1.一种基板移送系统,包括:
第一移送轨道,形成闭环;
多个工序单元,连接于所述第一移送轨道;以及
基板移送单元,沿着所述第一移送轨道移动,将基板移送至所述多个工序单元中的各个工序单元,
其中,所述基板移送单元抓持形成于所述基板一侧的抓持用虚拟区域而将所述基板以直立的状态移送。
2.如权利要求1所述的基板移送系统,其中,
所述基板移送单元包括:
主体;
辊子部,结合于所述主体的一侧,能够沿着所述第一移送轨道移动;以及
夹紧部,结合于所述主体的另一侧,抓持所述基板的所述抓持用虚拟区域。
3.如权利要求2所述的基板移送系统,其中,
所述夹紧部包括:
第一紧固板,固定结合于所述主体;
第二紧固板,与所述第一紧固板相向;
贯通销,贯穿所述第一紧固板,并固定结合于所述第二紧固板;
弹性部件,与所述贯通销结合,使所述第一紧固板和所述第二紧固板彼此紧贴;以及
汽缸,结合于所述第一紧固板或者第二紧固板,以调节所述第一紧固板和第二紧固板之间的间距;
其中,所述抓持用虚拟区域被抓持在所述第一紧固板和第二紧固板之间。
4.如权利要求2所述的基板移送系统,其中,
所述基板移送单元还包括:
电源供应部,从沿着第一移送轨道布置的电源电缆得到电源供应。
5.如权利要求1所述的基板移送系统,其中,还包括:
第一保管单元,连接于所述第一移送轨道,能够保管被所述基板移送单元移送的所述基板。
6.如权利要求5所述的基板移送系统,其中,
所述第一保管单元包括:
多个盒,将所述基板以直立的状态保管;以及
第一装载机,使所述基板从所述基板移送单元移动至所述多个盒。
7.如权利要求6所述的基板移送系统,其中,
所述多个盒分别包括:
吸附部,结合到所述基板的所述抓持用虚拟区域;以及
支撑部,支撑所述基板的下侧。
8.如权利要求6所述的基板移送系统,其中,
所述第一装载机包括:
第一板;以及
第一吸附盘,位于所述第一板的一侧,与所述基板接触。
9.如权利要求1所述的基板移送系统,其中,
所述多个工序单元还分别包括:
第二装载机,从所述基板移送单元分离所述基板。
10.如权利要求9所述的基板移送系统,其中,
所述第二装载机包括:
第二板;
第二吸附盘,位于所述第二板的一侧,与所述基板接触;
基板弯曲防止板,以所述基板为中心,位于所述第二吸附盘的相反侧,并在所述第二吸附盘和所述基板接触时,支撑所述基板。
11.如权利要求10所述的基板移送系统,其中,
所述第二装载机还包括:空气排出部,结合于所述基板弯曲防止板,向所述基板排出空气。
12.如权利要求1所述的基板移送系统,其中,还包括:
气流控制单元,对应于所述第一移送轨道而布置,所述基板移送单元在所述气流控制单元的内部移动。
13.如权利要求12所述的基板移送系统,其中,
所述气流控制单元包括:
壳体,所述基板移送单元在所述壳体内部移动;
风扇-过滤器部,布置在所述壳体的上侧;以及
气流排出部,布置在所述壳体的下侧,将所述壳体内部的气流排出到所述壳体的外部。
14.如权利要求1所述的基板移送系统,其中,还包括:
第二移送轨道,位于所述第一移送轨道的外侧或者内侧,与所述第一移送轨道连接,并且形成闭环。
15.如权利要求14所述的基板移送系统,其中,还包括:
第二保管单元,连接于所述第二移送轨道,能够保管被所述基板移送单元移送的所述基板。