技术总结
本发明提供一种LTPS阵列基板及制造方法、显示面板，该方法包括：提供具有半导体层的基体；在半导体层表面形成第二缓冲层，第二缓冲层用于保证杂质离子注入到半导体层的表层；在包含第二缓冲层的基体上进行沟道掺杂，注入杂质离子。本发明能够减少现有技术LTPS工艺中出现的NTFT和PTFT间阈值电压差变小的情况，提高TFT器件的可靠性。
技术研发人员：黄奔
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201610674042
技术研发日：2016.08.16
技术公布日：2017.01.04