专利名称：保持架机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种保持架机构，适用于检查例如液晶显示器(LCD)等平板显示器(FPD)上所用的玻璃基片，检测缺陷等的基片检查装置。
背景技术：
在LCD上所用的玻璃基片的缺陷检查中，进行称为宏观观测的检查和称为微观观测的检查。其中宏观观测是在玻璃基片的表面上照射照明光，通过检查人员的目视观测其反射光或穿透光的光学变化，检测出玻璃基片表面上的伤痕等缺陷。
在该宏观观测时，将玻璃基片保持在基片检查装置的保持架上，在该状态摇动上述保持架，通过检查人员的目视观测上述玻璃基片的表面。当还要继续观测上述玻璃基片的背面时，将上述玻璃基片翻过来，与上述一样摇动上述保持架，通过检查人员的目视观测上述玻璃基片的背面。
在上述的宏观观测或用显微镜的微观观测时，可进行对多数尺寸玻璃基片的检查。
图14是表示在现有例的基片检查装置中所用的基片保持架的构成图。基片保持架1由形成四边形框状的保持架框2构成。在该保持架框2内，从背面支持FPD玻璃基片的图中未画出的支持板条或支持销，按规定的间隔均等设置。另外，沿着保持架框2的右侧和下侧的框，分别固定设置基准销3a、3b和3c、3d，并且沿着保持架框2的上侧和左侧的框，分别设置压紧销4a、4b和4c、4d。这些压紧销4a、4b和4c、4d分别在各压紧方向f1、f2上赋能，将玻璃基片8压紧在基准销3c、3d和3a、3b上，对玻璃基片8进行定位。各压紧销4a、4b和4c、4d分别在各可动孔5a、5b和5c、5d内，可以向各压紧方向f1、f2移动。
另外，在保持架框2的上侧和下侧的框上，分别形成基准销单元安装部7a、7b。在这些基准销安装部7a、7b上通过螺钉安装有为设定不同尺寸玻璃基片基准位置的基准销单元(板条)6。基准销单元6对尺寸小的玻璃基片的基准位置进行设定。在基准销单元6上固定设置2个基准销6a、6b。
图15是表示在上述基片保持架上保持大型玻璃基片的状态图。在用上述基片保持架1对大型玻璃基片8进行宏观观测(或微观观测)时，通过检查人员的手动操作，从保持架框2取下基准销单元。在该状态，当在保持架框上设置有大型玻璃基片8时，分别在压紧方向f1、f2上压出压紧销4a、4b和4c、4d，大型的玻璃基片8的二边分别接触在基准销3c、3d和3a、3b上，这样，大型玻璃基片8将被定位。
图16是表示在上述基片保持架上保持小型玻璃基片的状态图。在用上述的基片保持架1对小型玻璃基片9进行宏观观测(或微观观测)时，通过检查人员的手动操作，在保持架框2上安装基准销单元6。在该状态，当在保持架框2上设置小型玻璃基片9时，分别在压紧方向f1、f2上压出压紧销4b和4c、4d，使小型玻璃基片9的二边分别接触到基准销3d和6a、6b上，这样，小型玻璃基片9将被定位。
在上述的基片保持架1上，例如在大型玻璃基片8的宏观观测后进行小型玻璃基片9的宏观观测时，为了变更该小型玻璃基片9的基准位置，必须通过检查人员的手动操作安装基准销单元6。该基准销单元6通过螺钉固定等办法安装，使基准位置不动，但是该安装、拆卸作业非常麻烦，花费时间。因此在尺寸不同的玻璃基片混合存在的批量中，在基准销单元6的装卸作业上花费时间，很难提高检查的效率。另外，随着玻璃基片8的大型化，保持架框2也变得大型化。因此，在安装基准销单元6时，有时检查人员的手够不到基片保持架1的里边，无法进行螺钉固定。另外由于该作业产生的麈埃，将产生基片检查装置净化度降低的问题。
本发明的目的在于提供一种保持架机构，可以简单地进行基准构件对尺寸不同的玻璃基片变更作业。
发明的公开(1)本发明的保持架机构包括保持被保持体的保持架框；设置在上述保持架框上，压紧上述被保持体的固定基准构件；根据上述被保持体的尺寸，相对于上述保持架框可以移动，压紧上述被保持体的可动基准构件；在上述保持架框的横向和纵向上至少各设置一个，使上述被保持体向上述固定基准构件或上述可动基准构件压紧的压紧构件；及驱动上述可动基准构件的驱动部。
(2)本发明的保持架机构是上述(1)中所述的机构，并且上述可动基准构件多组设置在对应于多数上述被保持体尺寸的位置上。
(3)本发明的保持架机构是上述(1)或(2)中所述的机构，并且上述固定基准构件多个设置，使上述被保持体的相邻二边压紧。
(4)本发明的保持架机构是上述(2)中所述的机构，并且上述驱动部根据在上述保持架框上所保持的被保持体尺寸，选择性驱动多组上述可动基准构件。
(5)本发明的保持架机构是上述(1)中所述的机构，并且上述可动基准构件可向对应于上述被保持体尺寸的位置自由转动，当上述保持架框保持规定尺寸的被保持体时，向上述保持架框的内侧方向转动，而当保持上述规定尺寸以外的被保持体时，向上述保持架框的外侧方向转动。
(6)本发明的保持架机构是上述(5)中所述的机构，并且上述保持架框，在上述可动基准构件向上述保持架框体外侧方向转动时，形成使上述可动基准构件躲避的躲避部。
(7)本发明的保持架机构是上述(1)中所述的机构，并且上述可动基准构件设置在可向上述保持架框的横向和纵向至少一方自由移动的移动构件上。
(8)本发明的保持架机构是上述(7)中所述的机构，并且上述移动构件形成可在上述横向和纵向的某一个方向上自由移动的I字形状。
(9)本发明的保持架机构是上述(7)中所述的机构，并且上述移动构件形成可在上述横向和纵向的两个方向上自由移动的L字形状。
(10)本发明的保持架机构包括保持被保持体的保持架框；设置在上述保持架框上，压紧上述被保持体的固定基准构件；根据上述被保持体的尺寸，相对于上述保持架框可以移动，压紧上述被保持体的可动基准构件；及驱动上述可动基准构件的驱动部。
附图的简单说明图1是表示本发明的实施例所涉及的基片检查装置构成的透视图。
图2是表示在本发明的实施例所涉及的基片检查装置中所用基片保持架的构成图。
图3A是表示本发明的实施例所涉及的可动基准销机构具体构成的图。
图3B是本发明的实施例所涉及的L字形臂的平面图和侧断面图。
图4是表示本发明的实施例所涉及的可动基准销机构的驱动系统构成的模式图。
图5A是表示由本发明的实施例所涉及的基片保持架保持大型玻璃基片时的状态图。
图5B是表示由本发明的实施例所涉及的基片保持架保持小型玻璃基片时的状态图。
图6A是表示由本发明的实施例所涉及的基片保持架保持大型玻璃基片时的状态图。
图6B是表示由本发明的实施例所涉及的基片保持架保持小型玻璃基片时的状态图。
图7A、图7B是表示本发明的实施例所涉及的基片保持架的构成图。
图8A、图8B是表示本发明的实施例所涉及的基片保持架的构成图。
图9A是表示本发明的实施例所涉及的可动基准板驱动机构构成的模式图。
图9B是表示本发明的实施例所涉及的可动基准板驱动机构构成的断面图。
图10A、图10B是表示本发明的实施例所涉及的基片保持架的构成图。
图11是表示本发明的实施例所涉及的可动基准板驱动机构构成的模式图。
图12A、图12B是表示本发明的实施例的变形例所涉及的基片保持架的构成图。
图13A、图13B是表示本发明的实施例的变形例所涉及的基片保持架的构成图。
图14是表示在现有例所涉及的基片检查装置所用的基片保持架的构成图。
图15是表示在现有例所涉及的基片保持架上保持大型玻璃基片的状态图。
图16是表示在现有例所涉及的基片保持架上保持大型玻璃基片的状态图。
发明的最佳实施例下面参照
本发明的第1实施例。在各图中与图14相同的部分加有相同标号，基详细说明予以省略。
图1是表示本发明的第1实施例所涉及的基片检查装置构成的透视图。该基片检查装置检查液晶显示器及等离子显示器等平板显示器(FPD)的玻璃基片。在图1中，在装置主体201上设置有保持检查对象的玻璃基片8的保持架框2。
保持架框2构成四角形的框，由其周边部吸附保持大型玻璃基片8。在保持架框2上，由其周边部所包围的空部形成四角形状，上述空部的面积比大型玻璃基片8的面积略小。另外，沿着保持架框2的周边部设置图中未画出的多数吸附凸缘，通过图中未画出的真空泵，玻璃基片8的周边部吸附在保持架框2表面上，这样玻璃基片8保持在保持架框2上不会脱落。关于保持架框2的详细构成将在后面叙述。
如图1所示，在装置主体201上沿着保持架框2的两侧边缘，向Y轴方向平行配置一对导轨202、202。另外，在保持架框2的上方跨越该保持架框2配置门柱型的观测单元支持部203。该观测单元支持部203沿着导轨202、202，使玻璃基片8的上方、即保持水平状态的保持架框2的上方，可以向Y轴方向移动。
在观测单元支持部203上支持观测单元204，该观测单元204可向与观测单元支持部203移动方向(Y轴方向)相直交的方向(X轴方向)，沿着图中未画出的导轨移动。还在观测单元支持部203上，设置穿透线照明光源205，与观测单元204的移动线相对。该穿透线照明光源205在穿过保持架框2下方的支持部203的背板206上，沿着X轴方向配置。穿透线照明光源205从玻璃基片8的下方进行线状穿透照明，可以与观测单元支持部203一起向Y轴方向移动。
观测单元204具有设置指标用照明光源207的微观观测单元208和宏观观测用的部分宏观照明光源209。指标用照明光源207用于特定玻璃基片8上的缺陷位置，将光学上集光的点光投射在玻璃基片8表面上。
微观观测单元208具有包括物镜211、目镜212、及图中未画出的反射照明光源的显微镜功能，检查人员可以通过物镜211由目镜212观测玻璃基片8表面的像。另外在微观观测单元208中，通过三眼镜筒安装有TV摄像机213。TV摄像机213对通过物镜211所得到的玻璃基片8表面的观测像进行摄像，传输给控制部221。控制部221将由TV摄像机213摄像的观测像显示在TV监视器222上。在控制部221上连接检查人员进行操作指示及数据输入的输入部223。
部分宏观照明光源209用于宏观观测，用宏观照明光照射水平状态保持的保持架框2上的玻璃基片8表面的一部分。当利用图中未画出的全面宏观照明光源，进行玻璃基片8表面全体的宏观观测时，使保持玻璃基片8的保持架框2摇动，对于该机构图中予以了省略。
图2是表示在上述基片检查装置中所用的基片保持架的构成图。基片保持架1由形成四角形框状的保持架框2构成。在该保持架框2上设置有一对可动基准销机构10、11。该一对可动基准销机构10、11对对应于图14中所示的小型玻璃基片(被保持体)9的基准位置进行设定。这些可动基准销机构10、11在检查人员对保持架框2的里侧和前侧的框上，分别相对配置。可动基准销机构10、11具有根据基片尺寸的转换指示，分别使可动基准销101、111可动控制到躲避位置或基准位置的功能。即，由于可动基准销101、111可移动到上述基准位置上，从而可自动设定对小型玻璃基片9的基准位置。另外，在检查人员对保持架框2的里侧和前侧的框上相当于上述躲避位置的地方，分别形成U字形的躲避用孔14、15。
图3A是表示可动基准销机构11(10)具体构成的图，图3B是L字形臂的平面图和侧断面图。在图3A中表示了在保持架框2的前侧(检查人员一侧)的框内所配置的可动基准销机构11。
可动基准销机构11(10)具有L字形臂102。如图3B所示，在L字形臂102的自由端部上面，设置可自由旋转的在滚珠轴承的周面上复盖耐磨损性树脂(例如聚酰亚胺、予涂乙醚酮等)的可动基准销111(101)。在L字形臂102的基端部下面设置可自由旋转的可动销103(滚珠轴承)。另外，在保持架框2内设置有气缸104。
气缸104具有二根可以直动的气缸杆105、105。在气缸杆105、105的尖端部安装有直动·转动变换构件106。在直动·转动变换构件106上有长孔107，在该长孔107中插入可动销103。在L字型臂102的弯曲部上通过轴承设置旋转轴108。L字型臂102的配置以旋转轴108为中心可在箭头a方向自由转动。
另一方面，在保持架框2的空部2′一侧的边缘上，在L字型臂102转动时的可动基准销111(101)的轨迹上，形成U字形的躲避用孔(也称为切槽)15(14)。另外，在保持架框2内配置有为使L字型臂102停止的由螺钉构成的档16。检查人员通过旋转螺钉16使其尖端部进出，可以对L字型臂102的停止位置进行微调。这样就可以调整可动基准销111(101)设置的位置对基准位置的误差。
在以上构成的可动基准机构11(10)中，可动基准销111(101)在保持规定尺寸的玻璃基片、例如小型玻璃基片9时，向保持架框2的内侧(空部侧)方向转动，设置在对应于小型玻璃基片9的基准位置上。另外，可动基准销111(101)在保持上述规定尺寸以外尺寸的玻璃基片，例如大型玻璃基片8时，向保持架框2的外侧(前侧(里侧))方向转动，可躲避在躲避用孔15(14)内。可动基准销机构10由于与可动基准销11虽然设置位置不同但却是相同构成，所以其构成的说明予以省略。
这些可动基准销101、111通过从下述的操作部发出的玻璃基片尺寸转换指示，可自动设置在小型玻璃基片9的各基准位置上，或者躲避在各躲避用孔14、15内。
各压紧销4a~4d也与可动基准销101、111一样，通过采用气缸的机构进行驱动。
图4是表示，可动基准销机构10、11驱动系统构成的模式图。在可动基准销机构10、11的各气缸104、104上连接配管310、320。在各配管310、320上，分别设置阀门301、303和放气阀302、304。在各配管310、320上流入压缩空气。驱动部31对各阀门301、303和放气阀302、304进行开闭驱动。在驱动部31上连接操作部32。各气缸104、104由压缩空气通过各L字形臂102，使各可动基准销101、111在各旋转轴108周围可移动。检查人员对驱动部31，从操作部19输入玻璃基片的尺寸信息。
在上述驱动系统中，通过各气缸104、104驱动各可动基准销机构10、11。但是并不限于此，也可以在一个气缸和各可动基准销机构10、11之间设置连结机构，转动各L字形臂102。在可动基准销机构10、11上除了气缸之外也可以使用步进马达等各种传动装置。
通过上述驱动系统的控制，各可动基准销101、111可自动设置在对小型玻璃基片9的各基准位置上，或者躲避到各躲避用孔14、15内。但是并不限于此，也可以通过检查人员的手操作将各可动基准销101、111设置在对应于小型玻璃基片9的基准位置，或者躲避在各躲避用孔14、15内。
下面对上述构成的基片保持架上的基片保持作用进行说明。
首先，在对大型玻璃基片8进行宏观(或微观)观测时，可检测可动基准销101、111设置在对应于小型玻璃基片9的基准位置。这时，当通过检查人员从操作部32输入大型玻璃基片8的尺寸信息时，表示大型玻璃基片8尺寸的驱动控制信号传输给驱动部31。
驱动部31驱动各气缸104、104，使各可动基准销101、111分别躲避在躲避用孔14、15内，这时驱动部31打开阀门301、301，关团放气阀302、302，同时关团阀门303、303，打开放气阀304、304。这样，通过从各配管310向各气缸104、104流入压缩空气，与各气缸杆105、105一起压出各直动·旋动变换构件106。这样，长孔107内的可动销103沿着长孔107的侧壁向保持架框2的内侧(空部一侧)方向移动。同时由于各L字形臂102在各旋转轴108周围转动，所以各可动基准销101、111向保持架框2的外侧(前侧(里侧))方向转动。不久，各可动基准销101、111分别插入到躲避用孔14、15内，各可动销103在接触到各长孔107的前壁而停止。这样，各可动基准销101、111就从保持架框2的空部2’躲避到各躲避用孔14、15中了。
图5A是表示由上述基片保持架保持大型玻璃基片8时的状态图。在各可动基准销101、111分别躲避在躲避用孔14、15内的状态，大型玻璃基片8通过检查人员如图5A所示，设置在保持架框2上，其二边分别接触到基准销3c、3d和3a、3d上。这样，分别在压紧方向f1、f2上压出压紧销4a、4b和4c、4d，大型玻璃基片8的二边分别接触到基准销3c、3d和3a、3d上。从而大型玻璃基片8压紧在各基准销3a~3d上，进行定位。
然后，当对小型玻璃基片9进行宏观观测时，通过检查人员从操作部32输入小型玻璃基片9的尺寸信息时，表示小型玻璃片9尺寸的驱动控制信号传输给驱动部31。
驱动部31驱动各气缸104、104，使各可动基准销101、111分别从躲避用孔14、15内出来，设置在对应于保持架框2内侧(空部一侧)的小型玻璃基片9的基准位置上。这时，驱动部31关闭阀门301、301，打开放气阀302、302，同时打开阀门303、303，关闭放气阀304、304。这样，通过从各配管320向各气缸104、104流入的压缩空气，与各气缸杆105、105一起拉回各自动·转动变换构件106。这样，长孔107内的可动销103沿着长孔107的侧壁，向保持架框2的外侧(眼前侧(里侧))方向移动。与此同时，由于各L字形臂102在旋转轴108周围转动，所以各可动基准销101、111向保持架框2的内侧(空部一侧)方向转动。不久，各可动基准销101、111分别从躲避用孔14、15内出来，各L字形臂102接触到档16上而停止。这样，各可动基准销101、111分别从躲避用孔14、15中出来，设置在对应于小型玻璃基片9的基准位置上。
图5B表示由上述基片保持架保持小型玻璃基片时的状态图。在各可动基准销101、111分别设定在对应于保持架框2内侧(空部一侧)的小型玻璃基片9基准位置的状态，小型玻璃基片9如图5B所示设置在保持架框2上，其二边分别接触到基准销3d和各可动基准销101、111上。这样，压紧销4b和4c、4d分别在压紧方向f1、f2压出，小型玻璃基片9的二边分别接触到基准销3d和可动基准销101、111上。这样，小型玻璃基片9压紧在基准销3d和各可动基准销101、111上，进行定位。
如图6A、图6B所示，也可以设置兼作可动基准销和压紧销的销101’、111’。这些销101’、111’作为压紧小型玻璃基片的可动基准销或压紧小型玻璃基片的压紧销，根据基片尺寸进行选择性动作。销101’、111’在进行大型玻璃基片8的观测时，如图6所示，分别躲避到躲避用孔14、15中。另外，当销101’、111’在进行小型玻璃基片9的观测时，可以如图6B所示，分别从躲避用孔14、15中出来，使小型玻璃基片9向各基准销3a、3b压紧。
如上所述，在本第1实施例中，设置的机构，在保持小型玻璃基片9时，使可动基准销101、111向保持架框2的内侧转动，设置在对应于小型玻璃基片9的基准位置上；而在保持大型玻璃基片8时，使可动基准销101、111向保持架框2的外侧转动，躲避到躲避用孔14内。这样，即使观测对象变更为大型玻璃基片8或小型玻璃基片9，也可以转动各可动基准销101、111，自动设定对该尺寸的玻璃基片的基准销，定位配置在对应于大型玻璃基片8或小型玻璃基片9的基准位置上。而且，通过基准销的自动设定，也可以缩短观测所花的时间，由于不需要检查人员的手操作，所以不会产生麈埃。
各可动基准销101、111也可以通过检查人员的手操作进行设定，由于只是转动各可动基准销101、111，所以不花时间，用简单的操作就能设定。
另外，在本第1实施例中，接收玻璃基片尺寸的操作输入，自动设定了对应于大型玻璃基片8或小型玻璃基片9的基准销。这样，即使观测对象变更为大型玻璃基片8或小型玻璃基片9，也可以正确设定对应于这些玻璃基片8、9位置的基准销。
另外，当用穿透光观测大型玻璃基片8时，使可动基准销101、111分别向保持架框2的外侧转动，躲避在躲避用孔14、15内。这样，可动基准销101、111不会妨碍大型玻璃基片8的穿透光观测。
下面参照
本发明的第2实施例。在各图中与图2相同的部分加有相同标号，其详细说明予以省略。
图7A、图7B表示本发明的第2实施例所涉及的基片保持架的构成图。在保持架框2上设置多数对(二对)的可动基准销机构10、11，设置多数对(二组)的可动基准销121、122和123、124。这些可动基准销121、122和123、124分别设定第1小型玻璃基片20和第2小型玻璃基片21的各基准位置。
一对可动基准销121、122设定第1小型玻璃基片20的基准位置。另一对可动基准销123、124设定比第1小型玻璃基片20尺寸大的尺寸的第2小型玻璃基片21的基准位置。这些可动基准销121~124及其驱动机构，与上述第1实施例所示的可动基准销101、111的情况有相同构成，基详细说明予以省略。
这些可动基准销121、122和123、124当分别保持规定尺寸的小型玻璃基片20、21时，向保持架框2的内侧方向转动，设置在基准位置上。并且，可动基准销121~124当保持规定尺寸以外尺寸的玻璃基片，即大型玻璃基片8时，向保持架框2的外侧转动，躲避在各躲避用孔131、132、133、134内。
另外，这些可动基准销121~124，如上述第1实施例所示，通过由气缸等构成的驱动机构驱动。即，驱动部31接受通过检查人员从操作部32输入的玻璃基片尺寸的信息，驱动气缸104，通过L字形臂102自动转动可动基准销121~124。
下面对如上述构成的保持架机构上的基片保持作用进行说明。
首先，在对大型玻璃基片8进行观测时，通过检查人员从操作部32输入大型玻璃基片8的尺寸信息。而且，与上述第1实施例一样，各可动基准销121、122和123、124通过各气缸104使各L字形臂102在各旋转轴108周围转动，分别躲避在躲避用孔131、132、133、134内。
在该状态，大型玻璃基片8与图5A、图6A中所示的相同，设定在保持架框2上，其二边分别接触在各基准销3c、3d和3a、3d上，并且通过由各压紧销4a、4b和4c、4d产生向各压紧方向f1、f2的压紧力，压在各基准销3c、3d和3a、3b上。
然后，当对第1小型玻璃基片20进行观测时，通过检查人员从操作部32输入第1小型玻璃基片20的尺寸信息时，表示第1小型玻璃基片20尺寸的驱动控制信号传输给驱动部31。
驱动部31如图7A所示，驱动各气缸104、104，使各可动基准销121、122分别从躲避用孔131、132内出来，设置在对应于保持架框2内侧的第1小型玻璃基片20的基准位置上。这样，通过各气缸104使各L字形臂102在各旋转轴108周围转动，使各可动基准销121、122分别从躲避用孔131、132中出来，设置在对应于第1小型玻璃基片20的基准位置上。这时，其他各可动基准销123、124躲避在各躲避用孔133、134内。
在该状态，第1小型玻璃基片20如图7A所示设置在保持架框2上，其二边分别接触在基准销3d和各可动基准销121、122上，同时通过由各压紧销4b和4c、4d在各压紧方向f1、f2产生的压紧力，压紧在基准销3d和各可动基准销121、122上。
然后，在对第2小型玻璃基片21进行观测时，当通过检查人员从操作部32输入第2小型玻璃基片21的尺寸信息时，表示第2小型玻璃基片21尺寸的驱动控制信号传输给驱动部31。
驱动部31如图7B所示，驱动各气缸104、104，使各可动基准销123、124分别从躲避用孔133、134内出来，设置在对应于保持架框2内侧的第2小型玻璃基片21的基准位置上。这样，通过各气缸104使各L字形臂102在各旋转轴108周围转动，各可动基准销123、124从各躲避用孔133、134中出来，设置在对应于第2小型玻璃基片21的基准位置上。这时，其他的各可动基准销121、122躲避到各躲避用孔131、132内。
在该状态，第2小型玻璃基片21如图7B所示设置在保持架框2上，其二边分别接触到基准销3d和各可动基准销123、124上，同时通过由各压紧销4b和4c、4d在各压紧方向f1、f2产生的压紧力，压紧在基准销3d和各可动基准销123、124上。
在以上所述的本第2实施例中，除了大型玻璃基片8之外，为了设定多数尺寸的玻璃基片，例如第1小型玻璃基片20及第2小型玻璃基片21的基准位置而设置了各可动基准销121~124。这样，可以正确且自动地设定对应于多数尺寸玻璃基片的基准销。而且，通过基准销的自动设定，还可以缩短观测所花的时间，由于不需要检查人员进行手操作，所以不会产生麈埃。
下面参照
本发明的第3实施例。
图8A、图8B表示本发明的第3实施例所涉及的基片保持架的构成图。在保持架框2上设置有I字形状的可动基准板30，可在横向(X方向)自由移动。在该可动基准板30上以规定间隔设置了例如2个可动基准销30a、30b。该可动基准板30通过向横向移动，如图8B所示，设定特定尺寸玻璃基片33的基准位置。如图8A中所示，当使可动基准板30移动到附图上最右侧时，各可动基准销30a、30b设置在大型玻璃基片8的基准位置上。
图9A是表示可动基准板30驱动机构构成的模式图，图9B是其侧断面图。可动基准板30的一端部扭合在进给丝杆34上，两端附近的脚部301、301分别通过轴承等骑在导轨35、35上。这些进给丝杆34和导轨35装放在保持架框2内。进给丝杆34连接在马达(步进马达)37的旋转轴上。马达37通过马达控制部36进行驱动。在马达控制部36上连接操作部38。
在操作部38上通过检查人员操作，输入玻璃基片的尺寸。马达控制部36根据从操作部38所操作输入的玻璃基片尺寸，控制马达37的驱动时间，使可动基准板30移动，将各可动基准销30a、30b设定在该玻璃基片的基准位置上。
除了用电动移动可动基准板30以外，也可以在所铺设的2根导轨上骑上可动基准板脚部301、301，通过检查人员的手操作，移动可动基准板30，将各可动基准销30a、30b设定在该玻璃基片的基准位置上。
下面，对如上所述构成的基片保持架的基片保持作用进行说明。
当通过检查人员从操作部38输入特定尺寸的玻璃基片33的尺寸信息时，表示特定尺寸的玻璃基片33尺寸的驱动控制信号，传输给马达控制部36。马达控制部36根据所输入的玻璃基片33的尺寸，控制马达37，使进给丝杆34旋转，从而使可动基准板30移动，使各可动基准销30a、30b设置在该玻璃基片的基准位置上。
在该状态，特定尺寸的玻璃基片33如图8B所示，通过检查人员设置在保持架框2上，其二边分别接触到基准销3c、3d和可动基准板30的各可动基准销30a、30b上，同时根据各压紧销4a、4b和4c、4d在各压紧方向f1、f2产生的压紧力，压紧在基准销3c、3d和各可动基准销30a、30b上。
如上所述，在本第3实施例中，在保持架框2上设置了例如有2个可动基准销30a、30b的可动基准板30，可在横向(X方向)上自由移动。这样，不只是大型玻璃基片8、小型玻璃基片9，也可以自动设定特定尺寸玻璃基片33的基准位置。而且，通过基准销的自动设定，还可以缩短观测所花的时间，由于不需要检查人员进行手操作，所以不会产生麈埃。
即使在通过检查人员的手操作设定各可动基准销30a、30b时，也由于只移动可动基准板30，所以不花时间，可以用简单的作业进行设定。
下面参照附图对本发明的第4实施例进行说明。在各图中与图2相同的部分加有相同标号，其详细说明予以省略。
图10A、图10B表示本发明的第4实施例所涉及的基片保持架的构成图。在保持架框2上设置有L字形状的可动基准板40，在纵横方向(XY方向)上可自由移动。在该可动基准板40上，例如在纵横方向上以规定间隔分别设置了可动基准销41、42和43、44。该可动基准板40通过向纵横方向移动，如图10B中所示设定特定尺寸玻璃基片45的基准位置。如图10A所示，当将可动基准板40移动到附图上最右下侧时，各可动基准销41~44可设定在大型玻璃基片8的基准位置上。
图11是表示可动基准板40驱动机构构成的模式图。可动基准板40对保持架框2通过多个例如2个连接环构件46、47进行连结。这些连接环构件46、47对保持架框2和可动基准板40，分别通过各旋转轴46b、46a和47b、47a设置成可自由转动。另外，各旋转轴46a、46b、47a、47b中的某一个上连结图中未画出的马达旋转轴。通过驱动该马达，可动基准板40对保持架框2在纵横方向(XY方向)上移动。这样，可以自动设定特定尺寸玻璃基片45的基准位置。
下面对上述构成的基片保持架的基片保持作用进行说明。
当用上述基片保持架保持特定尺寸的玻璃基片45时，通过图中未画出的马达，各连接环构件46、47向同一方向转动，可动基准板40可向纵横方向(XY方向)移动。这样，可将可动基准销41~44设置在该玻璃基片45的基准位置上。
在该状态，特定尺寸的玻璃基片45如图10B中所示，可通过检查人员设置在保持架框2上，其二边分别接触到可动基准销43、44和41、42上，同时通过各压紧销4a、4b和4c、4d在各压紧方向f1、f2上产生的压紧力，压紧在可动基准销43、44和41、42上。
如上所述，在上述第4实施例中，在保持架框2上，设置有4个可动基准销41~44的可动基准板40，可在纵横方向(XY方向)上自由移动。这样，不只是大型玻璃基片8，还可以自动设定特定尺寸玻璃基片45的基准位置。而且，通过基准销的自动设定，还可以缩短宏观观测所花的时间，由于不需要检查人员进行手操作，所以不会产生麈埃。
即使通过检查人员的手操作设定各可动基准销41~44时，由于只移动可动基准板40，所以可以不花时间，用简单的操作进行设定。
图12A、图12B是表示上述第4实施例的变形例所涉及的基片保持架的构成图。在上述第4实施例中，设置了可在纵横方向(XY方向)上自由移动的L字形状的可动基准板40，但是如图12A、图12B中所示，也可以设置在XY方向上分别独立移动的可动基准板48、49。在可动基准板48、49上，分别设置了基准销主体50、51和52、53。可动基准板48、49通过个别设置的各种传动装置及马达(步进马达)进行驱动。可动基准板48、49的配置，在向XX方向移动时相互间不干扰。这样，不增加保持架框2的厚度即可。
下面对上述第1~第4实施例的变形例进行说明。
在上述第1实施例中，是使可动基准销转动设置在基准位置上，使玻璃基片压紧在该可动基准销上的构成，但是并不限于此。如果确保尺寸不同的玻璃基片，例如尺寸小的小型玻璃基片的基准位置，则可以将相当于可动基准销的构件以直线移动设置在保持架框的内侧(空部一侧)。而且，当观测小型玻璃基片以外的玻璃基片，例如大型玻璃基片时，相当于上述可动基准销的构件以直线移动躲避在保持架框的躲避用孔内。
图13A、图13B是表示图6A、图6B中所示的构成的变形例图。在图6A、图6B中，在将可动基准销也作为压紧销作用时，是使该销转动。在图13A、图13B的构成中，在对保持架框2倾斜的方向上设置躲避用孔60、61，使相当于压紧销的构件62、63，以对玻璃基片有角度的状态直线移动。
当进行大型玻璃基片8的宏观观测时，如图13A所示，构件62、63分别可躲避在躲避用孔60、61中。另外，在进行小型玻璃基片9的观测时，如图13B所示，构件62、63分别从躲避用孔14、15中出来，从倾斜方向压紧小型玻璃基片9。构件62、63通过个别设定的各种传动机构及马达(步进马达)进行驱动。
另外，在上述第3实施例中是检查人员在操作部上操作输入玻璃基片的尺寸，根据所输入的玻璃基片的尺寸，控制将可动基准板的可动基准销设定在该玻璃基片的基准位置上。但是，并不只限于这样的实施例，也可以在例如保持架框2的多个地方配置检测玻璃基片尺寸的传感器。这时，当在保持架框2上放置玻璃基片时，根据检测的玻璃基片的尺寸，控制移动可动基准板，使可动基准销设置在该玻璃基片的基准位置上。
另外，在上述第3实施例中是根据从操作部操作输入的玻璃基片的尺寸，以马达的驱动时间控制可动基准板的移动，使可动基准板的可动基准销可设置在该玻璃基片的基准位置上，但是并不只限这样的实施例。
在图6A、图6B和图13A、图13B的构成中，是使可动基准销作为压紧销作用的。除这些之外，也可以使例如具有可动基准销的可动基准板，根据观测对象的玻璃基片尺寸向纵横方向(XY方向)移动，由该可动基准销将该玻璃基片压紧在保持架框的各基准销中。
本发明并不只限于上述各实施例，在不变更要旨的范围内可以适时变形实施。
产业上利用可能性根据本发明可以提供对尺寸不同的玻璃基片可简单进行基准构件变更作业的保持架机构。
按照条约第19条的修改1(修改)、一种保持架机构，其特征在于包括保持矩形的被保持体的保持架框；多个固定基准销，其沿该保持架框邻近的两边设置，并设定上述被保持体的基准位置；多个压紧销，其沿着与这些固定基准销被配置的两边相向的两边配置，并使上述被保持体向上述固定基准销压紧；可动基准销，其设于上述保持架框内，且在对应上述被保持体的尺寸的基准位置和上述保持架框内的退避位置之间是可以移动的；及驱动上述可动基准销的可动基准销机构。
2(修改)、如权利要求1所述的保持架机构，其特征在于上述可动基准销机构具有以曲折点做为旋转轴的L字形状的转动臂；可转动自如地设于该转动臂自由端部的可动基准销；及连接于该转动臂的基端部的驱动器；通过上述转动臂将该。驱触动器的直线运动变换为转动，使上述可动基准销在上述退让位置和上述基准位置之间可动。
3(修改)、如权利要求2所述的保持架机构，其特征在于上述L字形状的转动臂，通过具有微调功能的制动器可调整上述基准位置。
4(修改)、如权利要求1所述的保持机构，其特征在于上述可动基准销是使用在周面上覆盖耐磨损树脂的轴承。
5(修改)、如权利要求1所述的保持架机构，其特征在于上述可动基准销，在对应于多个被保持体尺寸的基准位置设置多组；上述可动其准销机构，根据被保持体的尺寸信息有选择地驱动上述多组的基准销。
6(修改)、一种保持架机构，其特征在于，具有
保持矩形的被保持体的保持架框多个固定基准销，沿与该保持架框邻接的两边设置，并用于设定所述被保持体的基准位置；多个压紧销，其沿着与设置这些固定销的两边相向的两边被设置，并且将上述被保持体压紧于上述固定基准销；可动压紧销，其被设置在上述保持架框内，在与上述被保持体的尺寸相应的压紧位置和上述保持架框内的退让位置之间是可动的；可动压紧销机构，其用于驱动可动压紧销，该可动压紧销是将上述被保持体压紧于上述固定基准销。
7(修改)、如权利要求6所述的保持架机构，其特征在于上述可动压紧销机构具有将曲折点做为旋转轴L字形状的转动臂；转动自如地被设在该转动臂的自由端的可动压紧销；及与上述转动臂的基端部相连接的驱动器，通过上述转动臂将该驱动器的直线运动变换为转动，并使上述可动压紧销在上述退让位置和上述压紧位置之间可动。
8(修改)、如权利要求6所述的保持架机构，其特征在于所述可动压紧销是使用周面上涂覆耐磨损性树脂的轴承。
9(删除)。
10(删除)。
权利要求
1.一种保持架机构，其特征在于包括保持被保持体的保持架框；设置在上述保持架框上，压紧上述被保持体的固定基准构件；可动基准构件，其根据上述被保持体的尺寸，相对于上述保持架框可以移动，并压紧上述被保持体；压紧构件，其在上述保持架框的横向和纵向上至少各设置一个，使上述被保持体向上述固定基准构件或上述可动基准构件压紧；及驱动上述可动基准构件的驱动部。
2.如权利要求1所述的保持架机构，其特征在于上述可动基准构件被多组设置在与多数上述被保持体尺寸相对应的位置上。
3.如权利要求1或2所述的保持架机构，其特征在于上述固定基准构件被设置多个，以使上述被保持体的相邻二边压紧。
4.如权利要求2所述的保持机构，其特征在于上述驱动部根据在上述保持架框上所保持的被保持体尺寸，选择性驱动多组上述可动基准构件。
5.如权利要求1所述的保持架机构，其特征在于上述可动基准构件是可向对应于上述被保持体尺寸的位置自由转动，当上述保持架框保持规定尺寸的被保持体时，向上述保持架框的内侧方向转动，而当保持上述规定尺寸以外的被保持体时，向上述保持架框的外侧方向转动。
6.如权利要求5所述的保持架机构，其特征在于上述保持架框，在上述可动基准构件向上述保持架框体外侧方向转动时，形成使上述可动基准构件躲避的躲避部。
7.如权利要求1所述的保持架机构，其特征在于上述可动基准构件设置在可向上述保持架框的横向和纵向至少一方自由移动的移动构件上。
8.如权利要求7所述的保持架机构，其特征在于上述移动构件形成可在上述横向和纵向的某一个方向上自由移动的I字形状。
9.如权利要求7所述的保持架机构，其特征在于上述移动构件形成可在上述横向和纵向的两个方向上自由移动的L字形状。
10.一种保持架机构，其特征在于包括保持被保持体的保持架框；固定基准构件，其设置在上述保持架框上，且压紧上述被保持体；可动构件，其根据上述被保持体的尺寸，相对于上述保持架框可以移动，并压紧上述被保持体；及驱动上述可动基准构件的驱动部。
全文摘要
本发明的保持架机构包括:保持被保持体的保持架框;设置在上述保持架框上,压紧上述被保持体的固定基准构件;根据上述被保持体的尺寸,相对于上述保持架框可以移动,压紧上述被保持体的可动基准构件;在上述保持架框的横向和纵向上至少各设置一个,使上述被保持体向上述固定基准构件或上述可动基准构件压紧的压紧构件;及驱动上述可动基准构件的驱动部。
文档编号H01L21/687GK1366606SQ01801098
公开日2002年8月28日 申请日期2001年4月25日 优先权日2000年4月26日
发明者丸山规夫 申请人:奥林巴斯光学工业株式会社