技术总结
本发明的粘晶装置包括：平台52，相对于台座41可沿Y轴方向移动地设置；以及第1反作用构件58A及第2反作用构件58B，分别相对于台座41可沿Y轴方向移动地设置；第1反作用构件58A及第2反作用构件58B构成为在平台52沿Y轴方向移动时，分别在Y轴方向上与平台52反向地移动，第1反作用构件58A及第2反作用构件58B以平台52为间隔而分别配置于X轴方向的两侧，并且第1反作用构件58A及第2反作用构件58B以第1反作用构件58A及第2反作用构件58B的重心成为基于平台52的重心的位置的方式配置。由此，提供一种可抑制空间的增加并且改善台座中的重量平衡的粘晶装置。
技术研发人员：角谷修;田泽秀博;辻正人
受保护的技术使用者：株式会社新川
文档号码：201480078159
技术研发日：2014.09.30
技术公布日：2016.12.14