具有硅衬底的光电子模块以及此类模块的制造方法与流程

技术总结
光电子模块包括其中或其上具有光电子装置的硅衬底。光学组件设置在所述光电子装置之上，并且间隔物将所述硅衬底与所述光学组件分开。还描述了制造此类模块的方法。

技术研发人员：哈特穆特·鲁德曼;马里奥·切萨纳;珍妮斯·盖格;彼得·伦琴;文森佐·孔多雷利
受保护的技术使用者：赫普塔冈微光有限公司
文档号码：201580048491
技术研发日：2015.08.18
技术公布日：2017.05.31