半导体器件耐压结构的制作方法

文档序号:11101884阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种半导体器件耐压结构,该半导体器件耐压结构包括用于布置高压互联线的高压互联区域,且该高压互联区域下方依次为金属层、介质层、场氧化层、漂移区除有源区之外的区域,该半导体器件耐压结构还包括若干导体场板、若干半绝缘电阻场板。其中,导体场板位于半绝缘电阻场板的上方,且导体场板处于介质层中。所有半绝缘电阻场板均与场氧化层相邻。导体场板与半绝缘电阻场板构成若干电容器,且任一电容器至少能与另一电容器传送能量。该半导体器件耐压结构在整体上减小了漂移区表面承受的高压,提高了半导体器件的击穿电压,使得半导体器件能够在更高的电压下工作。

技术研发人员:顾炎;宋华;张森
受保护的技术使用者:无锡华润上华半导体有限公司
文档号码:201510713750
技术研发日:2015.10.28
技术公布日:2017.05.10

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1