专利名称：具有沟槽晶体管的半导体器件以及制造这种器件的方法
技术领域：
本发明涉及一种具有MOS (金属氧化物半导体)晶体管的半 导体器件以及制造这种器件的方法。
背景技术：
众所周知，通过设置填装(packed)在一起的密集沟槽来减小 MOS半导体器件的比电阻，从而使雪崩击穿区位于沟槽的底部区 域中。
发明内容
根据本发明的一个实施例，本发明提供了 一种制造半导体器件 的方法，该方法包括在半导体材料的第一侧中形成沟槽；在该沟 槽上和第一侧上形成厚氧化物层；使用第一掩模对第一侧的一部分 和沟槽进行掩蔽；当第一掩模存在时，通过穿过厚氧化物层的注入 而掺杂半导体材料；以及当第一掩模保留时，去除厚氧化物层的至 少一部分。
有利地，可以避免根据注入的主体构成和需要对准的厚层构 成、以及对于主体的单独屏蔽。
根据另 一 实施例，本发明提供了 一种制造半导体器件的方法，
该方法包括在半导体材料的第一侧中形成沟槽，该沟槽具有底部； 在半导体材料的第一侧上和沟槽上形成厚氧化物层；在沟槽中的厚
氧化物层上增加导电材料；以及通过穿过厚氧化物层的注入而掺杂 半导体材料，沟槽被厚氧化物材料和导电材料覆盖，使得注入避开 了沟槽底部。
根据再一 实施例，本发明提供了 一种制造半导体器件的方法，
该方法包括在半导体材料的第一侧中形成沟槽，该沟槽具有底部； 在半导体材料的第一侧上和沟槽上形成厚氧化物层；去除厚氧化物
层的至少一部分；在该去除步骤之前或之后，通过注入而4参杂半导 体材料以形成主体区；以及在掺杂之后对半导体材料进行热处理， 以 <更既在主体上形成薄氧^f匕物层又〗吏该主体区延伸。
根据本发明的器件实施例，本发明提供了一种半导体器件，该 半导体器件包括具有第一侧和第二侧的基极半导体材料，该半导
体材料包括多个沟槽，每个沟槽相对于第一侧和第二侧垂直地延伸 并且在第 一侧具有沟槽顶部且具有沟槽底部，所述多个沟槽中的每 一个均具有沿端部方向的端部，每个端部在沟槽顶部具有厚氧化物 层，并且每个沟槽在远离于第 一位置开始的端部的沟槽顶部具有薄 氧化物层；以及位于沟槽之间的基极半导体材料中的多个主体区， 每个主体区包4舌沿端部方向的主体区端部，每个主体区端部与第一 位置隔开预定距离。
将参照多个实施例对本发明进行进一步的描述，其中
图1示意性地示出了根据本发明实施例的半导体器件的边缘区 域的^f黄截面图，该半导体器件具有带沟槽的垂直MOS功率晶体管；
图2示出了用于图1中半导体器件的具有沟槽的起始 (beginning )半导体基极才才料；
图3示出了位于图2中所示的基极材料之上的厚氧化物层；
图4示出了沉积在沟槽中的位于厚氧化物层之上的多晶硅；
图5示出了保护边缘材料以及穿过厚氧化物层注入到半导体基 才及材津牛中以形成主体区的硼注入区；
图6示意性;也示出了4立于顶部边纟彖的既用于图5中注入120又 用于图7中FOX蚀刻的掩模的布局视图7示出了通过蚀刻对厚氧化物层的部分去除；
图8示出了保护层的去除、主体区的扩散、薄氧化物层的生长、 以及沟槽中更多晶体硅的增加；
图9示意性地示出了经由图1中的才黄截面在图1中顶部边纟彖的 布局^L图10示出了更多氧^f匕物的增加以覆盖沟槽；
图11示出了更多氧化物的蚀刻以为主体区提供通道；以及
图12示出了在图1中所示的金属层的最终沉积之前形成有更 多结构的主体区。
具体实施例方式
图1示出了具有垂直MOS功率晶体管的半导体器件10,该半 导体器件10具有由半导体材冲+制成的基才及区12，例如n-型硅衬底。
器件10具有边缘14，该边缘具有沿半导体器件的X方向延伸的边 缘沟槽16和多个其它的沟槽18。可以沿X方向设置多个这样的沟槽。
器件10还具有顶部4妄触层22和作为MOS集体管漏极的底部 接触层24。晶体管的栅电极26、 28由高度掺杂的多晶硅材料制成。 这些才册电才及26、 28分另'J才目只寸于场电才及46、 48 4皮薄fU匕物层36、 38 隔开。进而场电极46、 48分别与各自的沟槽底部被厚氧化物层56、 58隔开。场电4及46、 48减少了4册电才及26、 28与漏4及层24的电容 耦合。直接位于漏极层24上的基极区12可以包括掺杂的n+层。由 于栅电极26最靠近边缘14,因此它可以被称为边缘栅电极。
，惨杂硼的p区30、 32在沟槽16、 18等之间的半导体基才及区12 上形成主体4妻触区，并4是供主体区。主体4妄触区30、 32可以包括 更高度掺杂硼的p+区40、 42，并且通过接触槽50、 52电连接至由 诸如多晶石圭或金属这样的导电材^+制成的顶部金属4妄触区22。 N+ 源极端60、 62、 64位于4妄触槽50、 52的旁边并位于p区30、 32 之上。源极端62、 64由介电区70隔开，并且源极端60由介电区 72与边缘区隔开。
图2示出了具有顶侧126和底侧324的起始半导体基才及材料 12，该半导体基极材料12例如是n-型硅材料，具有切入到基极材 泮+ 12的顶侧126中的沟槽16、 18 。通常通过例如蚀刻沿X方向 形成多个沟槽。在第一沟槽16与边缘14之间，半导体材料的距离 D优选地大于沟槽16、 18之间的距离T。
图3示出了沉积在图2中所示的基极材料之上的厚氧化物 (FOX)层100,例如利用在IOOO摄氏度或更高温度下进行所需时 间的热氧化，以形成一定厚度(例如300 nm)的厚氧化物层。 然后，如图4中所示，可以在沟槽16、 18中沉积高度n-掺杂 的多晶硅区146、 148并反向(back)蚀刻。紧接着该步骤的是将保 护层或者掩模设置在边缘区和第一沟槽16之上，如图5中所示。 然后，可以例如在200 kEV或者更高的电压下进行硼主体的注入 120，以开始形成p主体区122、 124。该主体注入是高能量的，以 《更可以穿透FOX层100。由于与区148上总的(resultant) p硼掺 杂剂浓度相比，多晶硅的n掺杂剂浓度是如此的高，例如高出1000 倍，因此在多晶硅区148上进行的任何硼p的掺杂都具有可忽略的 效应。
如图6中所示，掩模110也可以沿Y方向在沟槽18的端部覆 盖边缘区域，从而不会在沟槽的端部发生注入。如所示，掩模110 也可以覆盖边^彖沟槽16的一部分，包括多晶石圭区146。
有利地，沟槽侧壁一皮FOX层100覆盖，并且实际上，没有主 体注入的4黄向散布(straggling)到达沟槽侧壁。后面的沟道区不受 影响(见图1)。而且，特别是在例如高于30伏特的较高电压等级 下，FOX层的厚度足以相对于任何散布显示出屏蔽效应。此外，由 于沟槽底部既被厚氧化物100又被多晶硅材料146、 148覆盖，因 此注入无法到达或者影响沟#曹底部。
如图7中所示，接着，在未设置保护层110的位置，对FOX 层100进4亍蚀刻，并且因而多晶石圭区146、 148的端部沿Z方向祐L 部分地露出。由于不需要为注入和FOX工艺l是供单独的掩才莫，因 此，图5中，具有与FOX层蚀刻同样的保护层110的硼注入的4吏 用是非常有利的。
如从图6可见，由于存在掩模110，沿Y方向于沟槽端部的FOX
层100未^皮/人沟4曹端部去除。
如图8中所示，接着，将保护层IIO去除并且通过热处理(例 如在1000才聂氏度的温度下进行200分钟) <吏主体区122和124向 下延伸，即生长。在主体完全形成之后，优选地，在FOX层100 与主体122、 124之间保持距离R。因而，GOX层130在主体区122、 124下面延伸。因而，GOX层130优选地终止于沟槽中位置P (主 体122沿侧124的方向终止于该位置)下面的位置Q处。因此，此 处的基极材料12被限定为既包括主体122、 124又包括非主体半导 体材料区。主体区的进一步生长使得端部P越过位置Q延伸也是可 能的。
同时又由于热处理，薄氧化物(GOX)层130形成于整个结构 上，并且些孩O也生长到半导体材冲牛区内。该层可以例如厚50nm。
然后，在沟槽16、 18中的薄氧化物层130上沉积4册电极多晶 硅材料126、 128。
图9示出了主体区和厚氧化物沿Y方向于端部处的的有利自调 整。例如如果掩模110恰好具有弯曲的边缘111,则主体端部222、 224在沿Y方向生长之后，仍然邻近厚氧化物FOX层。因此，由 掩模边缘111限定的GOX区端部230总是在主体端部222、 224内 部(即，与Y方向相反)，并且主体区总是沿Y方向终止于FOX 区中。GOX区端部230也与主体端部隔开预定距离，例如在10nm 至2樣i米或者最大主体区深度的范围内。
图10示出了更多氧化物150的增加以覆盖沟槽，该氧化物例 ^口通过CVD法;冗积、。
图11示出了在区域160处的更多氧化物的蚀刻以为主体区拔_ 供通道。介电区72可以在边缘被掩蔽以保持不被蚀刻。介电区70 存在于多晶硅材料126、 128之上。
图12示出了在最终沉积图1中所示的金属层之前所形成的图 11的主体区122、 124。首先，4寻源4及区62、 64注入顶部以形成n十 掺杂区，并且接着，从主体区中蚀刻用于主体4妾触区30、 34的凹 槽和接触凹槽50、 52。如图9中所示，在形成n+掺杂区的过程中， 可以将具有边缘201的第二掩模200设置在主体区122、 124的端 部222、 224下方的沟4曹端部之上。
在蚀刻区的底部进行进一步的硼注入并且进行快速热退火 (RTA)工艺，以形成主体4妄触区30、 32。在主体才妄触区30、 32 上沉积金属或者多晶石圭才才并十50、 52。
远离沟槽开口的半导体材料侧124可以经历例如n+掺杂。最 后，增力。如图1中所示的金属4妄触区22和24。
该半导体器件io有利地提供了具有主体注入的现有的厚氧化 物(FOX)和薄氧化物(GOX)光电才支术。对于GOX工艺的温度 预算以及其它温度处理可以取替主体驱动。因而节省了由单独的光 电才支术(主体构成)和主体驱动导致的成本。》匕外，主体和薄棚-才及 氧化物相对于彼此自调整，这也就是说，由于主体的屏蔽效应，没 有高的漏4及电势以不期望方式存在于薄栅才及氧4b物处。这在环境管 理问题方面转化为附加的保险。而且，源极区端部可以利用4妄触式 沟槽光电技术(和/或可选的源极光电技术)来制造，以使z使源才及区 端部距离主体区端部相当远的距离。这对于击穿电压电阻和雪崩电 阻是非常重要的。
同样，在根据本发明的开放设计中，主体区由GOX/FOX掩才莫 技术来定义；随后的温度处理确保了与FOX区的交叠，从而薄氧 化物(GOX)区被主体区可靠地保护。GOX/FOX区被转移到台面 (mesa)内并且立即进行自调整，从而主体区相应地转移。
因此，具有较低接通电阻RoN.A的高密集DMOS功率晶体管， 可以以更低的生产成本设置在该器件上。
此处定义的薄氧化物层4又是比厚氧化物层薄的氧化物层，该厚 氧化物层可以具有任何想要的厚度。
作为具有现有FOX层的注入的替代，可以首先蚀刻FOX层， 并且在FOX蚀刻之后，接着利用可选的隔离4支术进行低能量主体 注入，以在主体注入的过程中保护沟槽侧壁。
在上述的i兌明书中，已经参照具体示例4生实施例及其示例只t本 发明进行了描述。但是，在不背离所附权利要求中所阐述的本发明 的更宽4青神和范围的情况下，显然可以对此进^f亍各种〗奮改和改变。
权利要求
1.一种制造半导体器件的方法，所述方法包括在半导体材料的第一侧中形成沟槽；在所述沟槽上和所述第一侧上形成厚氧化物层；使用第一掩模对所述第一侧的一部分和所述沟槽进行掩蔽；当所述第一掩模存在时，通过穿过所述厚氧化物层的注入而掺杂所述半导体材料；以及当所述第一掩模保留时，去除所述厚氧化物层的至少一部分。
2. 才艮据4又利要求1所述的方法，进一步包括在所述去除步骤之 后，在所述第一侧上形成薄氧化物层。
3. 才艮据4又利要求2所述的方法，进一步包4"舌在所述去除步骤之 后且在形成所述薄氧化物层的步骤之前，去除所述第一掩模。
4. 根据权利要求2所述的方法，其中，所述薄氧化物层的形成为 热处理，所述热处理还使通过注入而掺杂的所述半导体材料的 一部分膨胀。
5. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述去除步骤包括蚀刻， 将所述厚氧化物层的一部分保留在所述第一掩模的下面并且 也保留在所述沟槽中。
6. 根据权利要求1所述的方法，进一步包括在形成所述厚氧化 物层之后且所述掺杂步骤之前，将导电材料增加到所述沟槽 中。
7. 根据权利要求6所述的方法，其中，所述导电材料是掺杂的多 晶硅。
8. —种用于制造半导体器件的方法，所述方法包括在半导体材料的第一侧中形成沟槽，所述沟槽具有底部；在所述半导体材料的所述第一侧上和所述沟槽上形成厚 氧化物层；在所述沟槽中的所述厚氧化物层上增加导电材料；以及通过穿过所述厚氧化物层的注入而掺杂所述半导体材 料，所述沟槽被所述厚氧化物材料和所述导电材料覆盖，使得 所述注入避开所述沟槽底部。
9. 一种用于制造半导体器件的方法，所述方法包括在半导体材料的第 一侧中形成沟槽，所述沟槽具有底部；在所述半导体材料的所述第一侧上和所述沟槽上形成厚 氧化物层；去除所述厚氧化物层的至少一部分；在所述去除步骤之前或之后，通过注入而掺杂所述半导 体材并牛以形成主体区；以及在所述掺杂之后对所述半导体材料进行热处理，以便既在 所述主体上形成薄氧化物层又4吏所述主体区延伸。
10. —种半导体器件，包括具有第一侧和第二侧的基极半导体材料，所述半导体材料 包括多个沟槽，每个沟槽相对于所述第一侧和所述第二侧垂直 地延伸，并且每个沟槽在所述第 一侧具有沟槽顶部且具有沟槽 底部，多个所述沟冲曹具有沿端部方向的端部，每个端部在所述 沟槽顶部具有厚氧化物层，并且至少 一个沟槽在远离于第 一位 置开始的所述端部的所述沟槽顶部具有薄氧化物层；以及位于所述沟槽之间的所述基极半导体材料中的多个主体 区，每个主体区包4舌沿所述端部方向的主体区端部；并且靠近所述至少 一个沟槽的至少 一个主体区端部与所 述第一位置隔开预定距离。
11. 根据权利要求IO所述的半导体器件，其中，每个沟槽在所述 薄氧化物层下具有所述厚氧化物层。
12. 根据权利要求10所述的半导体器件，其中，每个主体区包括 两个源才及端和位于所述两个源4及端之间的4妄触区。
13. 根据权利要求10所述的半导体器件，其中，每个沟槽包括栅 电极。
14. 根据权利要求IO所述的半导体器件，其中，每个沟槽进一步 包括位于所述4册电才及与所述沟槽底部之间的场电才及，所述厚氧 化物层位于所述场电极与所述沟槽底部之间。
15. 根据权利要求14所述的半导体器件，其中，所述薄氧化物层 将所述4册电4及与所述场电纟及隔开。
16. 根据权利要求10所述的半导体器件，进一步包括邻近所述第 一侧的第 一接触层和邻近所述第二侧的第二接触层。
17. 根据权利要求10所述的半导体器件，其中，所述器件包括 DMOS功率晶体管。
全文摘要
根据一个实施例，一种用于制造半导体器件的方法包括在半导体材料的第一侧中形成沟槽以及在该沟槽上和第一侧上形成厚氧化物层。使用第一掩模对第一侧的一部分和沟槽进行掩蔽，并且当第一掩模存在时，通过穿过厚氧化物层的注入而掺杂半导体材料。当第一掩模保留时，去除厚氧化物层的至少一部分。
文档编号H01L21/336GK101183650SQ20071016623
公开日2008年5月21日 申请日期2007年11月6日 优先权日2006年11月16日
发明者埃尔温·巴赫尔, 弗朗茨·赫尔莱尔, 马库斯·曾德尔, 鲁道夫·泽尔萨克 申请人:英飞凌科技奥地利有限公司