技术总结
包括沟槽引导式光纤的基板温度控制设备。基板温度控制设备包括上部和下部构件(其中一者或两者包括沟槽)及多个在沟槽中被引导的光纤。在一个实施方式中，这些光纤适于提供基于光的像素化加热。在另一个实施方式中，嵌入式光温度传感器适于提供温度测量。描述了基板温度控制系统、电子器件处理系统、及包括沟槽引导式光纤温度控制和测量的方法作为许多其它的构想。
技术研发人员：马修·巴斯彻;小温德尔·博伊德;德米特里·A·季利诺;维贾伊·D·帕克赫;迈克尔·R·赖斯;利昂·沃尔福夫斯基
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201580032721
技术研发日：2015.06.12
技术公布日：2017.02.22