一种将纯净超薄二维材料置于堆垛顶层的方法与流程

文档序号:11136417阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种将高质量、超平整、纯净无胶残留的超薄(最低至单原子层)二维材料置于堆垛平面异质结顶层的方法,该方法为将二维材料转移至粘性聚合物表面,重复多次后,获得二维堆垛异质结构;将表面粘有异质结构的粘性聚合物进行机械分离,置于基片上,使堆垛结构融留且呈倒置状态,进行真空退火等工艺,将压在材料底部的聚合物全部挥发,完成将超薄二维材料置于堆垛材料顶层并放置于目标基片上的目的。该方法工艺简单,操作简便快捷,能够在保证超薄二维材料平整、纯净的同时,有效地将超薄(低至单原子层)二维材料置于堆垛顶层。

技术研发人员:韩拯;张志东;李小茜;刘卫来;陈茂林
受保护的技术使用者:中国科学院金属研究所
文档号码:201611077701
技术研发日:2016.11.30
技术公布日:2017.02.15

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