导电薄膜的消影方法与流程

文档序号:12038764阅读:来源:国知局
导电薄膜的消影方法与流程

技术特征:
1.一种导电薄膜的消影方法,所述导电薄膜包括基板、位于基板上的电极区及位于基板上的非电极区,所述电极区形成所述导电薄膜的图案,所述电极区包括基质及纳米金属,其特征在于,在形成所述导电薄膜的过程中,所述消影方法包括如下步骤:(a).利用光刻胶保护膜来保护所述电极区;(b).将填充液涂布于非电极区后,进行固化;所述填充液包括溶剂、基质物及纳米颗粒;所述溶剂为水或乙醇;所述基质物为聚甲基丙烯酸酯、聚丙烯酸酯和聚丙烯腈、聚乙烯醇、聚酯、聚氯乙烯、羟丙基甲基纤维素、或羧甲基纤维素钠;所述纳米颗粒为金属氧化物颗粒或金属纳米颗粒;所述纳米颗粒的大小为0.1μm~100μm;(c).用腐蚀液去除所述光刻胶保护膜,使所述非电极区和所述电极区的折射率相同或相近、雾度相差≤3%、透过率相差≤1%。2.如权利要求1所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述溶剂的含量为95%~99%,所述基质物的含量为0.01%~3%。3.如权利要求2所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述基质物的含量为0.05%~1%。4.如权利要求1所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述金属氧化物颗粒为二氧化钛、氧化铁或氧化锌。5.如权利要求1所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述纳米颗粒的大小为1μm~20μm。6.如权利要求1所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:经过步骤(c)之后,所述非电极区具有与所述电极区同种基质的绝缘纳米金属网格。7.如权利要求6所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述纳米金属网格的方阻大于106Ω/□。8.如权利要求1所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述填充液的配制在室温下进行,将大小为1μm~10μm、含量为10%的纳米银颗粒水溶液,取X1*20g溶于去离子水的混合溶液中,搅拌,再将X1*3g聚乙烯醇添加至上述溶液中,搅拌;所述X1为比例系数且数值相同。9.如权利要求1所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:所述填充液的配制在室温下进行,将大小为1μm~10μm、含量为10%的纳米银颗粒水溶液,取X2*20g溶于去离子水的混合溶液中,搅拌,再将X2*0.1g羟丙基甲基纤维素(HPMC)添加至上述溶液中,搅拌;所述X2为比例系数且数值相同。10.如权利要求1至9项中任意一项所述的导电薄膜的消影方法,其特征在于:步骤(b)中,将填充液涂布于非电极区后,在100℃的温度下烘烤10分钟进行固化;步骤(c)中,所述腐蚀液为5%的氢氧化钠的溶液,在去除所述光刻胶保护膜之后,在100℃的温度下烘烤10分钟。
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