半导体存储装置的制作方法

文档序号:15619178发布日期:2018-10-09 21:54阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明的实施方式提供一种高品质的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置具备控制电路,所述控制电路是在对存储单元写入数据的情况下,进行对字线施加第1电压的第1编程,进行对字线施加比第1电压低的第2电压的第1编程验证,进行对字线施加比第1电压低且比第2电压高的第3电压的第2验证,在进行第1及第2验证之后,调整对位线施加的电压,进行第1编程、第1及第2验证,当完成第2验证时,进行对字线施加比第1电压高的第4电压的第2编程,当完成第2编程时,进行对字线施加比第4电压高的第5电压的第3编程。

技术研发人员:中川知己;细野浩司
受保护的技术使用者:东芝存储器株式会社
技术研发日:2017.08.16
技术公布日:2018.10.09
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