专利名称：一种快速重复定位装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种快速、重复定位装置，它用于将工件按一导 轨移动，并快速定位，也可以将工件重复定位。它用在生产中，如在 集成电路制造中硅片传输系统相对于主框架的快速定位、维护过程中 的重复定位。
背景技术：
在传统的定位装置中，普遍采用工装进行调节定位和定位销定 位，工装定位不足之处在于 一是不够快速，影响效率；二是需要工 装，费用高。定位销定位不足之处在于 一是重复定位困难，二是不 能够调节，精度不高。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种快速重复定位装置，主要解决现 有工装定位装置不够快速和定位销定位装置重复定位困难精度不高 的技术问题，使得工件的定位快速，维护工程中工件能够重复定位。 为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为 一种快速重复定位装置，其特征在于它包括安装在不动工件上长导轨和安装在运动工件上的可沿着长导轨滑动的滚轮，两个短导轨及导轨座安装在不动工件底面靠边的位置，具有与短导轨相匹配凹槽 的定位滚轮固定在运动工件的底部位置，调平螺钉在运动工件的中间 位置，调平螺钉的调节装置在运动工件的边上； 一定位销部件固定在 不动工件上，定位销孔固定在运动工件上。两个短导轨中间高两端低，用螺钉固定在导轨座上。 该定位销部件包括一连杆机构和一圆柱销，圆柱销的 -端有一定 的锥度，另一端跟连杆机构连接，连杆机构一端具有手柄。 藉由上述结构，使本实用新型具有如下优点本实用新型采用的定位滚轮的凹槽挂接定位和定位销定位，定位 快速，精度高，重复性好，在定位过程中，调节螺钉可以调节工件的 水平，凹槽挂接定位和定位销定位依靠零件的加工精度，不需要人工 调节，减少了人为的误差，整个定位过程简单，不需要工装，大大提 高了工作效率，降低了费用。
图1是本实用新型的结构示意图。图2是图1的局部剖视图。图3是图1的仰视图。图4是本实用新型中短导轨的结构示意图。图5是本实用新型在工作中的短导轨与滑块的组合图。图6是本实用新型中定位销部件的结构示意图。图中l一导轨座； 4一长导轨； 7 —调节装置； IO —定位销部件; 103 —手柄。2 —定位滚轮；5 —滚轮；8 —运动工件；IOI—连杆机构;3 —短导轨； 6 —调平螺钉; 9一不动工件; 102 —圆柱销;具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型的进行详细说明。该实施例 是本实用新型快速重复定位装置应用在集成电路制造中硅片传输系 统相对于主框架的快速定位、维护过程中的重复定位。请参阅图1、 2， 3， 4， 5， 6，本实用新型的快速、重复定位装 置，包括长导轨4，安装在主框架9上，滚轮5安装在硅片传输8的 侧面，二短导轨3及导轨座1安装在主框架9底面，靠边的位置， 用螺钉固定，圆柱销定位，定位滚轮2固定在硅片传输8上的底部位 置，调平螺钉6在硅片传输8的中间位置，调平螺钉的调节装置在硅 片传输8的边上，便于手动调节。定位销部件10固定在主框架9上， 包括一连杆机构101和一圆柱销102，圆柱销102的一端有一定的锥 度，定位的时候便于进入定位销孔ll，另一端跟连杆机构101连接， 转动连杆101的手柄102，定位销能够进出定位销孔11进行定位， 定位销孔11固定在运动工件8上。其工作过程是，首先将定位销部件IO (图6)置于非工作状态， 让滚轮5在长导轨4上滚动，缓慢推动硅片传输8，硅片传输8移动 时，必须保证定位滚轮2的凹槽在短导轨3上移动，定位滚轮2挂在 短导轨3上后，使得硅片传输8的一端离地后，转动定位销的手柄 103 (图6)，插进定位销101 (图6)，进行X、 Y方向定位，调节调 节螺钉6的调节装置7，使调节螺钉6着地，支撑硅片传输8，用水 平仪检查硅片传输的水平。综上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实 用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等 效变化与修饰，都应为本实用新型的技术范畴。
权利要求1、一种快速重复定位装置，其特征在于它包括安装在不动工件(9)上长导轨(4)和安装在运动工件(8)上的可沿着长导轨(4)滑动的滚轮(5)，两个短导轨(3)及导轨座(1)安装在不动工件(9)底面靠边的位置，具有与短导轨(3)相匹配凹槽的定位滚轮(2)固定在运动工件(8)的底部位置，调平螺钉(6)在运动工件(8)的中间位置，调平螺钉(6)的调节装置(7)在运动工件(8)的边上；一定位销部件(10)固定在不动工件(9)上，定位销孔(11)固定在运动工件(8)上。
2、 根据权利要求1所述的快速重复定位装置，其特征在于两 个短导轨(3)中间高两端低，用螺钉固定在导轨座(1)上。
3、 根据权利要求1或2所述的快速重复定位装置，其特征在于 该定位销部件(10)包括一连杆机构(101)和一圆柱销(102)，圆柱 销(102)的一端有一定的锥度，另一端跟连杆机构(101)连接，连 杆机构(101) —端具有手柄(103)。
专利摘要一种快速重复定位装置，它包括安装在不动工件上长导轨和安装在运动工件上的可沿着长导轨滑动的滚轮，两个短导轨及导轨座安装在不动工件底面靠边的位置，具有与短导轨相匹配凹槽的定位滚轮固定在运动工件的底部位置，调平螺钉在运动工件的中间位置，调平螺钉的调节装置在运动工件的边上；一定位销部件固定在不动工件上，定位销孔固定在运动工件上。藉由上述结构主要解决现有工装定位装置不够快速和定位销定位装置重复定位困难精度不高的技术问题，使得工件的定位快速，维护工程中工件能够重复定位。
文档编号H01L21/68GK201112369SQ20072007682
公开日2008年9月10日 申请日期2007年10月31日 优先权日2007年10月31日
发明者王春兰, 袁志扬 申请人:上海微电子装备有限公司