技术总结
本发明提供一种太阳能电池片刻蚀设备及制作方法，所述设备包括第一碱槽、第一水槽、氢氟酸槽及第二水槽；所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液，在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光，以去除所述电池片背面的PN结；所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液；所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃；所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。本发明的太阳能电池片刻蚀设备及制作方法可以取消硝酸的使用，从而不需产生含氮废水，减少了对水资源的污染，并降低了废液处理成本，同时还具备RENA刻蚀所具有的边缘刻蚀、背抛光、去PSG(磷硅玻璃)的作用，其中所述边缘刻蚀通过激光刻蚀法实现。
技术研发人员：柯希满;童锐;杨大谊
受保护的技术使用者：太极能源科技（昆山）有限公司
文档号码：201610954077
技术研发日：2016.10.27
技术公布日：2017.02.22