撞片防护装置、涂布平台及其撞片防护方法
【专利摘要】本发明公开了一种撞片防护装置、涂布平台及其撞片防护方法，所述撞片防护装置包括：至少一发射元件，用于发射至少一光束；至少一反射元件，用于反射所述光束；至少一接收元件，用于接收经所述反射元件反射的所述光束，所述光束的光路至少经过所述作业平台一次；检知感测器，连接于所述发射元件与所述接收元件，用于判断所述接收元件所接收到的光束相对于所述发射元件发射的光束的衰减是否超过一设定值，若超过所述设定值，则发出一第一控制信号。本发明可避免破碎的玻璃发生第二次破坏。
【专利说明】撞片防护装置、涂布平台及其撞片防护方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及有机发光二极管显示面板制造领域，尤其涉及一种撞片防护装置及具有该撞片防护装置的涂布平台和撞片防护方法。
【背景技术】
[0002]现有技术中，发光二极管显示面板制造需要用到涂布平台(Coater stage) I,如图1和图5所示，涂布平台I通常为大理石材质，涂布平台I两侧布设有用于喷嘴(nozzle) 8移动的轨道2、3，喷嘴8可以往返移动，如图1中的箭头所示。
[0003]如图2所示，涂布平台I上设置有升降支撑杆(lift pin)9，用于支撑玻璃7的升降。而涂布平台I不断使用后，易发生因静电吸附而造成玻璃7在被升降支撑杆9托举上升时升降支撑杆9将玻璃7顶破，破裂后的玻璃7会跌落在涂布平台I上。
[0004]在破裂发生的瞬间，在来不及清理破裂的玻璃7之前，涂布平台I下游端的自动机械4 (robot,或称机器人)的机械臂瞬间来取片时，如图3所示，一冲撞时，易造成玻璃7的严重粉碎性的破怀，不但造成了涂布平台I更严重的污染，如图4所示，且也造成了升降支撑杆9严重的破坏，并且搬送手臂上的吸真空组件(即搬送手臂上的吸真空垫片，robotvacuum pad)也可能损坏,而往往在复归时需要花费相当多的成本,如硬件的更换、人员的清洁，及产品的验证等…
[0005]而现有技术的涂布平台，仅利用真空管路(vacuum line)进行真空吸附，由吸附压力的状况，来判定是否有玻璃破片或缺角发生，但这样的防护并不能监控到因玻璃7上升时而发生的破片情况；由于这个位置要增加检知非常困难，会受到喷嘴8及自动机械4的干涉，因此并无厂商进行开发装设。
[0006]综上，当发生因涂布机台I吸附而造成破片时，因无检测传感器可以回馈给整个系统，告诉下游的自动机械4不要进行取片的动作，所以常造成严重的第二次性的破坏。
【发明内容】
[0007]针对现有技术中存在的问题，本发明的目的为提供一种撞片防护装置，以解决现有技术的撞片防护装置无法有效检测因静电吸附造成的玻璃上升时升降支撑杆将玻璃顶破的技术问题。
[0008]本发明的另一目的为提供一种具有本发明撞片防护装置的涂布平台，以解决现有技术的涂布平台的撞片防护装置无法有效检测因静电吸附造成玻璃上升时升降支撑杆将玻璃顶破的技术问题。
[0009]本发明的再一目的为提供一种撞片防护方法。
[0010]为实现上述目的，本发明的技术方案如下:
[0011]一种撞片防护装置，用于涉及玻璃的作业平台的撞片防护，所述撞片防护装置包括:至少一发射兀件，用于发射至少一光束；至少一反射兀件，用于反射所述光束；至少一接收元件，用于接收经所述反射元件反射的所述光束，所述光束的光路至少经过所述作业平台一次；检知感测器，连接于所述发射元件与所述接收元件，用于判断所述接收元件所接收到的光束相对于所述发射元件发射的光束的衰减是否超过一设定值，若超过所述设定值，则发出一第一控制信号。
[0012]本发明的涂布平台，具有本发明的撞片防护装置。
[0013]一种撞片防护方法，用于涉及玻璃的作业平台的撞片防护，其特征在于，所述撞片防护方法包括步骤:步骤S1:由至少一发射元件，发射至少一光束；步骤S2:由至少一反射元件，反射所述光束；由至少一接收元件，接收经所述反射元件反射的所述光束，所述光束的光路至少经过所述作业平台一次；步骤S3:由连接于所述发射元件与所述接收元件的检知感测器，判断所述接收元件所接收到的光束相对于所述发射元件发射的光束的衰减是否超过一设定值，若超过所述设定值，则发出一控制信号。
[0014]本发明的有益效果在于，本发明的撞片防护装置及具有该撞片防护装置的涂布平台以及本发明的撞片防护方法，其可以在玻璃上升时升降支撑杆将玻璃顶破的状态发生时，通过发射元件、反射元件、接收元件及检知感测器，有效的检知玻璃破片，及时发送控制信号给下游的自动机械，使其停止进行取片动作，从而避免破碎的玻璃发生第二次破坏，将损失降低至最低，避免不必要的成本支出，可以加快涂布平台的复归时间。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为现有技术的涂布平台的示意图；
[0016]图2为现有技术的涂布平台发生破片的示意图；
[0017]图3为现有技术的涂布平台发生破片的瞬间自动机械进行取片动作的示意图；
[0018]图4为现有技术的涂布平台因自动机械进行取片动作造成已被顶破的玻璃粉碎性破坏的示意图；
[0019]图5为本发明第一实施例的涂布平台及本发明第一实施例的撞片防护装置的示意图；
[0020]图6为本发明实施例的撞片防护方法的流程示意图；
[0021]图7为本发明第一实施例的撞片防护装置的另一光路示意图；
[0022]图8为本发明第三实施例的撞片防护装置及其光路示意图。
【具体实施方式】
[0023]体现本发明特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及附图在本质上是当作说明之用，而非用以限制本发明。
[0024]本发明实施例的涂布平台，可以利用本发明实施例的撞片防护方法进行撞片防护；本发明实施例的撞片防护装置，可以用于本发明实施例的涂布平台；本发明实施例的涂布平台，具有本发明实施例的撞片防护装置；本发明实施例的撞片防护方法，可以利用本发明实施例的撞片防护装置实现。
[0025]下面具体介绍本发明第一至第三实施例的撞片防护装置、涂布平台及撞片防护方法。但本发明并不局限于这三个实施例。本发明各实施例的撞片防护方法和撞片防护装置，均已涂布平台为例进行说明，但本发明并不以此为限，只要是涉及玻璃的作业平台，本发明实施例的撞片防护装置及撞片防护方法均可应用。
[0026]第一实施例:
[0027]如图5所示，本发明第一实施例的撞片防护装置，包括发射元件(或称发射器)5、反射镜61、62、63以及检知感测器(图中未示出)，发射元件5同时也可以是接收元件(或称接收器)，检知感测器可以内置于发射元件5，或者检测感测器可内置有发射元件5和接收元件。
[0028]发射兀件5用于发射光束,而反射镜61、62、63均用于反射光束,接收兀件用于接收光路上最后一个反射镜反射回的光束。为了能实现对玻璃撞片(或破片)情况的有效检测，从发射元件5发出，并经反射镜61、62、63反射的光束，在反射回接收元件之前，至少要经过涂布平台I 一次。这里所说的经过涂布平台1，是指以一定的高度(包括高度为0，即紧贴涂布平台I的情形)通过涂布平台I正上方的情形。
[0029]而检知感测器，通过有线或无线的方式连接于发射元件5与接收元件，其作用是判断接收元件所接收到的光束相对于发射元件5发射的光束的衰减是否超过一设定值。这个设定值例如可以是20%，即光强度衰减为原来的20%，如果完全没有收到(即衰减100%)，则也属于超过衰减的设定值。
[0030]对于发射元件5和接收元件，需避开喷嘴8及自动机械4的走行方向，在适当且不干涉的位置装设，由于喷涂平台I静电吸附最易发生的位置在玻璃四周(与放片有关)，因此对撞片的检知着重在涂布平台I的四周，因此，对于矩形的涂布平台1，发射元件5同时也是接收元件设置于涂布平台I的其中一角部，而反射镜61、62、63则是分别设置在涂布平台I的其余三个角部。其中，在发射元件5对角设置的是反射镜61，与反射镜61短边(涂布平台I的矩形的短边)相邻的是反射镜62，与反射镜61长边(涂布平台I的矩形的长边)相邻的是反射镜63。
[0031]如图5所不,发射兀件5发出的光束依次经反射镜61、反射镜62与反射镜63反射而回到接收元件。从图5可看出，从发射元件5发出的光束，并经反射镜61、62、63反射，回到接收元件所形成的光路中，包括两个对角线的路径，因此能够以更多的机会经过涂布平台，所以可以增加检知的准确性。另外，上述光路最好是在同一平面内，也能够增加检知的准确率。且该平面最好是平行于涂布平台I的平面，且该平面的高度是介于O到升降支撑杆9的顶点之间。
[0032]本发明第一实施例的撞片防护装置，对于发射兀件5发出光束的时机，即检知时机(timing)，是升降支撑杆9上升至顶点位置时，控制涂布平台I的可编程控制器(PLC)发送信号给检知感测器，检知感测器控制发射元件5发射光束，经由反射镜61、62、63，最后回到原来位置上的接收元件，确认是否因破碎的玻璃7的干涉造成信号超过设定值的衰减或无法收到，判断无异常后，再发送控制信号给前述PLC通知下游的自动机械4可以进行取片动作。本发明中，控制信号并不局限于此。
[0033]下面简述一下本发明实施例的撞片防护方法，如图6所示，其包括以下步骤:
[0034]步骤1:涂布平台I的升降支撑杆9上升至顶点时检知感测器控制发射元件5发射一光束；
[0035]步骤2:所述光束经反射镜61、62、63依次反射；由接收元件接收反射回的光束，在上述光束的光路中，以对角线的路径经过涂布平台I两次；
[0036]步骤3:由检知感测器判断接收元件所接收到的光束相对于发射元件5发射的光束的衰减是否超过一设定值，若超过所述设定值，则发出停止自动机械4的取片动作的第一控制信号。
[0037]本实施例中，发射元件5发出的光束所经的光路，并不局限于图5所示，例如，可如图7所示,依次经反射镜61、反射镜63与反射镜62反射而回到接收元件。
[0038]第二实施例:
[0039]本实施例与第一实施例相同的地方不再赘述，本实施例与第一实施例不同的地方在于，本实施例中，发射元件5发射至少两光束，这些光束可以是相同方向，相同光路；也可以是不同方向，不同光路。对于接收元件来讲，可以不区分所接收的是哪一光束，只要总的光束衰减量超过设定值，就说明有破片发生。或者说只有所有的光束都不发生超过设定值的衰减，才可以向下游的自动机械4发出可以进行取片动作的指令。同时，本实施例中，如果接收元件能够区分从不同光路发回的光束，则不仅可以判别撞片的发生，也可以进一步的判断撞片发生的位置。
[0040]本实施例中，光束的数量例如为两个(同一发射元件5发射的)，则可分别经两不同光路而返回两不同的接收元件。且两光束的衰减均未超过设定值时，才可以发出自动机械可以进行取片动作的信号。
[0041]本发明的撞片防护方法，其发射元件5也并不局限于一个，因此有以下的实施例。
[0042]第三实施例:
[0043]本实施例与上述第一和第二实施例相同的地方不再赘述，本实施例与第一、第二实施例不同的地方在于:
[0044]本实施例中，如图8所示，发射元件有两个，反射镜有两个，接收元件也有两个。发射兀件包括第一发射兀件51 (同时也是第二接收兀件)和第二发射兀件52 (同时也是第一接收元件)，第一发射元件51发射的第一光束，经第一光路而返回第一接收元件，第二发射元件52发射的第二光束，经第二光路返回第二接收元件。
[0045]如图8所示,本实施例中,第一光路是图8中实线所示,先经过反射镜61,再经过反射镜62而反射回到第一接收元件。第二光路是图8中虚线所示，先经过反射镜62，再经过反射镜61而反射回到第二接收元件。本实施例中，两光束的衰减均未超过设定值时，才可以发出自动机械可以进行取片动作的信号。
[0046]在上述各实施例中，可视需要增加发射元件、反射镜、接收元件的数量及位置。且反射镜也可以由分光镜等反射元件来代替，反射镜或分光镜的数量例如可为2-5个。
[0047]上述各实施例中，发射元件所发射的光束,可为红外光光束或激光光束。反射元件的选取需与光束的类型相匹配。
[0048]本发明实施例的撞片防护装置及本发明实施例的涂布平台以及本发明实施例的撞片防护方法，其可以在玻璃7上升时升降支撑杆9将玻璃7顶破的状态发生时，通过发射元件、反射元件、接收元件及检知感测器，有效的检知玻璃破片，及时发送控制信号给下游的自动机械4，使其停止进行取片动作，从而避免破碎的玻璃7发生第二次破坏，将损失降低至最低，避免不必要的成本支出，可以加快涂布平台I的复归(恢复生产)时间。
[0049]本领域技术人员应当意识到在不脱离本发明所附的权利要求所揭示的本发明的范围和精神的情况下所作的更动与润饰，均属本发明的权利要求的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种撞片防护装置，用于涉及玻璃的作业平台的撞片防护，所述撞片防护装置包括: 至少一发射元件，用于发射至少一光束； 至少一反射元件，用于反射所述光束； 至少一接收元件，用于接收经所述反射元件反射的所述光束，所述光束的光路至少经过所述作业平台一次； 检知感测器，连接于所述发射元件与所述接收元件，用于判断所述接收元件所接收到的光束相对于所述发射元件发射的光束的衰减是否超过一设定值，若超过所述设定值，则发出一第一控制信号。
2.如权利要求1所述的撞片防护装置，其特征在于，所述作业平台为涂布平台。
3.如权利要求2所述的撞片防护装置，其特征在于，所述涂布平台为矩形，所述发射元件和所述接收元件设置于所述涂布平台的其中一角部。
4.如权利要求1所述的撞片防护装置，其特征在于，所述反射元件为反射镜或分光镜，数量为2-5个。
5.如权利要求3所述的撞片防护装置，其特征在于，所述反射元件为反射镜，数量为3个，分别设置在所述涂布平台的其余三个角部。
6.如权利要求2所述的撞片防护装置,其特征在于，所述光束为红外光光束或激光光束。
7.如权利要求5所述的撞片防护装置，其特征在于，位于与所述发射元件对角的反射镜为第一反射镜，与所述第一反射镜短边相邻的是第二反射镜，与所述第一反射镜长边相邻的是第三反射镜，所述光束依次经所述第一反射镜、第二反射镜与第三反射镜反射而回到所述接收元件。
8.如权利要求7所述的撞片防护装置，其特征在于，所述光束依次经所述第一反射镜、第二反射镜与第三反射镜反射形成的光路在同一平面内。
9.如权利要求8所述的撞片防护装置，其特征在于，所述涂布平台的升降支撑杆上升至顶点时所述检知感测器控制所述发射元件发射所述光束。
10.如权利要求2所述的撞片防护装置，其特征在于，所述光束的衰减超过一设定值时，发出停止自动机械的取片动作的所述第一控制信号。
11.如权利要求1所述的撞片防护装置，其特征在于，所述发射元件发射两光束，分别经两不同光路而返回两不同的所述接收元件。
12.如权利要求1所述的撞片防护装置，其特征在于，所述发射元件包括第一发射元件和第二发射元件，所述接收元件包括第一接收元件与第二接收元件，所述第一发射元件发射第一光束，经第一光路而返回至所述第一接收元件，所述第二发射元件发射第二光束，经第二光路而返回所述第二接收元件。
13.—种涂布平台，其特征在于，所述涂布平台具有权利要求1-12任一所述的撞片防护装置。
14.一种撞片防护方法，用于涉及玻璃的作业平台的撞片防护，其特征在于，所述撞片防护方法包括步骤: 步骤S1:由至少一发射元件,发射至少一光束； 步骤S2:由至少一反射元件，反射所述光束；由至少一接收元件，接收经所述反射元件反射的所述光束，所述光束的光路至少经过所述作业平台一次； 步骤S3:由连接于所述发射元件与所述接收元件的检知感测器，判断所述接收元件所接收到的光束相对于所述发射元件发射的光束的衰减是否超过一设定值，若超过所述设定值，则发出一控制信号。
15.如权利要求14所述的撞片防护方法，其特征在于，在步骤SI中，所述发射元件发射两光束，在步骤S2中，所述两光束分别经两不同光路而返回至两不同的所述接收元件。
16.如权利要求14所述的撞片防护方法，其特征在于，在所述步骤SI中，所述涂布平台的升降支撑杆上升至顶点时所述检知感测器控制所述发射元件发射所述光束。
17.如权利要求14所述的撞片防护方法，其特征在于，在所述步骤S3中，所述光束的衰减超过一设定值时，发出停止自动机械的取片动作的所述第一控制信号。
18.如权利要求17所述的撞片防护方法，其特征在于，在所述步骤S3中，还包括，各所述光束的衰减均未超过所述设定值时，发出自动机械可以进行取片动作的一第二控制信号。
【文档编号】H01L21/67GK104241162SQ201310231924
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2013年6月9日 优先权日:2013年6月9日
【发明者】黄昱嘉, 杨靖哲 申请人:上海和辉光电有限公司