专利名称：悬浮输送装置及具有悬浮输送装置的处理系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及将如坯料或者产品之类的对象物从贮藏装置或者处理装置拉出、使用 压缩空气等流体在使所述对象物悬浮的同时进行输送的悬浮输送装置，以及具有这种悬浮 输送装置的处理系统。
背景技术：
例如在液晶显示装置的制造中，处理前或者处理中的玻璃基板被一张张地顺次输 送到用于制造的各工序的装置来进行处理。玻璃基板的受损或变形会对显示装置的品质带 来重大的影响，因此必须尽量防止在输送中受损或变形。因此，为实现这样的目的而利用了 通过空气等流体使玻璃基板悬浮并进行输送的装置。这种装置一般包括具有喷出空气的喷 嘴的悬浮装置，通过所喷出的空气对对象物施加浮力。玻璃基板通过浮力悬浮，受到输送装 置的驱动力而被输送。相关技术记载于日本国专利公开2006-182563号中。玻璃基板暂时储存在制造工序中的上游侧装置中，顺次被拉出而移动到悬浮输送 装置上。在完成向悬浮输送装置上的移动后，玻璃基板受到均勻的浮力而能够保证平坦性， 但在这样的拉出过程中会引起使玻璃基板变形的可能。
发明内容
鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种在防止变形的同时将对象物拉出、并 在使对象物悬浮的同时进行输送的悬浮输送装置及具有这种悬浮输送装置的处理系统。根据本发明的第一方面，提供一种悬浮输送装置，用于从外部装置拉出对象物、并 通过流体使所述对象物悬浮并进行输送的用途，所述悬浮输送装置具有具有第一区域和第二区域的基台；排列在所述第一区域的第一输送装置及排列在所述第二区域的第二输送装置，该 第一输送装置和该第二输送装置分别用于与所述对象物接触地将所述对象物从所述第一 区域输送到所述第二区域；配置在所述基台上的第一悬浮装置，其具有喷出所述流体的喷出孔，以便对所述 对象物施加浮力；以及第二悬浮装置，其沿着所述第一输送装置配置在所述基台上，并具有喷出所述流 体的喷出孔，以便对所述对象物施加浮力，该第二悬浮装置能够在第一高度和第二高度之 间控制所述对象物在所述第一输送装置上的悬浮高度，所述第一高度是防止所述第二输送 装置与所述对象物可驱动地接触的高度，所述第二高度是允许所述输送装置与所述对象物 可驱动地接触的高度。优选为，所述悬浮输送装置还具有用于使所述第二悬浮装置以能够控制的方式 进行升降的升降装置。还优选为，所述第一输送装置和所述第二输送装置分别具有从由超 声波马达、辊、夹持驱动器(clamper)及皮带输送机构成的组中选择出的任意部件。或优选 为，所述悬浮输送装置还具有臂，该臂具有用于吸附所述对象物的吸附盘，并且该臂以能够控制的方式被驱动，以便将所吸附的所述对象物从所述外部装置拉出到所述第一区域。进 一步优选为，所述悬浮输送装置还具有用于使所述第一输送装置以能够控制的方式进行 升降的上下装置。根据本发明的第二方面，提供一种处理系统，具有具有搬出部的处理装置；以使所述第一区域与所述搬出部邻接的方式配置的所述的悬浮输送装置。
图1是表示根据本发明实施方式的悬浮输送系统的俯视图。图2是表示所述悬浮输送系统的局部放大俯视图。图3是表示图2的III-III向侧视图。图4是表示图2的IV-IV向侧视图。图5是表示图2的V-V向侧视图。
具体实施例方式以下结合附图对本发明实施方式进行说明。在本说明书、权利要求及附图中，前 方、后方、左方及右方分别定义为附图中以F、A、L及R所表示的方向。这种定义仅为方便说 明而举例，本发明并不限定于此。此外在以下说明中，作为例子说明了在液晶显示装置的制造中所使用的、如玻璃 基板之类的薄且平面状的对象物的输送，但是本发明并不一定限定于此。就对象物来讲，无 需整体都呈平面状，只要其下表面的至少一部分呈平面状即可。为使对象物悬浮，利用了例 如空气等流体。如图1所示，处理系统1具有，进行蚀刻或CVD等处理的处理装置3、悬浮输送装 置7。处理装置3具有用于搬出处理后的玻璃基板W的搬出部5。悬浮输送装置7在其上 游端具有用于拉出玻璃基板W来开始输送的拉出区域S，并且悬浮输送装置7配置成使该端 与处理装置3的搬出部5邻接。作为处理装置3执行的处理，举例了蚀刻、CVD或PVD等， 但并不限于此。悬浮输送装置7具有，沿着从图中左L到右R的方向延伸的基台9、在基台9上的 前F端及后A端附近且在从左L到右R方向上分别形成列的作为输送装置的输送辊11、在 基台9上且从左L到右R的方向及与此正交的方向的两方向上形成列的多个悬浮装置39、 43。输送辊11和悬浮装置39从拉出区域S沿输送方向排列到比拉出区域S靠下游的区域， 悬浮装置43仅配置在拉出区域S。各辊11通过旋转轴、蜗轮及蜗杆等适当的传递机构(图中未详细说明)，分别与马 达19A、19B连接。由此，各辊11受到马达19A、19B的驱动力而以相同转速旋转。各辊11 的上端配置成与悬浮装置39、43的上表面相比稍微向上方突出并在单一面上对齐。玻璃基 板W也可在悬浮的状态下与辊11接触以便受到驱动力。马达19A、19B无需是一对，也可以是前F端附近的辊和后A端附近的辊介由链条 等适当的连接机构与单一马达连接的结构。并且，也可以是利用通过接触来输送对象的其 他适当的装置例如超声波马达等输送装置，来代替辊。或者利用通过可把持及驱动对象物的夹持驱动器或皮带输送机等输送机构，来代替辊。在多个输送辊11中，排列在比拉出区域S靠下游区域的输送辊IlB固定于基台9， 而排列在拉出区域S的输送辊IlA未固定于如图4所示的基台9，而是通过可升降的支承 部件13而被支承。支承部件13由允许其升降的引导部15来支承，支承部件13进一步可 驱动地支承于气缸17，该气缸17通过压缩空气形成的空气压力被可控制地驱动。输送辊 IlA受到气缸17的驱动，在图中以双点划线所示的上升位置和在图中以实线表示的下降位 置之间升降。在上升位置，输送辊IlA比悬浮装置43的上表面略微向上方突出。悬浮装置39、43排列在基台9上，并具有矩形环状的喷出孔41、45。喷出孔41、45 与未图示的压缩空气供给装置连接，并受到其供给而喷出压缩空气。所喷出的压缩空气使 得在玻璃基板W的下表面和悬浮装置39、43的上表面之间形成产生均勻压力的空间，由此 玻璃基板W受到浮力而悬浮上升。或者，也可以应用超声波悬浮装置或静电悬浮装置等来 代替利用压缩空气的悬浮装置39、43。喷出孔41、45，优选为在悬浮装置39的上表面附近向矩形的内部倾斜。环状且向 内部倾斜的喷出孔41、45介由压缩空气的流量控制来提供玻璃基板W的悬浮高度的控制 性。倾斜越大，该趋势越明显，但如果过大则会导致悬 浮装置39、43的制作困难，因此倾斜 优选为例如45°，但并不限于此。喷出孔41、45并不限于矩形环状，也可以是椭圆形环状或环的一部分闭塞的形 状、或以矩形环状排列的多个贯通孔等其他各种形状。优选为，多个悬浮装置39分别使其 上表面之间以形成单一平面的方式对齐。这有利于使玻璃基板W的悬浮高度稳定。悬浮装置39固定在基台9上。关于悬浮装置43，在拉出区域S中以将这些悬浮装 置43夹在中间的方式沿着辊IlA配置在其附近。如图3所示，悬浮装置43未固定在基台 9上，而是通过允许其升降的引导部47而被支承。进一步具有通过压缩空气的空气压力而 可控制地被驱动的气缸49，悬浮装置43受到气缸49的驱动而在图中以双点划线表示的上 升位置和在图中以实线表示的下降位置之间升降。悬浮装置43位于各输送辊IlA的附近， 从而随着悬浮装置43的升降玻璃基板W也在输送辊11上升降。在悬浮装置43位于上升 位置时玻璃基板W具有更高的悬浮高度，从而可防止输送辊IlA与玻璃基板W接触。此时， 玻璃基板W不从输送辊IlA受到驱动力。另一方面，在悬浮装置43位于下降位置时对象物 W获得更低的悬浮高度，允许输送辊IlA与玻璃基板W接触。此时，玻璃基板W可通过输送 辊IlA而被驱动。关于各悬浮高度的控制，也可通过从喷出孔45喷出的压缩空气的流量控制来进 行各悬浮高度的控制，以代替利用悬浮装置43升降来进行各悬浮高度的控制。并且，悬浮 装置43的升降，也可利用液压缸或电动马达等其他适当的升降装置进行，来代替利用压缩 空气的气缸。并且，在悬浮装置43位于上升位置时，优选为所有悬浮装置39、43的上表面 在单一平面上对齐。这有利于防止玻璃基板W变形。此外，输送装置是否与玻璃基板W接触的区别，无需像接触和分离之间的差异那 样的临界性差异。例如，在看上去即使能确认接触而若接触压力非常小，则输送装置处于空 转的状态，无法对玻璃基板W给予驱动力。反之，看上去即使几乎未接触若由于对象物自重 而存在足够的接触压力，则输送装置将对玻璃基板W给予驱动力。因此，在本说明书及权利 要求书中将“可驱动地接触”特别定义为“足以给予驱动力的接触”。即，即使对象物位于较高的悬浮高度的状态时，玻璃基板W也可以与输送装置保持轻接触。参照图1、2、5，在悬浮输送装置7的左端附近隔开适当的距离具有一对支架21。各支架21具有可在左L及右R方向移动的滑块23。各支架21内置有一对滑轮35、以可驱 动另一方的滑轮35的方式连接的马达37、绕挂在滑轮35上的皮带33。皮带33可驱动地 与滑块23连接，从而滑块23被马达37驱动，在图中以实线表示的位置和以双点划线表示 的位置间移动。滑块23，进一步分别具有可介由引导部27升降的臂25，通过以压缩空气驱动的气 缸31可控制地使臂25升降。也可适用液压缸或电动马达等其他适当的升降装置来代替压 缩空气的气缸。在臂25的前端(图中的左L端)分别具有吸附玻璃基板W的吸附盘29。悬浮输送系统1对玻璃基板W的拉出及输送是以如下方式进行的。在最初的状态 下，悬浮装置43位于下降位置。通过驱动气缸49使悬浮装置43上升，此外通过驱动气缸 17使辊IlA下降。与此同时，驱动压缩空气供给装置使得从所有悬浮装置39、43的喷出孔 41、45喷出压缩空气，从而成为向玻璃基板W给予浮力的状态。进一步，在上述动作的前后，通过驱动马达37使得臂25移向左L方向。如图5所 示，臂25的前端(左L端)来到搬出部5的玻璃基板W的下方。通过驱动气缸31使得每 个臂25的吸附盘29上升，并吸附到玻璃基板W的下表面。接着，通过逆向驱动马达37来 使臂25向右R方向移动、通过悬浮装置43使玻璃基板W悬浮的同时，将玻璃基板W拉出到 拉出区域S。接着，通过驱动气缸17使排列在拉出区域S内的输送辊IlA上升。进而，通过驱 动气缸49使悬浮装置43下降。由此，输送辊IlA可驱动地与基板W接触。在此前后，通过 驱动气缸31将吸附盘29从玻璃基板W的下表面拉离。接着，通过驱动马达19A、19B使输 送辊1IA及输送辊1IB同步旋转，在悬浮输送装置7上，将玻璃基板W从拉出区域S输送到 位于右R的比拉出区域S靠下游的区域。在悬浮装置43位于上升位置时进行玻璃基板W的拉出，因此玻璃基板在其大致整 个面上受到浮力，与拉出区域S内的任何部件都不会产生干涉，因此不用担心会变形。在输 送辊IlA位于上升位置时，由于进行悬浮装置43的下降和吸附盘29的脱离，因此，玻璃基 板W的位置在拉出区域S内是稳定的。并且，驱动辊IlA尚未被驱动，因此输送辊IlA和臂 25不会对玻璃基板W施加相反的力。因此，玻璃基板W不易受损或变形。也可将对玻璃基板W的位置及高度进行检测的传感器设置在适当的位置，来进行 反馈控制。参照适当的实施方式对本发明进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式的内 容。基于以上公开的内容，本技术领域的普通技术人员也可以通过对实施方式进行修改或 变形来实施本发明。产业上的可利用性本发明提供一种能够在防止变形的同时将对象物拉出、并在使对象物悬浮的同时 进行输送的悬浮输送装置和具有该悬浮输送装置的处理系统。
权利要求
一种悬浮输送装置，用于从外部装置拉出对象物、并通过流体使所述对象物悬浮并进行输送的用途，所述悬浮输送装置具有具有第一区域和第二区域的基台；排列在所述第一区域的第一输送装置及排列在所述第二区域的第二输送装置，该第一输送装置和该第二输送装置分别用于与所述对象物接触地将所述对象物从所述第一区域输送到所述第二区域；配置在所述基台上的第一悬浮装置，其具有喷出所述流体的喷出孔，以便对所述对象物施加浮力；以及第二悬浮装置，其沿着所述第一输送装置配置在所述基台上，并具有喷出所述流体的喷出孔，以便对所述对象物施加浮力，该第二悬浮装置能够在第一高度和第二高度之间控制所述对象物在所述第一输送装置上的悬浮高度，所述第一高度是防止所述第二输送装置与所述对象物可驱动地接触的高度，所述第二高度是允许所述输送装置与所述对象物可驱动地接触的高度。
2.根据权利要求1所述的悬浮输送装置，所述悬浮输送装置还具有用于使所述第二 悬浮装置以能够控制的方式进行升降的升降装置。
3.根据权利要求1所述的悬浮输送装置，所述第一输送装置和所述第二输送装置分别 具有从由超声波马达、辊、夹持驱动器及皮带输送机构成的组中选择出的任意部件。
4.根据权利要求1所述的悬浮输送装置，所述悬浮输送装置还具有臂，该臂具有用于 吸附所述对象物的吸附盘，并且该臂以能够控制的方式被驱动，以便将所吸附的所述对象 物从所述外部装置拉出到所述第一区域。
5.根据权利要求1所述的悬浮输送装置，所述悬浮输送装置还具有用于使所述第一 输送装置以能够控制的方式进行升降的上下装置。
6.一种处理系统，具有具有搬出部的处理装置；以使所述第一区域与所述搬出部邻接的方式配置的权利要求1所述的悬浮输送装置。
全文摘要
一种悬浮输送装置，用于从外部装置拉出对象物、并通过流体使所述对象物悬浮并进行输送的用途，所述悬浮输送装置具有具有第一区域和第二区域的基台；排列在所述第一区域的第一输送装置及排列在所述第二区域的第二输送装置，该第一输送装置和该第二输送装置分别用于与所述对象物接触地将所述对象物从所述第一区域输送到所述第二区域；配置在所述基台上的第一悬浮装置，其具有喷出所述流体的喷出孔，以便对所述对象物施加浮力；以及第二悬浮装置，其沿着所述第一输送装置配置在所述基台上，并具有喷出所述流体的喷出孔，以便对所述对象物施加浮力，该第二悬浮装置能够在第一高度和第二高度之间控制所述对象物在所述第一输送装置上的悬浮高度，所述第一高度是防止所述第二输送装置与所述对象物可驱动地接触的高度，所述第二高度是允许所述输送装置与所述对象物可驱动地接触的高度。
文档编号H01L21/677GK101815661SQ20088010015
公开日2010年8月25日 申请日期2008年7月3日 优先权日2007年7月27日
发明者平田贤辅 申请人:株式会社Ihi