一种刻蚀浆料及刻蚀方法与流程

文档序号:12128612阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种刻蚀浆料,包括:30%~60%的有机聚合物,5%~30%的刻蚀剂,5%~20%的有机粘结剂,10%~30%的有机溶剂和5%~10%的助剂,所述有机聚合物为聚甲基丙烯酸甲酯、聚甲基戊二酰亚胺和光刻胶中的一种或多种;所述刻蚀剂为酸性刻蚀剂或碱性刻蚀剂。与现有技术相比,采用本发明的刻蚀浆料能够刻蚀出线宽在20微米以下的细线宽图形,有利于提高电池效率。本发明还提供了一种刻蚀方法,本发明提供的刻蚀方法操作简单、易行,在制备出细线宽图案的同时降低了刻蚀技术的复杂性,便于大规模产业化应用。

技术研发人员:福克斯·斯蒂芬;吴慧敏;金浩;张昕宇;刘明;郝彦磊;揭晓东
受保护的技术使用者:浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
文档号码:201611219885
技术研发日:2016.12.26
技术公布日:2017.03.22

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