐冲击性。因此，即便在小直径磁盘装置中，也不能盲目地减小头压力荷重。
减压时的行为是所要求的滑动器必要特征之一。减压时的行为是飞行高度在减压条件下减小以使得滑动器接触盘时引起的滑动器振动。在减压条件下，由于制造时的偏差和寻道(seek)引起的飞行高度的复合减小，滑动器可能会接触磁盘。因此，为了制造高可靠性的磁盘装置，必须使减压时的滑动器振动最小。
发明内容
考虑这些情况而作出本发明，并且本发明的目的在于提供一种具有改善的稳定性和可靠性的盘装置，其中，减压时的滑动器的振动被抑制。
为了实现这一目的，按照本发明的一方面的盘装置包括表面粗糙度用Ra表示为0.8nm或更小、直径为1英寸或更小的盘形记录介质；支承该记录介质和使该记录介质旋转的驱动单元；具有滑动器和设置在该滑动器上并向所述记录介质记录信息和从该记录介质再现信息的头部的头，其中，该滑动器具有与记录介质表面相对的对向表面并且在记录介质旋转时由记录介质表面和对向表面之间产生的气流气动地支承；和支承该头以便于其相对于所述记录介质运动并且将指向所述记录介质表面的1gf(克力)或更大的头荷重施加到该头上的头悬架，所述滑动器具有由形成在所述对向表面中的凹陷部限定并产生负压的负压腔，从该对向表面突出的先导台阶部和先导垫位于该负压腔的相对于气流的上游侧并且面对所述记录介质，从所述对向表面突出的尾部台阶部和尾部垫位于该负压腔的相对于气流的下游侧并且面对该记录介质，该尾部垫的表面积占该滑动器的盘对向表面的面积的1.5％或更多，并且至少该尾部垫的表面被微观结构化。
按照本发明的一方面，尾部台阶部的表面积增加以保持减压时的空气轴承力，并且滑动器表面被微观结构化，从而防止滑动器和盘表面之间的吸引。因此，可以提供具有改善的稳定性和可靠性的盘装置。
本发明的其它目的和优点将在下面的说明中得到阐述，并且将在说明中变得部分明显或者可以从本发明的实践中得到了解。通过以下具体指出的示例和组合，可以理解和获得本发明的目的和优点。
包括在说明书中并构成说明书的一部分的附图描述了本发明的实施例，并且与上文给出的概括描述和下文给出的实施例的详细描述一起用于解释本发明的原理。
图1是示出按照本发明的一实施例的硬盘驱动器(以下称之为HDD)的平面图；图2是示出HDD的磁头部分的放大侧视图；图3是示出磁头的滑动器的盘对向表面侧的透视图；图4是示出滑动器的盘对向表面侧的平面图；图5是示出不同直径的盘的径向位置和线速度之间的关系的曲线图；图6是示意性示出磁头的滑动器和磁盘表面彼此互相接触的状态的示意图；图7是示意性示出磁头的滑动器和磁盘表面的接触部分的放大图；图8是示出微观结构滑动器的一部分的放大图；图9是示出图8所示的滑动器的一部分的剖面图；和图10A和10B是示出微观结构深度和承载区域之间的关系的曲线图。
具体实施例方式
现在将参照附图详细描述将本发明的盘装置应用于HDD的实施例。
如图1所示，HDD包括顶部敞开口的矩形盒状壳体12和顶盖(未示出)。该顶盖通过螺旋件旋拧到该壳体上并闭合该壳体的顶部开口。
壳体12容纳用作记录介质的磁盘16、主轴马达18、磁头、和托架组件22。主轴马达18用作支承盘并使盘旋转的驱动单元。磁头用于向盘上写入和从盘读取信息。托架组件22支承磁头以使其相对于磁盘16移动。壳体12还包括音圈马达(VCM)24、斜坡加载机构25、基板单元21等。VCM 24使托架组件摇摆和定位。当磁头移到盘的最外缘时，斜坡加载机构25保持磁头位于离开磁盘的闲置位置。基板单元21具有头IC等。
印刷电路板(未示出)被旋拧到壳体12的底壁的外表面上。该电路板通过基板单元21控制主轴马达18、VCM 24和磁头的各自的操作。
磁盘16在其上表面和下表面上分别具有磁记录层。磁盘16表面的用Ra表示的表面粗糙度为0.8nm或更小。磁盘16的直径为1英寸或更小，例如0.85英寸。盘16安装在主轴马达18的毂(未示出)的外周缘上，并通过夹持弹簧17固定在该毂上。当马达18被驱动时，盘16以给定速度例如4200rpm沿箭头B的方向旋转。
托架组件22包括固定在壳体12的底壁上的支承组件26和从支承组件延伸的臂件32。这些臂件32平行于磁盘16表面设置并且彼此间隔开。它们从支承组件26沿相同的方向延伸。托架组件22设置有悬架38，其中每个悬架都由可弹性变形的细长板簧形成。悬架38各自具有通过点焊或粘结固定在臂件32的各远端上的近端，并且从臂件延伸。每个悬架38都可以与其相应的臂件32一体地形成。臂件32和悬架38构成头悬架。头悬架和磁头构成头悬置组件。
如图2所示，每个磁头40都有一个基本呈矩形的滑动器42和该滑动器上的用于记录并再现的头部44。它被固定到设置在悬架38的远端部上的平衡簧41上。通过悬架38的弹性将指向磁盘16表面的头荷重L施加到每个磁头40上。如下文所述，头荷重设定为1gf或更大。
如图1所示，托架组件22具有从支承组件26沿臂件32的相反方向延伸的支承架45。该支承架支承构成VCM 24的一部分的音圈47。支承架45用合成树脂在音圈47外周缘上一体地模制成形。音圈47位于一对固定在壳体12上的轭片49之间。音圈47和轭片以及固定在其中一个轭片上的磁体(未示出)一起构成VCM 24。如果音圈47被通电，托架组件22围绕支承组件26摇摆，并且磁头40移动到并定位在希望的磁盘16轨道上方。
斜坡加载机构25包括斜块51和突出部53。斜块51设置在壳体12的底壁上并且位于磁盘16外侧。突出部53从各悬架38的远端延伸。当托架组件22摇摆到磁盘16外侧的闲置位置时，每个突出部53与形成在斜块51上的倾斜表面接合。此后，通过倾斜表面的斜度拉动突出部53，从而使磁头卸载。
下面是对磁头40的详细描述。如图2到4所示，磁头40具有基本为长方体的滑动器42。滑动器具有面对磁盘16表面的矩形的盘对向表面43。盘对向表面43的纵向限定为第一方向X，垂直于它的横向限定为第二方向Y。
磁头40被构造成飞行(浮动)滑动器。当磁盘16旋转时，滑动器42被盘表面和盘对向表面43之间产生的气流C(空气轴承力)气动地支承。当HDD正在操作时，滑动器42的盘对向表面43在在与盘表面之间有一间隙的情况下面盘对向表面方面从来没有失误。气流C的方向与磁盘16的旋转方向B一致。滑动器42相对于磁盘16表面定位，以使得盘对向表面43的第一方向X与气流C的方向基本一致。
先导台阶部50从盘对向表面43突出以面对磁盘表面。台阶部50在相对于气流C方向的上游侧封闭，在下游侧具有基本呈U形的开口。为了保持磁头40的俯仰角，用于通过空气轴承支承滑动器42的先导垫52从先导台阶部50突出。先导垫52具有沿第二方向Y连续延伸的细长形状并且位于滑动器42的相对于气流C的入口端侧。
先导台阶部50具有一对沿着盘对向表面43的长边延伸并且彼此相对地间隔开的轨道部46。每个都轨道部46从先导垫52向滑动器42的下游端侧延伸。侧垫48形成在各轨道部46上并且面对磁盘表面。
一负压腔54基本在盘对向表面43的中央部形成，该负压腔为由轨道部46和先导台阶部50限定的凹陷部。负压腔54形成在先导台阶部50的相对于气流C方向的下游侧，并且在下游侧开口。由于负压腔54的存在，可以在盘对向表面43的中央部产生负压，包括在HDD中实现的全部斜交角。
滑动器42具有从盘对向表面43的下游侧端部突出并且面对磁盘表面的尾部台阶部56。尾部台阶部56位于负压腔54的相对于气流C方向的下游侧，并且基本位于盘对向表面43的相对于横向的中心。
如图3和4所示，尾部台阶部56基本呈矩形块状，并且设置在盘对向表面43的出口端侧。尾部台阶部56的上表面面对磁盘16表面。尾部垫66形成在尾部台阶部56的上表面的下游侧端部，并且面对盘16表面。
如图2到4所示，磁头40的头部44具有向磁盘16记录信息和从磁盘16再现信息的记录元件和再现元件。记录元件和再现元件埋置在滑动器42的相对于气流C方向的下游侧端部中。它们具有形成在尾部垫66中的读/写缝隙64。
如图2所示，具有这一构型的磁头40以倾斜的姿态飞行，以使得头部44的读/写缝隙64位于很接近盘表面的位置。
在如此构成的滑动器中，尾部垫66上表面的面积占盘对向表面43总面积的1.5％或更多，优选地从2％-5％。此外，如下文详细所述，至少尾部垫66的上表面，即本实施例中的盘对向表面43的整个表面被微观结构化为具有1nm或更深的微观结构深度。
在如此构成的HDD中，减压时的行为是要求滑动器42具有的基本特性之一。减压时的行为是飞行高度在减压条件下减小以使得滑动器接触盘时引起的滑动器振动。在减压条件下，由于制造时的偏差和寻道引起的飞行高度的复合减小，滑动器42可能会接触磁盘16。因此，为了制造高可靠性的磁盘装置，必须使减压时的滑动器振动最小。
降落/起飞(TD/TO)测试是很频繁地用于评价低压时的滑动器行为的流行方法。在该测试中，通过声音发射(AE)传感器或激光多普勒振动计观察滑动器的振动，同时当压力减小时磁头装载在磁盘上。当滑动器与磁盘接合并且剧烈振动时(降落模式)，读取大气压。在这种状态下，在观察振动时逐渐增加压力。当滑动器停止与磁盘接合并停止振动时(起飞模式)，读取大气压。根据通过从起飞大气压中减去降落大气压得到的大气压差(TO-TD)评价振动敏感性。由于如果该大气压差较小振动会很快停止，所以可以将滑动器视为减压时振动小的高性能滑动器。下文中，减压时的振动这一方面将被称为减压特性，具有较小大气压差的滑动器将被描述为具有良好的减压特性。
图5示出具有三种盘直径的HDD的各自的线速度，表1表示典型的TD/TO测试结果。TD/TO特性根据滑动器42的ABS样式和俯仰及摇摆角度、冠顶和拱面的形状、介质表面粗糙度而变化。然而，表1所示的结果代表安装在具有那些盘直径的HDD中的磁头的典型示例，并且磁盘具有相同的表面粗糙度。因此，可以将这些特性视为一般特性。
表1
本实施例中描述的小直径盘为1英寸或更小的盘。在下文中，0.85英寸的盘将作为本实施例的盘的典型示例来描述。表1指出，0.85英寸的盘与2.5英寸和1.8英寸的盘相比，大气压差(TO-TD)大得多并且减压特性更差，尽管这些盘的TD大气压基本没有差别。这一点被推测为归因于每个磁盘的线速度低至对于由低空气轴承压力支承的0.8英寸滑动器来说空气轴承的刚性不足。如从图5中所看到的，该低线速度条件是一特殊条件，以使得0.85英寸盘的线速度比相互重叠的1.8英寸盘的外侧线速度和2.5英寸盘的内侧线速度低得多。
降落-起飞现象是在滑动器42已开始与磁盘接合并振动之后通过加压重新获得飞行高度的现象，由此，滑动器42和磁盘之间的碰撞频率被降低，并且最终完成起飞。因此，为了使滑动器和磁盘之间的碰撞频率较低，滑动器应该优选地不易振动或具有高刚性。
当滑动器42和磁盘彼此接触时，三个力，(1)空气轴承力，(2)盘的反作用力和(3)可归因于盘表面上的润滑剂的作用在滑动器42上的引力。引力(3)是将滑动器吸引到盘上的力。如果该力太大，滑动器容易粘附到盘上，使得滑动器不易停止振动。因此，为了改善减压特性，减小滑动器和盘之间的引力是重要的。
另一方面，将滑动器42压靠在磁盘上的头荷重也是一个重要因素。通常，用于小直径盘的磁盘装置用于移动设备，例如移动电话。因此，当与其它大直径盘装置相比较时，需要较高的耐冲击性能。为了提高操作中的磁盘装置的耐冲击性能，提高头荷重是必要的。
表2示出当作为小直径磁盘的典型示例的0.85英寸磁盘装置中的滑动器ABS(空气轴承表面)样式和头荷重改变时所获得的耐冲击仿真和局部实测(观察)的结果。测定仿真中的耐冲击性能的条件是滑动器42和磁盘不应彼此碰撞。此外，由于为了简便，1gf和1.5gf(头荷重用滑动器)是通过稍微修改2gf头荷重用滑动器而构造的，所以用于代表近似性能的仿真的滑动器42的ABS样式不是最佳的。此外，根据2gf条件的结果，在仿真和实测之间有大约50G的差别。
表2
为了确保用于移动用途的磁盘装置所需要的1000G的下落冲击加速度，如从表2中所看到的，考虑到仿真和实测之间的差别和ABS样式并非最佳的事实，需要大约1gf或更大的头荷重。因此，在小直径磁盘装置中，1gf或更大的头荷重是必要的。因此在下面的描述中，所有的头荷重将被假定为1gf或更大，除非有其它说明。
如果考虑上述降落-起飞现象的机理，空气轴承产生的压力，即空气轴承刚性在用于0.85英寸磁盘驱动器的特定线速度条件下较低，因此减压特性必然较差。此外，为了实现小直径盘装置的必要的耐冲击性能，头荷重应为1gf或更大是必要的。因此，在本实施例中，具有低线速度、低刚性和1gf或更大头荷重的小直径磁盘的滑动器中的减压特性得到改善。
如上所述，在小直径磁盘装置的滑动器中，空气轴承刚性不可避免地减小，使得减压特性较差。然而，由于小直径，刚性的这一减小是不可避免的。尽管刚性可能可以通过将滑动器42的盘对向表面43的样式做成一定形状而提高，但不能期望过高。此外，如从表1所看到的，直径约0.85英寸的小直径磁盘的减压特性严重恶化，因此不能没有改善地提供高可靠性的滑动器。因此，可以设计一种构型以减小滑动器42和磁盘之间的引力，该引力是测定减压特性的另一因素。
图6示意性地示出滑动器42和磁盘16在滑动器42的拖尾缘彼此接触的状态。当滑动器42和磁盘16接触时，如前所述，滑动器受到4个力，头荷重L、空气轴承力72、盘反作用力73和引力74。
图7微观地示出用于一滑动器42的表面突起(asperities)的盘反作用力73和引力74。在该附图中，滑动器表面77和盘表面16a都是粗糙的。盘表面是理想的平坦面。滑动器表面具有代表等效粗糙度的均匀的突起半径和突起高度，该等效粗糙度取决于滑动器表面和盘表面。
当滑动器42与磁盘16表面16a接触时，盘表面16a使滑动器表面77的突起79断裂，因此在这部分产生突起反作用力83。整个接触区域的突起反作用力用各个突起反作用力、突起密度和表观接触面积的乘积表示。
另一方面，由于磁盘表面16a涂覆有润滑剂88，突起79周围形成弯月面75，从而产生引力74。尽管在这种情况下，弯月面75是端部浸渍(toe-dipping)的状态，但它们可以可选地为丸药盒状态。整个接触区域的引力74用突起79的引力、突起密度和表观接触面积的乘积表示。
下面的等式给出了端部浸渍状态下的每个突起79的引力FmFm＝2πRγ(1+cosθ)N0(h0，A，D)，其中R是突起半径，γ是接触角，N0(h0，A，D)是突起数目(润滑剂厚度h0，接触面积A，突起密度函数D)。
因此，为了减小引力Fm，(1)减小磁盘上的润滑剂厚度，(2)减小磁盘和滑动器的突起密度，或者(3)减小滑动器的接触面积。然而，如果润滑剂厚度减小，那么覆盖率变得较差，以至于盘表面不能被完全覆盖。磁盘表面的突起密度必然取决于盘材料和制造方法。在现代的高记录密度磁盘中，那些具有低突起密度和高度的盘有利于改善写/读信号的品质。这一要求与减小引力是矛盾(相抵触)的。
因此按照本实施例，滑动器42的接触面积减小。减小ABS表面的接触磁盘16的那部分面积是减小滑动器42的接触面积的一种方法。如图4所示，滑动器42的容易接触磁盘的那部分，即尾部垫66的下游端侧缘具有俯仰角，因此那一部分的飞行高度最低。此外，当滑动器42摇摆时，每个轨道部46的下游侧端可以是最低飞行点。因此，减小尾部垫66的下游端侧缘和轨道部46的下游侧端的面积，以减小与磁盘的接触面积。然而，由于这些位置也是产生高压的部分，如果面积减小，支承滑动器42的空气轴承力必然会降低。如果拖尾缘的压力降低，则飞行高度必然降低。如果轨道部46的压力降低，则摇摆方向上的刚性降低并且不稳定。
在线速度和空气轴承压力低且具有满足耐冲击性能的1gf或更大的头荷重的小直径磁盘用头滑动器中，必须增加尾部台阶部56和尾部垫66的各自的表面积以承载较大的荷重。因此，不希望的是，考虑耐冲击性能而减小尾部垫的面积，以及减小的飞行高度和不充分的摇摆刚性。
按照本实施例，滑动器42的尾部垫66的上表面的表面积是盘对向表面43的整个表面积的1.5％或更大，优选地是从2％到5％。
因此，在不极大程度地改变产生的压力的情况下减小接触面积是重要的。为了达到这一点，通过利用构成称作AlTiC的多晶材料的Al和TiC之间的蚀刻率差值来形成凹槽，其中AlTiC是滑动器42的主要材料。通常，这些凹槽被称作微观结构。图8示出一个通过利用Al和TiC之间的蚀刻率差值使滑动器42的盘对向表面43微观结构化的示例。图8示出通过具有1μm×1μm视场的原子力显微镜(AFM)观察到的图像，图9示出基于图8的剖面的示例。在图8中，黑色和白色部分分别代表Al和TiC。传统的AlTiC滑动器的面积比是TiC∶Al＝3∶7。
另一方面，在图9的剖面中，标号86和87分别表示Al和TiC。在该示例中，Al和TiC之间的高度差(微观结构深度)为2nm或更大。在微观结构中，AlTiC材料中的Al和TiC之间的组成比(基本等于面积比)基本是固定的。因此，为了控制引力，必须控制微观结构深度。在一种测量微观结构深度的方法中，通过AFM测定滑动器42的表面，并参照其剖面对其进行评价。但是，按照这一方法只能测量非常小的面积的深度。因此，优选地，应该通过评价整个AFM视场的高度的承载曲线-例如图10A和10B所示的曲线-和测量这些曲线的两个峰值之间的间隔来测量深度。这两个峰值各自对应各微观结构的凹陷部和突出部。
表3和表4示出在使用和不使用微观结构的情况下，具有三种盘直径的HDD的各自的线速度和TD/TO测试结果。表3示出不使用微观结构的情况，表4示出使用微观结构的情况。正如从这些表中所看出的，盘直径越小和线速度越低，利用微观结构的降落大气压和起飞大气压之间的差值的(TO-TD)的减量越大。
表3
表4
通常，确保磁盘装置可靠性的起飞大气压约为0.7atm(大气压)，这基本等于海拔10,000英尺(3000m)处的大气压，其由该装置确保。因此，对于以0.85英寸盘为代表的1英寸或更小的小直径磁盘用盘驱动器来说，可以表明，除非用微观结构减小引力，否则无法获得所需的起飞大气压。
表5示出当改变微观结构深度时获得的TD/TO的测试结果。当微观结构深度为0.8nm时，没有影响。这是因为0.8nm的深度太浅，以至于润滑剂蔓延到达微观结构的凹陷部，因此增加了吸引面积。
表5
另一方面，如果微观结构深度是2nm，将产生效果，并且4nm和2nm的深度在效果上几乎没有差别。这被假定归因于如果深度为2nm或更大润滑剂的蔓延无法到达凹陷部。因此，优选地，根据对承载曲线的评价，微观结构深度应该为大约2nm。
根据以这种方式构造的HDD，即使在使用1英寸或更小直径的小直径磁盘的情况下，也可以通过保持减压时的滑动器空气轴承力并且使滑动器表面微观结构化来阻止滑动器和盘表面之间的吸引。因此，可以防止减压时的头振动，因而可以获得具有改善的稳定性和可靠性的盘装置。
本发明不直接局限于上述实施例，它的组件可以在不偏离本发明的范围或精神的情况下进行修改。此外，通过适当地结合所描述的与上述实施例相关的多个组件，可以作出不同的发明。例如，可以省略某些根据前述实施例的组件。此外，根据不同实施例的组件可以根据需要进行组合。
先导台阶部、尾部台阶部和滑动器的垫的形状、尺寸等可以按照需要作不同的改变，而不局限于前述实施例。此外，磁盘的数目和磁头的数目可以按需要增加。
权利要求
1.一种盘装置，其特征在于，它包括表面粗糙度用Ra表示为0.8nm或更小、直径为1英寸或更小的盘形记录介质；支承该记录介质和使该记录介质旋转的驱动单元；具有滑动器和设置在该滑动器上并向所述记录介质记录信息和从该记录介质再现信息的头部的头，其中，该滑动器具有与记录介质的表面相对的对向表面并且在记录介质旋转时由该记录介质表面和该对向表面之间产生的气流气动地支承；和支承该头以便于其相对于所述记录介质运动并且将指向所述记录介质表面的1gf或更大的头荷重施加到该头上的头悬架，所述滑动器具有由形成在所述对向表面中的凹陷部限定并产生负压的负压腔，从该对向表面突出的先导台阶部和先导垫位于该负压腔的相对于气流的上游侧并且面对所述记录介质，从所述对向表面突出的尾部台阶部和尾部垫位于该负压腔的相对于气流的下游侧并且面对该记录介质，该尾部垫的表面积占该滑动器的盘对向表面的面积的1.5％或更多，并且至少该尾部垫的表面被微观结构化。
2.一种如权利要求1所述的盘装置，其特征在于，所述滑动器上的微观结构的深度为1nm或更大。
3.一种如权利要求1或2所述的盘装置，其特征在于，所述滑动器具有一对从所述先导台阶部延伸至该滑动器的下游端并从所述对向表面突出以便围绕所述负压腔的轨道部。
全文摘要
一种头(40)的滑动器(42)，该滑动器具有由形成在对向表面(43)限定的负压腔(54)，从该对向表面突出并且位于负压腔的相对于气流的上游侧的先导台阶部(50)和先导垫(52)，和从该对向表面突出并且位于负压腔的相对于气流的下游侧的尾部台阶部(56)和尾部垫(66)。尾部垫的表面积占滑动器的盘对向表面的面积的1.5％或更多，并且至少尾部垫的表面被微观结构化。面对滑动器的记录介质的表面粗糙度用Ra表示是0.8nm或更小，并且头悬架将1gf或更大的头荷重施加在该头上。
文档编号G11B21/21GK1822106SQ20051013157
公开日2006年8月23日 申请日期2005年10月20日 优先权日2004年10月20日
发明者高桥干, 吉田和弘, 羽生光伸 申请人:株式会社东芝