一种石墨烯射频天线及其制备方法与流程

文档序号:12276097阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石墨烯射频天线,其特征在于,包括:衬底(1)、绝缘层(2)、馈电传输线(3)、接地电极(4)以及辐射贴片(5);

所述绝缘层(2)覆盖于所述衬底(1)上;

所述馈电传输线(3)与辐射贴片(5)相连,覆盖于所述绝缘层(2)上;

所述接地电极(4)覆盖于所述绝缘层(2)上;

所述馈电传输线(3)与所述接地电极(4)共面,共同组成共面波导馈电结构;

所述辐射贴片(5)是石墨烯贴片。

2.根据权利要求1所述的石墨烯射频天线,其特征在于,所述辐射贴片(5)的长度范围为1190微米~1210微米,宽度范围为1662微米~1682微米,厚度为10纳米。

3.根据权利要求1所述的石墨烯射频天线,其特征在于,所述衬底(1)为2厘米×2厘米,厚度为600微米的本征硅衬底。

4.根据权利要求1所述的石墨烯射频天线,其特征在于,所述绝缘层(2)为2厘米×2厘米,厚度为300纳米的二氧化硅绝缘层。

5.一种如权利要求1至4任一项所述的石墨烯射频天线的制备方法,其特征在于,包括:

在衬底(1)上沉积二氧化硅薄膜得到绝缘层(2);

将石墨烯转移至所述绝缘层(2)上;

将已经转移的石墨烯刻蚀成辐射贴片(5);

为所述辐射贴片(5)添加馈电传输线(3),在绝缘层上沉积接地电极(4),形成一个石墨烯射频天线。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述在衬底(1)上沉积二氧化硅薄膜得到绝缘层(2),包括:

通过等离子体增强化学气相沉积PECVD方法,在所述硅衬底(1)上沉积二氧化硅薄膜,得到所述绝缘层(2)。

7.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述将已经转移的石墨烯刻蚀成辐射贴片(5),包括:

将已经转移的石墨烯,通过紫外光刻以及感应耦合等离子体刻蚀ICP技术刻蚀成辐射贴片(5)。

8.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述为所述辐射贴片(5)添加馈电传输线(3),在绝缘层上沉积接地电极(4),形成一个石墨烯射频天线,包括:

通过紫外光刻为所述辐射贴片(5)添加馈电传输线(3),通过磁控溅射技术在绝缘层上沉积接地电极(4),形成一个石墨烯射频天线。

9.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述辐射贴片(5)的长度范围为1190微米~1210微米,宽度范围为1662微米~1682微米,厚度为10纳米。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1