专利名称：真空加热除气处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种除气处理装置，尤其涉及一种对有机发光显示器件的后盖在 封装前进行加热除气的真空加热除气处理装置。
背景技术：
OLED显示器即利用有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)作为一种 新型的平板显示技术已经逐渐被广大生产厂商所认可。但是，OLED技术发展至今可以说还 不十分成熟，其显示器件尚存在一些缺点，目前最突出的缺陷是其使用寿命较短，器件的寿 命问题在很大程度上限制了 OLED显示器产业化的进程。OLED显示器的寿命一方面取决于 所选用的有机材料的性能及寿命，另一方面还取决于器件的封装方法、封装设备及应用效 果等。现今的封装方法一般是使用封装材料即胶水将前后玻璃基板在真空环境中密封起 来，因为OLED显示器内的有机材料的不稳定，如果OLED显示器封装不好，随着OLED显示器 的有机发光面板使用时间的增加，空气中和封装材料中的湿气、水分及氧气等进入OLED显 示器内部的机会也随着提升。有机材料就会与真空腔内的水蒸汽、氧气等气体发生反应， 很容易就会导致发光层与电极层分离、有机材料分解、电极氧化等一系列问题，这无形中提 高了不发光区域的生成机会，降低发光层的亮度和均勻性，也降低了 OLED显示器的使用寿 命。目前最为关键的就是对器件进行合理有效的封装，这对器件的封装装置、方法及 封装工艺提出了极高的要求。为适应这种要求，避免湿气、水分及氧气进入到OLED显示器 内部，最有效的方法就是在OLED显示器封装之前，就将封装材料中的湿气、水分及氧气等 排除然后再进行封装。然而传统的用于排除湿气、水分及氧气等不利影响因素的封装OLED 显示器的方法和设备不太适宜大规模的生产线，有时还不能有效地将封装材料中的不利气 体排除。因此，需要一种对有机发光显示器件的后盖在封装前进行加热除气，防止封装后 封装材料中的湿气、水分及氧气等进入显示器件内部与有机材料发生反应而降低显示器件 的使用寿命的真空加热除气处理装置。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种对有机发光显示器件的后盖在封装前进行加热 除气，防止封装后封装材料中的湿气、水分及氧气等进入显示器件内部与有机材料发生反 应而降低显示器件的使用寿命的真空加热除气处理装置。为了实现上述目的，本实用新型提供一种真空加热除气处理装置，适用于对有机 发光显示器的后盖在封装前进行加热除气，包括机架、真空腔体、加热板、升降组件、水平输 送组件、真空抽气系统及控制系统，所述真空腔体固定于所述机架上，所述真空腔体的两端 分别设置有入口及出口，所述入口及出口处均设置有密封隔离阀，所述密封隔离阀打开或 关闭所述入口及出口，所述水平输送组件横贯设置于所述真空腔体内部且两端分别与所述入口及出口对接形成供后盖传输的后盖传输通道，所述升降组件安装于所述真空腔体外的 下方，所述升降组件具有若干支撑柱及驱动所述支撑柱作直线往复运动的气缸马达，所述 支撑柱呈密封地伸入所述真空腔体内并在气缸马达的作用下可自由地在所述真空腔体内 作直线往复的升降运动，伸入所述真空腔体内的支撑柱的自由端形成支撑面，所述加热板 安装于所述真空腔体内部并处于所述支撑柱的自由端形成的支撑面的正上方，所述真空抽 气系统与所述真空腔体连通，所述加热板、升降组件、水平输送组件及真空抽气系统均与所 述控制系统电连接。较佳地，所述真空加热除气处理装置还包括冷却装置，所述冷却装置安装于所述 真空腔体内部。具体地，所述冷却装置为冷却板，所述冷却板安装于所述真空腔体内部并处 于所述加热板的正上方，所述冷却板内部安装有冷却水管，所述冷却水管内注满可流动的 冷却液。由于加热板的辐射，造成整个腔体温度都会升高，但是有效的温度利用只是靠近工 件的那一面，其他地方均为无效升温，因此，使用所述冷却板冷却能有效降低所述真空腔体 内的温度，使所述真空腔体在正常的温度下工作。较佳地，所述升降组件还包括支撑板及若干波纹管，所述气缸马达的活塞杆与所 述支撑板固定，所述支撑柱固定于所述支撑板上，所述波纹管套接于的所述支撑柱上且一 端密封地固定于的所述真空腔体底部，另一端密封地固定于所述支撑板上。通过所述气缸 马达推动所述支撑板上的支撑柱，使所述支撑柱推动后盖上升，从而使后盖离所述加热板 更近，更有效地吸收所述加热板的热量，使温度迅速升高，结构简单，操作灵活，所述波纹管 更能对所述支撑柱及真空腔体之间的连接处进行密封，防止大气进入所述真空腔体内。具体地，所述升降组件还包括导向组件，所述导向组件包括导向杆，导向套及固定 板，所述固定板固定于气缸马达上，所述导向套穿过并固定于所述支撑板上，所述导向杆可 滑动地套接于所述导向套内，一端与固定于所述真空腔体底部，另一端固定于所述固定板 上。所述导向组件使所述支撑柱能沿所设定的方向准确动动，起导向作用。较佳地，所述水平输送组件包括驱动组件、底座及若干输送滚轮，所述驱动组件安 装于所述底座上，所述输送滚轮水平枢接于所述底座上。所述驱动组件驱动所述输送滚轮 后能将所述后盖输送到所述升降组件上，为上升靠近到所述加热板作好定位准备。与现有技术相比，由于本实用新型通过将封装前的所述后盖输送到所述真空腔体 内，利用所述升降组件使所述后盖靠近所述加热板，进而对所述后盖上的封装材料进行加 热，使其内部的湿气、水分及氧气等杂质排出，再利用真空抽空系统将其抽出，在加热除气 后再进行封装，从而防止封装后封装材料中的湿气、水分及氧气等进入显示器件内部与有 机材料发生反应，整个设备结构简单，操作方便，有效提高了封装后有机显示器件内的有机 材料的寿命，从而提高了显示器件的使用寿命。
图1是本实用新型真空加热除气处理装置的分解示意图。图2是本实用新型真空加热除气处理装置的剖视图图。图3是本实用新型真空加热除气处理装置中升降组件的结构示意图。图4是本实用新型真空加热除气处理装置的工作状态示意图具体实施方式
如图1、图2所示，本实用新型真空加热除气处理装置100，包括机架1、真空腔体 2、加热板3、冷却板4、密封隔离阀5、升降组件6、水平输送组件7、真空抽气系统8及控制 系统(图中未示)。所述真空腔体2固定于所述机架1上，所述真空腔体2两侧分别开设 有入口 21及出口 22，所述升降组件6安装于所述真空腔体2的下方，所述升降组件6具有 若干支撑柱63，所述支撑柱63密封地伸入所述真空腔体2内并可自由地在所述真空腔体2 内直线升降并在自由端形成支撑面，所述加热3板安装于所述真空腔体2内部并处于所述 支撑柱63的自由端形成的支撑面的上方，所述冷却板4安装于所述真空腔体2内部并处于 所述加热板3的上方，所述冷却板4内部安装有冷却水管41，所述冷却水管41内注满可流 动的冷却液，加热板3的加热利用的只是靠近工件的那一面，其他地方均为无效升温，使用 所述冷却板4冷却能有效降低所述真空腔体2内的温度，使所述真空腔体2在正常的温度 下工作。所述水平输送组件7横贯设置于所述真空腔体2内部且两端分别与所述入口 21 及出口 22对接形成供后盖200传输的后盖传输通道7a。所述真空抽气系统8与所述真空 腔体2连通。所述密封隔离阀5分别安装于所述入口 21及出口 22上，能打开或关闭所述 入口 21及出口 22。所述加热板3、密封隔离阀5、升降组件6、水平输送组件7及真空抽气 系统8均与所述控制系统电连接，所述控制系统控制所述加热板3、密封隔离阀5、升降组件 6、水平输送组件7及真空抽气系统8的工作状态。如图3所示，所述升降组件6包括气缸马达61、支撑板62、若干支撑柱63、导向组 件64及波纹管65，所述气缸马达61的活塞杆61a与所述支撑板62固定，所述支撑柱63固 定于所述支撑板62上，所述波纹管65套接于的所述支撑柱63上且一端密封地固定于的所 述真空腔体2底部，另一端密封地固定于所述支撑板62上。所述导向组件64包括导向杆 64a，导向套64b及固定板64c，所述固定板64c固定于气缸马达61上，所述导向套64b穿 过并固定于所述支撑板62上，所述导向杆6 可滑动地套接于所述导向套64b内，一端与 固定于所述真空腔体2底部，另一端固定于所述固定板6 上，所述导向组件64使所述支 撑柱63能沿所设定的方向准确移动，起导向作用。通过所述气缸马达61推动所述支撑板 62上的支撑柱63，使所述支撑柱63推动后盖200上升，从而使后盖200离所述加热板3更 近，更有效地吸收所述加热板3的热量，使温度迅速升高，结构简单，操作灵活，所述波纹管 65更能对所述支撑柱63及真空腔体2之间的连接处进行密封，防止大气进入所述真空腔体 2内。所述水平输送组件7包括驱动组件71、底座72及若干输送滚轮73，所述驱动组件 71安装于所述底座72上，所述输送滚轮73水平枢接于所述底座72上。所述驱动组件71 驱动所述输送滚轮73后能将所述后盖200输送到所述升降组件6上，为上升靠近到所述加 热板3作好定位准备。综合上述并结合图4，下面对本实用新型真空加热除气处理装置100的工作原理 进行详细说明，如下工作时，本实用新型真空加热除气处理装置100的出口 22与真空封装生产线的开 始端连接，封装前，将所述后盖200输送到所述真空腔体2的入口 21 —端，所述控制系统控 制所述密封隔离阀5打开及控制所述水平输送组件7启动，所述后盖200进入所述真空腔 体2后在所述水平输送组件7上的输送滚轮73的带动下移动到所述加热板3及所述支撑柱63之间后停止，所述密封隔离阀5关闭，将所述真空腔体2封闭，然后控制系统启动所述 升降组件6，所述升降组件6的气缸马达61活塞杆61a推动所述支撑板62沿所述导向杆 64a方向上升，进而使所述支撑柱63推动所述后盖200上升并慢慢靠近所述加热板3，加热 板3启动升温，加热后盖200上的封装材料201使封装材料201的湿气、水分及氧气排出到 所述真空腔体2内，同时，启动所述真空抽气系统8，将所述真空腔体2内的气体抽出。除气 完成后，所述升降组件6的支撑柱63下降将所述后盖200放置于所述后盖传输通道7a上， 所述控制系统控制所述水平输送组件7启动并控制所述密封隔离阀5打开所述出口 22，最 后将所述后盖200从所述真空腔体2内输送到真空生产线内。由于本实用新型通过将封装前的所述后盖200输送到所述真空腔体2内，利用所 述升降组件6使所述后盖200靠近所述加热板3，进而对所述后盖200上的封装材料201 进行加热，使其内部的湿气、水分及氧气等杂质排出，再利用真空抽气系统8将其抽出，在 加热除气后再进行封装，从而防止封装后封装材料201中的湿气、水分及氧气等进入显示 器件内部与有机材料发生反应，整个设备结构简单，操作方便，有效提高了封装后有机显示 器件内的有机材料的寿命，从而提高了显示器件的使用寿命，另，由于本实用新型是在后盖 200进入真空封装生产线前对后盖200进行处理，其内部也处于真空状态，可在处理完后直 接将后盖200送入生产线，因此，本实用新型真空加热除气处理装置100在外界与真空封装 生产线之间起到缓冲作用，将后盖200送入生产线时无需破坏生产线的真空状态。本实用新型真空加热除气处理装置100所涉及到的所述真空抽气系统8及控制系 统的工作原理为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实例而已，当然不能以此来限定本实用新型 之权利范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属于本实用新型所涵盖 的范围。
权利要求1.一种真空加热除气处理装置，适用于对有机发光显示器的后盖在封装前进行加热 除气，其特征在于包括机架、真空腔体、加热板、升降组件、水平输送组件、真空抽气系统及 控制系统，所述真空腔体固定于所述机架上，所述真空腔体的两端分别设置有入口及出口， 所述入口及出口处均设置有密封隔离阀，所述密封隔离阀打开或关闭所述入口及出口，所 述水平输送组件横贯设置于所述真空腔体内部且两端分别与所述入口及出口对接形成供 后盖传输的后盖传输通道，所述升降组件安装于所述真空腔体外的下方，所述升降组件具 有若干支撑柱及驱动所述支撑柱作直线往复运动的气缸马达，所述支撑柱呈密封地伸入所 述真空腔体内并在气缸马达的作用下可自由地在所述真空腔体内作直线往复的升降运动， 伸入所述真空腔体内的支撑柱的自由端形成支撑面，所述加热板安装于所述真空腔体内部 并处于所述支撑柱的自由端形成的支撑面的正上方，所述真空抽气系统与所述真空腔体连 通，所述加热板、升降组件、水平输送组件及真空抽气系统均与所述控制系统电连接。
2.如权利要求1所述的真空加热除气处理装置，其特征在于还包括冷却装置，所述冷 却装置安装于所述真空腔体内部。
3.如权利要求2所述的真空加热除气处理装置，其特征在于所述冷却装置为冷却板， 所述冷却板安装于所述真空腔体内部并处于所述加热板的正上方，所述冷却板内部安装有 冷却水管，所述冷却水管内注满可流动的冷却液。
4.如权利要求1所述的真空加热除气处理装置，其特征在于所述升降组件还包括支 撑板及若干波纹管，所述气缸马达的活塞杆与所述支撑板固定，所述支撑柱固定于所述支 撑板上，所述波纹管套接于的所述支撑柱上且一端密封地固定于的所述真空腔体底部，另 一端密封地固定于所述支撑板上。
5.如权利要求4所述的真空加热除气处理装置，其特征在于所述升降组件还包括导 向组件，所述导向组件包括导向杆，导向套及固定板，所述固定板固定于气缸马达上，所述 导向套穿过并固定于所述支撑板上，所述导向杆可滑动地套接于所述导向套内，一端与固 定于所述真空腔体底部，另一端固定于所述固定板上。
6.如权利要求1所述的真空加热除气处理装置，其特征在于所述水平输送组件包括 驱动组件、底座及若干输送滚轮，所述驱动组件安装于所述底座上，所述输送滚轮水平枢接 于所述底座上。
专利摘要本实用新型公开一种真空加热除气处理装置，包括机架、真空腔体、加热板、升降组件、水平输送组件、真空抽气系统及控制系统，所述真空腔体的两端分别设置有入口及出口，所述入口及出口处均设置有密封隔离阀，所述水平输送组件横贯设置于所述真空腔体内部，所述升降组件具有若干支撑柱及气缸马达，所述支撑柱呈密封地自由伸入所述真空腔体内，所述加热板安装于所述真空腔体内部，所述真空抽气系统与所述真空腔体连通，所述加热板、升降组件、水平输送组件及真空抽气系统均与所述控制系统电连接。本实用新型结构简单，操作方便，有效提高了显示器件的使用寿命，且在外界与真空封装生产线之间起到缓冲作用，工作时无需破坏生产线的真空状态。
文档编号H01L51/56GK201918432SQ201020636468
公开日2011年8月3日 申请日期2010年12月1日 优先权日2010年12月1日
发明者刘惠森, 叶宗锋, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司