太阳电池夹具用静电荷移除的制作方法

太阳电池夹具用静电荷移除的制作方法
【专利摘要】一种制造系统包含龙门架模块，具有用于将工件从传送机系统移动到工作区的末端执行器，例如，交换模块。交换模块从装载锁移除已处理的工件的矩阵且将未处理的工件的矩阵放置在其位置。接着通过龙门架模块将已处理的工件移动回到传送机。归因于操作速度，末端执行器可能累积过量静电荷。为了移除此累积电荷，接地导电刷子策略性地定位，以使得当末端执行器在正常操作期间移动时，其与刷子接触，移除末端执行器上的累积电荷，而不影响产量。在另一实施例中，当交换模块将矩阵移动到装载锁且从装载锁移动矩阵时，末端执行器在刷子上方移动。
【专利说明】太阳电池夹具用静电荷移除

【技术领域】
[0001]本发明涉及工件处置，且更明确地说，涉及在高产量应用中从工件处置设备移除静电荷。

【背景技术】
[0002]离子注入为用于将更改导电性的杂质引入到工件中的标准技术。在离子源中使所要杂质材料离子化，使离子加速以形成指定能量的离子束，且将所述离子束对准工件的表面。所述离子束中的高能离子穿透到工件材料的主体中且嵌入到工件材料的晶格中以形成具有所要导电性的区域。
[0003]离子注入已证明为用以对太阳电池掺杂的可行方法。太阳电池制造产业的两个问题为制造产量以及电池效率。电池效率测量转换为电力的太阳能的量。可能需要较高电池效率以在太阳电池制造产业中保持竞争性。然而，不能为了提高电池效率而牺牲制造产量。
[0004]使用离子注入移除现有太阳电池技术所需要的处理步骤(例如，扩散炉)。举例来说，如果使用离子注入来取代炉扩散，那么可移除激光边缘隔离步骤，这是因为离子注入将仅对所要表面掺杂。离子注入还提供执行太阳电池的整个表面的毯覆式注入或仅太阳电池的部分的选择性(或图案化)注入的能力。在高产量下使用离子注入的选择性注入避免用于炉扩散的昂贵且耗时的光刻或图案化步骤。选择性注入还实现新太阳电池设计。此外，已使用离子注入来制造具有较高电池效率的太阳电池。
[0005]因此，对离子注入器的制造产量或其可靠性的任何改进对于全世界的太阳电池制造商将为有益的。这可加速采用太阳电池作为替代能源。


【发明内容】

[0006]一种制造系统包含龙门架模块，具有用于将工件从传送机系统移动到工作区的末端执行器，例如，交换模块。所述交换模块从装载锁移除已处理的工件的矩阵且将未处理的工件的矩阵放置在其位置。接着通过所述龙门架模块将所述已处理的工件移动回到所述传送机。归因于操作速度，所述末端执行器可能累积过量静电荷。为了移除此累积电荷，接地导电刷子策略性地定位，以使得当所述末端执行器在正常操作期间移动时，其与这些刷子接触。这移除所述末端执行器上的此累积电荷，而不影响产量。在另一实施例中，当所述交换模块将矩阵移动到所述装载锁且从所述装载锁移动矩阵时，所述末端执行器在所述刷子上方移动。

【专利附图】

【附图说明】
[0007]为了更好地理解本揭示，结合了相应的附图作为参考，其中:
[0008]图1为工件处置系统的第一实施例的透视图；
[0009]图2为图1所说明的工件处置系统的第一实施例的俯视透视图；
[0010]图3为图1所说明的工件处置系统的第一实施例的侧视透视图；
[0011]图4A到图4E说明使用图1到图3所说明的工件处置系统进行的工件处置的一个实施例；
[0012]图5A到图5E说明使用图6所说明的工件处置系统进行的工件处置的实施例；以及
[0013]图6为如图1所说明的龙门架模块的实施例。

【具体实施方式】
[0014]本文中结合太阳电池工件描述工件处置系统。然而，实施例可与其它工件一起使用，例如，半导体芯片、发光二极管(light emitting d1des ;LED)、绝缘体上娃(silicon-on-1nsulator ；S0I)芯片或其它装置。工件处置系统可与离子注入器或与像沉积、蚀刻或其它工件处理系统等其它处理设备一起使用。因此，本发明不限于下文描述的具体实施例。
[0015]图1到图3所说明的示范性工件处置系统100可使用4X4工件矩阵处理大于约2000个芯片/小时(wph)。当然，可使用其它工件矩阵设计且本文中的实施例不仅限于4X 4矩阵。还可使用其它大小，例如，2X2或2X4矩阵。这些附图表示工件处置系统，下文将更详细地描述所述工件处置系统的个别组件。图1显示带模块、龙门架模块、矩阵、构建站、交换机器人以及装载锁的透视图。图2和图3分别显示这些组件的俯视图和侧视图。
[0016]此工件矩阵101可放置在具有个别狭槽或凹陷部以固持工件的承载器中。在替代实施例中，不存在用于工件的承载器。矩阵101替代地在处理之前和处理期间由机器人或其它构件处置。在此实例中，矩阵可固持在静电或机械夹钳上，或通过重力固持。
[0017]此工件处置系统100从运输盒(cassette)或其它接口转移工件，构建矩阵101，且将矩阵101移动到装载锁102中。还可通过工件处置系统100执行逆向过程以将工件转移回到运输盒或其它接口。装载锁102连接到离子注入器或某一其它处理工具。
[0018]在此实施例中，三个带模块106a、106b、106c可从运输盒运输工件。工件的运输可按指定速度、间隔或间距执行。机器人可用以将工件放置到带模块106a、106b、106c上。
[0019]接地且导电的刷子136(例如，碳纤维刷子)的数组可位于邻近带模块106之间。尽管图1到图2中仅说明这些刷子136中的一个，但可使用多个刷子136，且这些刷子136中的一个可位于邻近带模块106中的每一个之间。还可使用其它合适的导电材料。这些刷子的厚度可足以确保刷子在持久使用之后不会变形或断裂。这些刷子136可足够高以确保与末端执行器接触，但不会高到不利地接触邻近组件。在一些实施例中，刷子136比末端执行器的长度(沿着其最长尺寸)长，以使得当末端执行器105通过刷子136上方时，夹具的所有表面都被接触。当然，可使用较短数组，然而，将需要末端执行器105的额外移动以确保夹具的所有表面都接触刷子136。在夹具稍微间隔开的情况下，刷子136的数组可在其中具有对应于夹具之间的间隔的间隙。换句话说，尽管可使用刷子136的连续线性数组，但其它配置也是可能的。每一刷子136的远程用以在末端执行器105在刷子136上方移动时接触末端执行器105。每一刷子136的近端电连接到接地。
[0020]可通过将导线从刷子136连接到框架上的接地点而建立接地连接。在一个实施例中，刷子136可卷曲到金属条中。此金属条可具有接地导线可连接到的通孔或螺孔。此接地导线可为在每一末端具有合适附件(例如，环形接线片)的任何标准导电线。导线的远程可连接到工件处置设备100的框架上的合适接地位置，其可系接到接地。
[0021]在带模块106a、106b、106c的末尾，相机107以及控制器用以确定工件中的每一个的位置且用以确定在转移到矩阵101期间是否需要校正工件的位置或定向。在其它实施例中，可使用超过三个或少于三个带模块106a、106b、106c。这些带模块106a、106b、106c中的每一个可被指定用于装载或卸除工件或可用于装载和卸除两个。
[0022]龙门架模块108例如通过使用静电力、机械力或真空力从带模块106a、106b、106c抓取工件且构建矩阵101。龙门架模块108可在三个维度上移动且还可实现旋转运动。此龙门架模块108可使用来自相机107以及控制器的信息来校正工件的位置或定向。龙门架模块108还可将工件从矩阵101移除以放置到带模块106a、106b、106c上，用于转移回到运输盒或其它接口。
[0023]龙门架模块108可具有至少一个I轴致动器、一个X轴致动器、一个z轴致动器以及倾斜或旋转致动器。此提供四个自由度且实现抓放操作。龙门架模块108可在x、y和Θ (倾斜)方向上校正工件。龙门架模块108还可将工件从带模块106a、106b、106c中的任一个运输到矩阵101中的任何位置。可通过龙门架模块108执行Θ方向上的旋转或倾斜。
[0024]龙门架模块108的末端执行器105为多夹具设计，其可为矩阵101的较小版本。因此，尽管矩阵101可为4X4工件，但龙门架模块108可为1X4或某一其它设计。可通过龙门架模块108个别地或作为1X4群组来校正工件。
[0025]在操作的一个实施例中，龙门架模块108拿取已处理的四个工件且将其放置在带模块106a、106b、106c中的一个上。龙门架模块接着从带模块106a、106b、106c中的不同者取四个未处理的工件且将这些未处理的工件放置在矩阵101中。这减少了行进时间以及龙门架模块108未运输工件的时间的总量。未处理的工件可放置在矩阵101中先前处理的工件被移除之处。可重复此过程且通过龙门架模块108进行的矩阵101的组合式装载和卸除可用于整个矩阵101。当然，龙门架模块108可在将未处理的工件放置在矩阵101上之前完全卸除矩阵101。
[0026]在一些实施例中，交换模块109 (使用至少一个“交换机器人”)可用以将矩阵101放置到装载锁102中。此交换模块109可为线性致动器。交换模块109中可存在一个以上交换机器人。举例来说，这些交换机器人可固持空承载器以及满承载器。一个交换机器人在装载和卸除期间可停放在旁边。每一交换机器人可具有z轴致动器以及一个以上y轴致动器以用于刀片中的每一个。第一交换机器人可从构建站110抓取矩阵101中的未处理的工件且第二交换机器人可延伸到装载锁102中以抓取已处理的工件。将已处理的工件从装载锁102移除且将未处理的工件放置在装载锁102中。已处理的工件返回到建构站以供卸除，而未处理的工件经受注入或以其它方式处理。
[0027]矩阵101的建构可与装载锁102的抽气或通风协调。此可提高附接到装载锁102的系统(例如，离子注入器)的产量。
[0028]图6显示龙门架模块108的扩展图。龙门架模块108具有两个轨道或Y致动器120a、120b，横杆或X致动器121在所述轨道或Y致动器120a、120b上移动。在一些实施例中，伺服电动机122与齿轮箱123以及驱动轴杆124 —起定位在Y致动器120a、120b中的一个上。伺服电动机122的旋转导致驱动轴杆124的对应旋转，驱动轴杆124的旋转又导致X致动器121移动。机器人头部125位于X致动器121上。通过Y致动器120a、120b以及X致动器121的移动，机器人头部125可在X和Y方向上移动。机器人头部125还具有Z致动器126，其允许机器人头部125在必要时上下移动。
[0029]机器人头部125还具有末端执行器128。在一些实施例中，末端执行器128在其远程可包含多个夹具129。夹具129可使用任何合适的系统以用于抓取和固持工件，包含，但不限于，基于文丘里装置(Venturi device)的吸取系统以及真空系统。在一些实施例中，独立地控制每一夹具129的吸取，以使得一个夹具可能正在抓取或固持工件，而另一夹具处于非作用中。这些夹具129可按照任何配置(例如，如图6所显示的1X4线性数组)布置。在一些实施例(例如，图6所显示的实施例)中，末端执行器128可具有绕着Z轴旋转的能力，其中此旋转在本揭示中描述为倾斜或Θ轴旋转。此旋转致动器允许末端执行器(以及多个夹具)旋转，如关于图5A到图5E更详细地描述。
[0030]龙门架模块108还具有控制器(未图示)，其控制各种致动器以及夹具的移动。当然，需要时还可使用多个控制器。控制器包含处理单元、存储元件以及输入/输出模块。存储元件含有允许龙门架模块108执行本文中所描述的序列以及任何其它所要移动的指令。
[0031]末端执行器128以及夹具129各自可具有大表面积，且因此可在末端执行器128从一个位置快速移动到另一位置时易受到静电荷累积的影响。在一些实施例中，超过3000伏的静电荷可聚集在夹具129上。此聚集的电荷倾向于吸引工件且使得工件的释放较困难，这是因为工件倾向于保持附接到夹具129，即使在不存在将工件固持于适当位置的任何吸取力时也这样。如先前所描述，接地导电刷子(例如，碳纤维刷子)可并入于系统100中，例如，在邻近带模块106a、106b、106c之间。如下文将更详细地描述，末端执行器128移动以使得夹具129接触图1到图2所说明的刷子136，进而按需要移除聚集的静电荷。为了保护工件，末端执行器128的运动使得仅当夹具129不承载工件时与刷子136进行接触。
[0032]描述龙门架模块108的结构组件之后，将描述其操作以及与刷子136的交互。图4A到图4E说明使用图1到图3所说明的工件处置系统进行的工件处置的一个实施例。在图4A中，可作为图6的龙门架模块108的部分的末端执行器128位于第一带模块106c上方。这是通过如上文所描述移动X致动器121以及Y致动器120a、120b而进行。在此实施例中，刷子136的数组设置在带模块106b与带模块106c之间。
[0033]在此时，矩阵101可含有按4X4布置的十六个已处理的工件201。其它布置也可在本揭示的范围内。一个带模块(在此实例中为带模块106a)含有未处理的工件202(在图4A的实施例中标为阴影)。
[0034]在图4B中，龙门架机器人头部，更具体地说，末端执行器128，从其先前位置移动且定位在矩阵101上方。末端执行器128接着从矩阵101的一行抓取四个已处理的工件。龙门架模块108可在已处理的工件201已被夹取或抓取之后校正已处理的工件201的位置或倾斜。在其它实施例中，龙门架模块108在工件被抓取之前校正工件的位置或倾斜。举例来说，在一个实施例中，龙门架模块108使用相机107 (如图1中所见)来确定第一已处理的工件201a的倾斜。末端执行器128将接着抓取已处理的工件201a。龙门架模块108将接着利用相机107 (如图1中所见)来确定第二已处理的工件201b的位置和倾斜。龙门架模块108将接着使正固持已处理的工件201a的末端执行器旋转，以与已处理的工件201b对准。一旦对准，末端执行器将抓取第二已处理的工件201b。龙门架模块108可重复此序列，直到末端执行器128的每一夹具129已抓取已处理的工件201为止。
[0035]在图4C中，龙门架机器人200已将四个已处理的工件201运输到带模块中的一个(在此状况下为带模块106c)以供卸除。由于末端执行器128正在运输工件，因此其以足以确保已处理的工件201不会接触刷子136的垂直高度行进。通过使用Z致动器126，可按需要将末端执行器128维持于各种高度。一旦末端执行器128定位在带模块106c上方,其便放置已处理的工件201。在已处理的工件201在被抓取时对准的状况下，末端执行器128简单地将已处理的工件201放置在带模块106c上。
[0036]在图4D中，在放置已处理的工件201之后，龙门架模块108将末端执行器128定位在设置在带模块106a上的未处理的工件202上方，且抓取这些未处理的工件202。在从带模块106c移动到带模块106a时，末端执行器128可维持在允许末端执行器128，明确地说，夹具129，接触刷子136的垂直高度。由于夹具129未被占用，因此不存在对工件的损坏的风险。由于这些刷子136接地，因此与夹具129的接触从夹具129移除聚集的电荷。
[0037]在图4E中，龙门架模块107移动机器人头部且将四个未处理的工件202放置到矩阵101中。可能已使用带模块106a、106b、106c中的一个将卸除的已处理的工件201移除到运输盒或其它界面。可将更多未处理的工件202装载到带模块106a、106b、106c中的一个上。重复此转移过程直到已处理的工件201从矩阵101卸除且未处理的工件202已装载到矩阵101中为止。
[0038]图5A到图5E显示运输工件的第二实施例。在此实施例中，可作为图6的龙门架模块108的部分的末端执行器128从矩阵101转移四个已处理的工件201且将这四个已处理的工件201放置在带模块106a、106b、106c中的一个上。然而，末端执行器128在从矩阵101抓取已处理的工件201与将那些已处理的工件201放置在带模块106a、106b、106c上之间旋转90° (或-90° )，如图5B到图5C所显示。类似地，末端执行器128在将未处理的工件202从带模块106a、106b、106c转移到矩阵101时旋转90° (或-90° )，如图到图5E所显示。如前所述，可在正抓取或放置工件时进行对准，且可在带模块106a、106b、106c、矩阵101或两个位置处执行此对准。在此实施例中，末端执行器128在图5C与图所显示的位置之间移动时以确保与刷子137接触的垂直高度行进。在所有其它时间，末端执行器128以足以避免刷子136的垂直高度行进。
[0039]应注意，尽管将刷子136说明为设置在带模块106c与带模块106b之间，但本发明不限于此实施例。举例来说，刷子还可放置在带模块106a与带模块106b之间。在一些实施例中，导电刷子136可设置在两个位置。将导电刷子设置在这些位置的一个益处为末端执行器128的移动的效率。在图4A到图4E以及图5A到图5E所说明的两个实施例中，在正常操作期间，末端执行器128在不承载任何工件时周期性地通过刷子136的位置上方。因此，不需要特别移动来迫使末端执行器128以及夹具129与刷子136进行接触。
[0040]因此，在这些实施例中，导电刷子136设置于末端执行器128在正常操作期间在上方通过的区域中。在这些实施例中，末端执行器128在承载工件时以第一垂直高度在刷子136上方行进，且在不承载工件时以小于第一垂直高度的第二垂直高度行进。以此方式，末端执行器128不将刷子136与工件接触，所述接触原本会损害工件的移去。
[0041]当然，刷子136可设置在其它位置。举例来说，刷子136可设置在带模块106c的外边缘(即，远离带模块106b)。在此实施例中，末端执行器128必须特定地移动到此区域以便保证夹具129与刷子136之间的接触。然而，由于末端执行器128不通过在此位置的刷子136上方，因此末端执行器128不必以不同垂直高度移动，如上文所描述。
[0042]应注意，尽管附图显示工件处置设备的特定实施例，但本揭示不限于此实施例。末端执行器的运动导致聚集静电荷的任何机器人系统可经修改以包含本文中描述的刷子。
[0043]举例来说，机器人系统可具有工件来源以及目的地，其中机器人将工件从来源移动到目的地。当机器人朝来源移动以提取工件时，其可接触刷子。当机器人承载着工件朝目的地返回移动时，其避免刷子。
[0044]在另一实施例中，机器人系统可具有来源、目的地以及工作区，以使得机器人将工件从来源移动到工作区，且接着从工作区移动到目的地。在此之后，机器人系统可移动到来源以提取另一工件。因此，当机器人从目的地移动到来源时，其不承载工件且因此可接触刷子。
[0045]因此，在一些实施例中，机器人系统的末端执行器在从目的地移动到来源时接触刷子。在这些实施例中，末端执行器可移动以在任何其它移动期间避免刷子。可通过改变末端执行器的垂直高度来避免刷子，或通过修改其路径以避免导电刷子。
[0046]在一些实施例(例如，图4A到图4E以及图5A到图5E所显示的实施例)中，来源与目的地可为同一区。在此实施例中，末端执行器在从目的地(即，放置已处理的工件的位置)移动到来源(即，抓取未处理的工件的位置)时仍接触刷子。另外，在其它移动中，可通过改变末端执行器的垂直高度来避免刷子，或修改末端执行器的路径以避免刷子。
[0047]在另一实施例中，末端执行器在空闲时间期间在刷子136上方移动。举例来说，返回参看图1，末端执行器105将工件从带模块106a、106b、106c移动到矩阵110。一旦矩阵填满，交换机器人109便将那个矩阵110移动到装载锁102且提取先前处理的矩阵。当此动作正在发生时，末端执行器105为闲置的，这是因为其不能将工件移动到矩阵110。空闲时间定义为工件正在工作区113中被处理而使得不能放置工件或从工作区113移除工件的时间。
[0048]在末端执行器105已将所有工件移动到工作区113之后，且当工件正被处理而使得工作区113不可使用时，末端执行器105在刷子136上方移动。在一些实施例中，末端执行器105通过刷子上方或扫掠过刷子多次，每一次都与刷子接触，以移除静电荷。在其它实施例中，末端执行器105移动到其与刷子接触且在与刷子136接触的同时保持固定的位置。
[0049]在一些实施例中，移除静电荷的整个过程完全在空闲时间内发生，以使得产量完全不受影响。换句话说，在将最后一个工件放置在矩阵110上之后，末端执行器105在刷子上方移动。末端执行器105接着在已处理的矩阵已被提取且放置在工作区113之前返回到工作区113。在其它实施例中，移除静电荷的过程至少部分在空闲时间期间发生，以使得末端执行器105在已处理的工件已被递送之后返回到工作区113。
[0050]在此实施例中，刷子137可位于末端执行器105可到达的任何位置。换句话说，刷子136可处于带模块106c的外边缘上,或定向在垂直于带模块106的方向上。如关于其它实施例所描述，末端执行器105在不承载任何工件时接触刷子136。在一些实施例中，末端执行器105在每一足够长的空闲时间期间在刷子136上方移动。在其它实施例中，末端执行器105不会在每一空闲时间期间在刷子上方移动。可基于电荷在末端执行器105上聚集的速率来确定频率。
[0051]尽管上述实例将交换机器人109的使用说明为用以在工作区113中处理工件的机器人，但本发明不限于此实施例。空闲时间定义为使工作区113对于末端执行器不可用的任何处理步骤。
[0052]在其它实施例中，使用用于移除电荷的两个方案。换句话说，末端执行器105在空闲时间期间移动到刷子136，且在正常操作期间也接触刷子。
[0053]使用接地导电刷子与现有技术做法相比对于静电聚集具有优点。在现有技术中，系统利用吹除系统，借此通过夹具将正压力施加到工件以从夹具移除工件。此系统需要额外组件来将气体管线供应到每一夹具。另外，用以将工件从夹具吹除的压力负面地影响那些工件的放置的准确性。本系统不需要夹具以及末端执行器系统的复杂性的任何增加，且维持工件放置的较大准确性。
[0054]本揭示在范围上不受本文中描述的具体实施例限制。实际上，除本文中描述的实施例之外，根据上述描述和随附附图，本揭示的其它各种实施例和修改对于所属领域的技术人员而言将为明显的。希望这些其它实施例和修改落入本揭示的范围内。此外，尽管本文中已在特定实施方案的上下文中在特定环境中针对特定目的描述了本揭示，但所属领域的技术人员应认识到，其用处不限于此且本揭示可有益地在任何数目个环境中针对任何数目个目的而实施。因此，本文阐述的权利要求书应鉴于如本文中描述的本揭示的全宽度和精神来解释。
【权利要求】
1.一种工件处置系统，包括用于将多个工件从第一位置移动到第二位置的龙门架模块，所述龙门架模块包括: 末端执行器，具有用于抓取所述工件的一个以上夹具； 致动器，移动所述末端执行器；以及 刷子，接地且导电，位于所述末端执行器可到达的位置。
2.根据权利要求1所述的工件处置系统，其中所述刷子包括碳纤维。
3.根据权利要求1所述的工件处置系统，其中所述第一位置包括一个以上带模块，且所述刷子邻近于所述一个以上带模块。
4.一种从工件处置系统的末端执行器移除静电荷的方法，包括: 使用所述末端执行器来从来源抓取工件； 将具有所述工件的所述末端执行器移动到工作区； 将所述工件放置在所述工作区中； 当所述工件正在所述工作区中被处理时，移动所述末端执行器以便使接地且导电的刷子与所述末端执行器接触。
5.根据权利要求4所述的方法，其中所述末端执行器在所述工件完成所述工作区中的处理之前返回到所述工作区。
6.根据权利要求4所述的方法，还包括使用机器人将所述工件从所述工作区移动到装载锁，以从所述装载锁提取已处理的工件，且将所述已处理的工件放置在所述工作区中。
7.根据权利要求6所述的方法，其中所述末端执行器返回到所述工作区以抓取所述已处理的工件。
8.根据权利要求7所述的方法，其中所述末端执行器在所述已处理的工件放置在所述工作区中之前返回。
9.一种从工件处置系统的末端执行器移除静电荷的方法，包括: 使用所述末端执行器来从来源抓取工件； 将具有所述工件的所述末端执行器移动到一位置； 将所述工件放置在所述位置； 返回到所述来源以提取第二工件；以及 当正移动到所述来源且在所述末端执行器不承载工件时，使接地且导电的刷子与所述末端执行器接触。
10.根据权利要求9所述的方法，其中所述末端执行器在移动到所述位置时以第一垂直高度行进，且在返回到所述来源时以小于所述第一垂直高度的第二垂直高度行进。
11.根据权利要求9所述的方法，其中所述位置为目的地。
12.根据权利要求9所述的方法，其中所述位置为工作区，且所述方法还包括在返回到所述来源以提取第二工件之前将工件从所述工作区移动到目的地。
【文档编号】H01L21/677GK104508814SQ201380038318
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2013年7月17日 优先权日:2012年7月22日
【发明者】杰森·夏勒, 罗伯特·布然特·宝佩特 申请人:瓦里安半导体设备公司