单位掩模板及包括该单位掩模板的掩模板组装体的制作方法与工艺

本发明涉及单位掩模板及包括该单位掩模板的掩模板组装体，具体涉及在沉积有机发光层时所使用的单位掩模板及包括该单位掩模板的掩模板组装体。

背景技术：
作为显示图像的装置，近年来有机发光显示装置(organiclightemittingdiodedisplay)备受瞩目。有机发光显示装置具有自发光特性，与液晶显示装置(liquidcrystaldisplaydevice)不同，有机发光显示装置不需要额外的光源，因此能够减小厚度和重量。另外，有机发光显示装置具有功耗低、亮度高以及响应速度快等优良特性。为了制造有机发光显示装置，需要形成具有特定图案的电极和有机发光层等，作为其形成方法可以使用采用掩模板组装体的沉积法。更具体地，有机发光显示装置具有在基板上设置有有机发光元件的机构。其中，通过将作为显示图像的基本单位的像素(pixel)排列为矩阵形态、并且在每个像素中夹着发射红色(Red)光、绿色(Green)光、蓝色(Blue)光以及白色(White)光等光的各个有机发光层依次形成有作为阳极的第一电极和作为阴极的第二电极，从而形成有机发光元件。其中，由于形成有机发光层的有机物质抗水分和氧等的能力较差，因此在形成有机发光层的工序中和形成有机发光层之后应当使其与水分彻底隔离，从而难以通过通常的光刻工序来实施图案化。进而，主要采用形成有被开口的图案部的掩模板来形成有机发光层，其中，所述被开口的图案部用于仅使沉积物质通过与各个图案对应的部分。最近所使用的掩模板组装体包括：具有开口部的框架；以及以与开口部对应的方式，使得两端部固定在框架上的、多个带(band)状单位掩模板。在这种现有的掩模板组装体中，由于通过给单位掩模板施加张力的方式将其支撑在框架上，因此存在因施加至单位掩模板的张力而形成在单位掩模板的图案部的形态发生变形的问题。

技术实现要素：
本发明的一实施例为了解决上述的技术问题，提供了一种单位掩模板及包括该单位掩模板的掩模板组装体，从而防止了因施加至单位掩模板的张力而使形成在单位掩模板的图案部的形态发生变形的现象。为了解决上述的技术问题，本发明的第一方面提供了一种在沿着第一方向施加张力的状态下两端部被支撑在框架上的单位掩模板，其包括：带状的掩模板本体部，沿着所述第一方向延伸；多个图案部，沿着所述第一方向设置在所述掩模板本体部上，并且具有各自沿着所述第一方向延伸开口并沿着与所述第一方向相交的第二方向相隔设置的多个图案缝隙；以及多个虚拟部，相隔地设置在所述掩模板本体部上，所述多个图案部位于所述多个虚拟部之间，并且所述多个虚拟部分别具有沿着所述第一方向延伸开口并沿着所述第二方向相隔设置的多个虚拟缝隙。在所述多个虚拟缝中，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙在所述第一方向上延伸的长度能够小于设置在所述第二方向的中心区域的虚拟缝隙在所述第一方向上延伸的长度。设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为多个，所述虚拟缝隙在所述第一方向上延伸的长度可以随着接近所述第二方向的外围而依次减小。设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙可以为5至10个。设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为5个，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离可以为5倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙在所述第二方向上的宽度可以为2倍于设置在所述第二方向的中心区域的虚拟缝隙在所述第二方向上的宽度。设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为5个，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离可以为6倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为5个，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离可以为2倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙为10个，设置在所述第二方向的外围区域的虚拟缝隙中，各相邻的虚拟缝隙的端部之间、在所述第一方向上的距离可以为5倍于所述相邻的虚拟缝隙之间、在所述第二方向上的距离。另外，本发明的第二方面提供了一种掩模板组装体，包括：具有开口部的框架；以及多个上述的单位掩模板，位于所述开口部上。根据上述的本发明内容中部分技术方案实施例之一，提供了一种单位掩模板及包括该单位掩模板的掩模板组装体，从而防止了因施加至单位掩模板的张力而使形成在单位掩模板的图案部的形态发生变形的现象。附图说明图1是表示根据本发明第一实施例的掩模板组装体的分解立体图。图2是表示图1的A部分的示意图。图3是用于说明根据本发明第二实施例的单位掩模板的示意图。图4是用于说明根据本发明第三实施例的单位掩模板的示意图。图5是用于说明根据本发明第四实施例的单位掩模板的示意图。图6是用于说明根据本发明第五实施例的单位掩模板的示意图。图7是用于说明根据本发明第六实施例的单位掩模板的示意图。附图标记说明210：掩模板本体部；221：图案缝隙；220：图案部；231：虚拟缝隙；230：虚拟部。具体实施方式下面，参考附图详细说明了本发明的多个实施例，使得本发明所属技术领域的技术人员能够简单地实施本发明。本发明能够以多种不同形态实施，而并不限于在此说明的实施例。为了清楚地说明本发明，在此省略了与说明无关的部分；并且在整体说明书中，对于相同或类似的组成要素使用了相同的附图标记。另外，在多个实施例中，对于具有相同组成的组成要素使用了相同的附图标记，并且在第一实施例中进行了代表性的说明，而在其余的实施例中仅说明了与第一实施例不同的构成。另外，为了便于说明而任意地图示了在附图中表示的各个组成的尺寸和厚度，因而本发明并不限于附图所示的情况。在附图中，为了清楚地说明多个层和区域而放大显示其厚度。另外，在附图中，为了便于说明而夸张地示出了一些层和区域的厚度。若描述为层、膜、区域以及板等某一部分在另一部分“…上”时，不仅包括某一部分在“紧挨”另一部分的“上面”的情况，还包括其之间有另外部分的情况。另外，在整个说明书中，若描述为某部分“包括”某组成要素时，不是表示排除其他的组成要素，而是表示还可以包括其他组成要素，但是特别加以相反的记载的除外。另外，在整个说明书中，若描述为“...上”，表示位于对象部分的上部或者下部，并不意味着一定会位于以重力方向为基准时的上侧。下面，参考图1和图2说明根据本发明第一实施例的掩模板组装体。图1是表示根据本发明第一实施例的掩模板组装体的分解立体图。如图1所述，根据本发明第一实施例的掩模板组装体包括：框架100；以及多个单位掩模板200。框架100用于固定和支撑多个单位掩模板200中每个单位掩模板200的两端，并且包括开口部110，用于露出单位掩模板200。框架100还包括：中间夹着开口部110、并且沿着第一方向x互相相对的一对第一支撑部120；以及中间夹着开口部110、并且沿着与第一方向x相交的第二方向y互相相对的一对第二支撑部130。通过焊接等固定方法，在给单位掩模板200施加第一方向x的张力的状态下，将单位掩模板200的两端部200a支撑在第一支撑部120上。虽然在根据本发明第一实施例的掩模板组装体的框架100中，第一支撑部120构成了四边形框架100的长边，第二支撑部130构成了框架100的短边，但是在根据本发明另一实施例的掩模板组装体的框架中，还可以将第一支撑部和第二支撑部形成为实质上相同的长度。另外，在根据本发明再一实施例的掩模板组装体中，还可以将框架形成为多边形或者圆形。在给单位掩模板200施加张力的状态下，对固定在框架100上的单位掩模板200予以支撑，然而因施加至单位掩模板200的张力而沿着作为单位掩模板200延伸方向的第一方向x压缩力作用于框架100上，因此使用如不锈钢(stainlesssteel)等刚性大的金属材料来形成框架100，以防止因单位掩模板200的压缩力而发生的变形。单位掩模板200为向第一方向x延伸的带状，并且在沿着第一方向x对其施加张力的状态下，将其两端部200a支撑在框架100上。单位掩模板200有多个，并且多个单位掩模板200沿着第二方向y设置在框架100上，从而得到支撑。单位掩模板200的两端部200a可以形成为中心区域凹陷的、如马蹄的形状，但是并不限于此，其还可以形成为多种形状。单位掩模板200包括：掩模板本体部210、图案部220以及虚拟部230。掩模板本体部210为沿着第一方向x延伸的带状，位于框架100的开口部110上，并且通过框架100得以支撑。在掩模板本体部210上形成有：沿着第一方向x排列的多个图案部220；以及夹着多个图案部220的、互相间隔地排列在掩模板本体部210端部侧的虚拟部230。在一个单位掩模板200上，沿着第一方向x设置有多个图案部220。图案部220可以对应于一个有机发光显示装置。此时，通过单位掩模板200、以单一工序、在将会制造成有机发光显示装置的母体基板上可以同时形成构成多个有机发光显示装置的多个图案。即，与构成有机发光显示装置的图案的沉积区域对应地，将图案部220设置在掩模板本体部210上。图案部220具有贯通单位掩模板200的开口的图案形态，使得构成有机发光显示装置的图案通过图案部220可以形成在母体基板上。图案部220的形态包括条(stripe)型的多个图案缝隙(patternslit)221。将多个图案缝隙221中的每一个分别沿着第一方向x延伸开口，并且沿着与第一方向x相交的第二方向y相隔设置每个图案缝隙221。虚拟部230有多个，并且夹着向第一方向x设置的图案部220将多个虚拟部230互相间隔地设置。即，虚拟部230与单位掩模板200的两端部200a相邻设置。虚拟部230设置在沿着第一方向x设置的多个图案部220中位于最外侧的图案部220和单位掩模板200的端部200a之间，起到了将因施加至单位掩模板200的张力而向图案部220施加的张力予以分散的作用。通过将施加至图案部220的张力予以分散，虚拟部230防止了因施加至单位掩模板200的张力而图案部220发生变形的现象。虚拟部230与框架100对应，并且位于框架100上。如上所述，通过使得虚拟部230位于框架100上，从而在采用探针组装体的沉积工序中防止了作为沉积手段的沉积物质通过虚拟部230沉积到母体基板上的现象。与图案部220类似地，虚拟部230包括条型的多个虚拟缝隙231。多个虚拟缝隙231中的每个分别沿着第一方向x延伸开口，并且沿着第二方向y相隔设置每个虚拟缝隙231。图2是表示图1的A部分的示意图。如图2所示，在多个虚拟缝隙231中，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231在第一方向x上延伸的长度EL2小于设置在第二方向y上的中心区域CA的虚拟缝隙231在第一方向x上延伸的长度EL1。并且，设置在外围区域BA的虚拟缝隙231在第一方向x上延伸的长度EL2，随着接近外围而依次减小。由于设置在外围区域BA的多个虚拟缝隙231在第一方向x上延伸的长度EL2随着接近外围而依次减小，因此防止了因施加至单位掩模板200的张力而使虚拟缝隙231发生变形的现象。设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231的数量可以为5至10个。另外，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1可以是2至6倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。具体而言，当使用夹具(clamp)等拉伸装置来拉伸单位掩模板200的两端部200a时，与单位掩模板200的外围侧对应的部分受到的应力(stress)相比其他部分更大。但是，由于在位于与单位掩模板200的外围侧对应的部分的外围区域BA设置的多个虚拟缝隙231在第一方向x上的延伸长度EL2，随着越接近外围而依次减小；因此施加至与单位掩模板200的外围侧对应的部分应力得到了分散；从而防止了因施加至单位掩模板200的张力而使虚拟缝隙231发生变形的现象。由于通过防止虚拟缝隙231发生变形来防止了虚拟部230的变形，因此从根源上防止了因虚拟部230的变形而导致图案部220发生变形的现象。如上所述，根据本发明第一实施例的掩模板组装体，通过包括图案部220和具有虚拟缝隙231的虚拟部230，防止了因施加至单位掩模板200的张力而使形成在单位掩模板200的图案部220发生变形的现象。另外，在根据本发明第一实施例的掩模板组装体中，由于设置在虚拟部230的第二方向y上的外围区域BA的多个虚拟缝隙231，随着接近外围而其在第一方向x上延伸的长度EL2依次减小；因此向设置在外围区域BA的虚拟缝隙231施加的张力得到了分散；从而防止了虚拟部230的变形；所以从根源上防止了因虚拟部230的变形而使图案部220发生变形。另外，当在第二方向y上的外围区域BA设置的虚拟缝隙231的数量为5至10个，并且当设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为2至6倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2时，根据本发明单位掩模板的张力分散效果达到最佳。关于这一点，通过将在后文描述的本发明的第二实施例至第六实施例中的每个单位掩模板进行说明。下面，分别参考图3至图7，对本发明的第二实施例至第六实施例的每个单位掩模板进行说明。下面，仅对与第一实施例有区别的特征部分进行说明，省略说明的部分可以参考第一实施例。另外，为了便于说明，在本发明的第二实施例至第六实施例中的每个实施例中，对相同的组成元素使用与本发明的第一实施例相同的附图标记并进行了说明。下面，参考图3说明根据本发明第二实施例的单位掩模板。图3是用于说明根据本发明第二实施例的单位掩模板的示意图。图3中(a)的上侧附图是表示根据本发明第二实施例的单位掩模板的虚拟缝隙的示意图；图3中(a)的下侧附图是表示使用由达索系统(DassaultSystemes)公司的SIMULIA销售的解析结构、电以及热的工具，即ABAQUS，将根据第二实施例的单位掩模板予以拉伸时，针对施加至根据第二实施例的单位掩模板的虚拟缝隙的应力进行模拟(simulation)的示意图。图3中(b)的上侧附图是表示根据比较例的单位掩模板的虚拟缝隙的示意图；图3中(b)的下侧附图是表示使用由达索系统公司的SIMULIA销售的解析结构、电以及热的工具、即ABAQUS，将根据比较例的单位掩模板予以拉伸时，针对施加至根据比较例的单位掩模板的虚拟缝隙的应力进行模拟的示意图。如图3中(a)的上侧附图所示，根据本发明第二实施例的单位掩模板202，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为5倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。如图3中(b)的上侧附图所示，根据本发明比较例的单位掩模板20，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为1倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。如图3中(a)的下侧附图和图3中(b)的下侧附图所示，通过模拟来比较根据本发明第二实施例的单位掩模板202和根据比较例的单位掩模板，得知：向根据本发明第二实施例的单位掩模板202中设置在第二方向y上的最外围虚拟缝隙231施加的最大应力(stress)实际上为316.8MPa，而向根据比较例的单位掩模板中设置在第二方向y上的最外围虚拟缝隙231施加的最大应力为467.5MPa。即，根据本发明第二实施例的单位掩模板202，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为5倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。因此向设置在外围区域BA的虚拟缝隙231施加的张力得到分散，从而防止了虚拟部230发生变形。这作为从根源上防止图案部220变形的因素，提供了工程稳定度有所提高的单位掩模板202。下面，参考图4说明根据本发明第三实施例的单位掩模板。图4是用于说明根据本发明第三实施例的单位掩模板的示意图。图4中(a)的上侧附图是表示根据本发明第三实施例的单位掩模板的虚拟缝隙的示意图；图4中(a)的下侧附图是表示使用由达索系统公司的SIMULIA销售的解析结构、电以及热的工具、即ABAQUS，将根据第三实施例的单位掩模板予以拉伸时，针对施加至根据第三实施例的单位掩模板的虚拟缝隙的应力进行模拟的示意图。图4中(b)的上侧附图是表示根据比较例的单位掩模板的虚拟缝隙的示意图；图4中(b)的下侧附图是表示使用由达索系统公司的SIMULIA销售的解析结构、电以及热的工具、即ABAQUS，将根据比较例的单位掩模板予以拉伸时，针对施加至根据比较例的单位掩模板的虚拟缝隙的应力进行模拟的示意图。如图4中(a)的上侧附图所示，根据本发明第三实施例的单位掩模板203，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为5倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。另外，设置在单位掩模板203的第二方向y的外围区域BA的虚拟缝隙231在第二方向y上的宽度D1为2倍于设置在第二方向y上的中心区域CA的虚拟缝隙231在第二方向y上的宽度D2。如图4中(b)的上侧附图所示，根据本发明比较例的单位掩模板，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为1倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。如图4中(a)的下侧附图和图4中(b)的下侧附图所示，通过模拟来比较根据本发明第三实施例的单位掩模板203和根据比较例的单位掩模板，得知：向根据本发明第三实施例的单位掩模板203中设置在第二方向y上的最外围虚拟缝隙231施加的最大应力实际上为343.3MPa，而向根据比较例的单位掩模板中设置在第二方向y上的最外围虚拟缝隙231施加的最大应力为467.5MPa。即，在根据本发明第三实施例的单位掩模板203，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为5倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2；并且设置在第二方向y的外围区域BA的虚拟缝隙231在第二方向y上的宽度D1为2倍于设置在第二方向y上的中心区域CA的虚拟缝隙231在第二方向y上的宽度D2。因此向设置在外围区域BA的虚拟缝隙231施加的张力得到分散，从而防止了虚拟部230发生变形。这作为从根源上防止图案部220变形的因素，提供了工程稳定度有所提高的单位掩模板203。下面，参考图5说明根据本发明第四实施例的单位掩模板。图5是用于说明根据本发明第四实施例的单位掩模板的示意图。图5中(a)的上侧附图是表示根据本发明第四实施例的单位掩模板的虚拟缝隙的示意图；图5中(a)的下侧附图是表示使用由达索系统公司的SIMULIA销售的解析结构、电以及热的工具、即ABAQUS，将根据第四实施例的单位掩模板予以拉伸时，针对施加至根据第四实施例的单位掩模板的虚拟缝隙的应力进行模拟的示意图。图5中(b)的上侧附图是表示根据比较例的单位掩模板的虚拟缝隙的示意图；图5中(b)的下侧附图是表示使用由达索系统公司的SIMULIA销售的解析结构、电以及热的工具、即ABAQUS，将根据比较例的单位掩模板予以拉伸时，针对施加至根据比较例的单位掩模板的虚拟缝隙的应力进行模拟的示意图。如图5中(a)的上侧附图所示，根据本发明第四实施例的单位掩模板204，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为6倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。如图5中(b)的上侧附图所示，根据本发明比较例的单位掩模板，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为1倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。如图5中(a)的下侧附图和图5中(b)的下侧附图所示，通过模拟来比较根据本发明第四实施例的单位掩模板204和根据比较例的单位掩模板，得知：向根据本发明第四实施例的单位掩模板204中设置在第二方向y上的最外围虚拟缝隙231施加的最大应力实际上为318.7MPa，而向根据比较例的单位掩模板中设置在第二方向y上的最外围虚拟缝隙231施加的最大应力为467.5MPa。即，根据本发明第四实施例的单位掩模板204，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为6倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。因此向设置在外围区域BA的虚拟缝隙231施加的张力得到分散，从而防止了虚拟部230发生变形。这作为从根源上防止图案部220变形的因素，提供了工程稳定度有所提高的单位掩模板204。下面，参考图6说明根据本发明第五实施例的单位掩模板。图6是用于说明根据本发明第五实施例的单位掩模板的示意图。图6中(a)的上侧附图是表示根据本发明第五实施例的单位掩模板的虚拟缝隙的示意图；图6中(a)的下侧附图是表示使用由达索系统公司的SIMULIA销售的解析结构、电以及热的工具、即ABAQUS，将根据第五实施例的单位掩模板予以拉伸时，针对施加至根据第五实施例的单位掩模板的虚拟缝隙的应力进行模拟的示意图。图6中(b)的上侧附图是表示根据比较例的单位掩模板的虚拟缝隙的示意图；图6中(b)的下侧附图是表示使用由达索系统公司的SIMULIA销售的解析结构、电以及热的工具、即ABAQUS，将根据比较例的单位掩模板予以拉伸时，针对施加至根据比较例的单位掩模板的虚拟缝隙的应力进行模拟的示意图。如图6中(a)的上侧附图所示，根据本发明第五实施例的单位掩模板205，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为2倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。如图6中(b)的上侧附图所示，根据本发明比较例的单位掩模板，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为1倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。如图6中(a)的下侧附图和图6中(b)的下侧附图所示，通过模拟来比较根据本发明第五实施例的单位掩模板205和根据比较例的单位掩模板，得知：向根据本发明第五实施例的单位掩模板205中设置在第二方向y上的最外围虚拟缝隙231施加的最大应力实际上为372.4MPa，而向根据比较例的单位掩模板中设置在第二方向y上的最外围虚拟缝隙231施加的最大应力为467.5MPa。即，根据本发明第五实施例的单位掩模板205，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为2倍于在相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。因此向设置在外围区域BA的虚拟缝隙231施加的张力得到分散，从而防止了虚拟部230发生变形。这作为从根源上防止图案部220变形的因素，提供了工程稳定度有所提高的单位掩模板205。下面，参考图7说明根据本发明第六实施例的单位掩模板。图7是用于说明根据本发明第六实施例的单位掩模板的示意图。图7中(a)的上侧附图是表示根据本发明第六实施例的单位掩模板的虚拟缝隙的示意图；图7中(a)的下侧附图是表示使用由达索系统公司的SIMULIA销售的解析结构、电以及热的工具、即ABAQUS，将根据第六实施例的单位掩模板予以拉伸时，针对施加至根据第六实施例的单位掩模板的虚拟缝隙的应力进行模拟的示意图。图7中(b)的上侧附图是表示根据比较例的单位掩模板的虚拟缝隙的示意图；图7中(b)的下侧附图是表示使用由达索系统公司的SIMULIA销售的解析结构、电以及热的工具、即ABAQUS，将根据比较例的单位掩模板予以拉伸时，针对施加至根据比较例的单位掩模板的虚拟缝隙的应力进行模拟的示意图。如图7中(a)的上侧附图所示，根据本发明第六实施例的单位掩模板206，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为10个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为5倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。如图7中(b)的上侧附图所示，根据本发明比较例的单位掩模板，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为5个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为1倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。如图7中(a)的下侧附图和图7中(b)的下侧附图所示，通过模拟来比较根据本发明第六实施例的单位掩模板206和根据比较例的单位掩模板，得知：向根据本发明第六实施例的单位掩模板206中设置在第二方向y上的最外围虚拟缝隙231施加的最大应力实际上为340.6MPa，而向根据比较例的单位掩模板中设置在第二方向y上的最外围虚拟缝隙231施加的最大应力为467.5MPa。即，根据本发明第六实施例的单位掩模板206，设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231为10个；并且设置在第二方向y上的外围区域BA的虚拟缝隙231中，各相邻的虚拟缝隙231的端部之间、在第一方向x上的距离L1为5倍于相邻的虚拟缝隙231之间、在第二方向y上的距离L2。因此向设置在外围区域BA的虚拟缝隙231施加的张力得到分散，从而防止了虚拟部230发生变形。这作为从根源上防止图案部220变形的因素，提供了工程稳定度有所提高的单位掩模板206。根据如上所述的内容，通过实施例说明了本发明，但是本发明并不限于此，本发明所属技术领域的技术人员能够明白在不脱离权利要求书的概念和范围的情况下能够对本发明进行多种修改和变形。