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清洗装置、清洗系统、清洗方法以及清洗系统中的控制方法与流程
文档序号:11142542
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来源:国知局
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清洗装置、清洗系统、清洗方法以及清洗系统中的控制方法与制造工艺
技术总结
清洗装置(30)为,通过清洗气体对保存被保存物的保存容器(F)的内部进行清洗处理,具备:载放保存容器的多个载放部(31);向载放于载放部的保存容器供给清洗气体的多个供给管(33);连接多个供给管并且向多个供给管供给清洗气体的主管(41);以及对主管中的清洗气体的流量进行调节的MFC(43)。
技术研发人员:
村田正直;山路孝;大西真司
受保护的技术使用者:
村田机械株式会社
文档号码:
201580028389
技术研发日:
2015.04.22
技术公布日:
2017.02.15
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