技术总结
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种掩膜板夹持机构，包括承片台及沿周向均布于承片台上的多个四杆机构，四杆机构包括底座、从动摆块、驱动摆块及压块，底座安装在承片台上，从动摆块的一端铰接在底座上，另一端与驱动摆块的一端铰接，驱动摆块的另一端铰接于压块上，压块的一端铰接在底座上，另一端安装有垫片；底座上开有凹槽，掩膜板放在各四杆机构的底座上的凹槽内，通过凹槽限制掩膜板的径向和周向自由度，垫片通过四杆机构的带动压在掩膜板上，锁死掩膜板的轴向自由度。本发明保证了中心工艺区域不接触其他任何物体，满足了正反两面都能进行清洗工艺处理的要求，全方位的固定形式保证了不会出现偏移和飞片等破坏性现象。
技术研发人员：王一;谷德君
受保护的技术使用者：沈阳芯源微电子设备有限公司
文档号码：201510424699
技术研发日：2015.07.17
技术公布日：2017.01.25