蚀刻设备及其卷式收料装置的制作方法

本实用新型涉及一种成型设备，尤其涉及一种蚀刻设备及其卷式收料装置。

背景技术：

现有的诸如集成电路引线框架在制作过程中，通常都会通过精密冲压的方式在料带上形成通孔或引脚等。冲压的方式一定程度上的满足了引线框架的制作需求。然而，随着电子技术的飞速发展，集成电路的体积越来越小，引脚的数量越来越多。此时，如果仍然采用传统的冲压方式进行成型，模具的花费非常高昂。因此，有必要采用新的技术来替代。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的蚀刻设备及其卷式收料装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种蚀刻设备用卷式收料装置，包括机架以及安装于该机架上的至少一个收料单元，该至少一个收料单元包括第一滚轮、第二滚轮、第三滚轮以及第一驱动装置；该第一滚轮、第二滚轮以及第三滚轮呈三角形布置，而界定出一个卷盘收容空间，以供卷盘可拆卸地收容于其中；该第一驱动装置与该第一滚轮、第二滚轮和第三滚轮中的一个相连接，以驱动收容于该卷盘收容空间中的卷盘旋转。

在一些实施例中，所述第一滚轮和所述第二滚轮前后间隔地布置在所述机架中，以承托所述卷盘下部；所述第三滚轮设置于所述第一滚轮和所述第二滚轮的上方，以抵压在所述卷盘的顶部；所述驱动装置与所述第一滚轮相连接。

在一些实施例中，所述第三滚轮安装于所述机架上，并能够在一个第一位置和一个第二位置之间来回切换；在第一位置上，该第三滚轮将所述卷盘收容空间闭合；在第二位置上，该第三滚轮将所述卷盘收容空间敞开，让所述卷盘能够出入该卷盘收容空间；该收料单元还包括第二驱动装置，该第二驱动装置与该第三滚轮相连接，以驱动该第三滚轮在该第一位置和第二位置之间来回切换。

在一些实施例中，所述第三滚轮通过L型连接机构转动连接于所述机架上，该L型连接机构的中部枢接于机架上，所述第三滚轮安装于该L型连接机构的第一端，该L型连接机构的第二端与该第二驱动装置相连接；所述第二驱动装置包括伸缩式驱动装置，该伸缩式驱动装置一端铰接在所述机架上，另一端与所述L型连接机构的第二端相铰接。

在一些实施例中，所述至少一个收料单元包括至少一组收料单元，所述机架包括至少一根第一转轴和至少一根第二转轴，该至少一组收料单元中的每一收料单元的第一滚轮均套设于该第一转轴上，该至少一组收料单元中的每一收料单元的第二滚轮均套设于第二转轴上。

在一些实施例中，所述机架包括第三转轴，所述至少一组收料单元中的每一收料单元的L型连接机构均套设于该第三转轴上。

在一些实施例中，所述至少一组收料单元包括至少二组收料单元，该至少二组收料单元上下错开设置。

在一些实施例中，所述收料单元包括设置于所述卷盘上游的至少一个导向轮以及设置在所述至少一个导向轮上游的至少一个分隔件，该至少一个导向轮用于将料带导引给对应的卷盘，该至少一个分隔件用于对料带进行隔离。

在一些实施例中，该卷式收料装置还包括缓冲感应装置，以感测上游来料的速度；该缓冲感应装置包括纵长的基座以及平行间隔地竖立在该基座顶部的若干根立柱；每相邻两根立柱之间形成一个间隔，供对应的料带下垂穿过；每个间隔的两侧均布置有一对感应件，以感应料带下垂的位置。

提供一种蚀刻设备，依序包括卷式放料装置、片料放料装置、显影装置、拉料装置、蚀刻装置、片式收料装置以及上述任一项所述中的卷式收料装置。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过三个滚轮和一个驱动装置相结合组成收料单元，可以很好地解决蚀刻设备中的卷料的收料需求。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一些实施例中的蚀刻设备的侧视图；

图2是图1所示蚀刻设备的俯视图；

图3是图2所示卷式收料装置的结构示意图；

图4是图3所示卷式收料装置的立体结构示意图；

图5是图3所示卷式收料装置另一角度上的立体结构示意图；

图6是图3所示卷式收料装置剖面结构示意图；

图7是图3所示卷式收料装置的缓冲感应装置的立体结构示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

本实用新型一些实施例提供了一种蚀刻设备，该蚀刻设备可用于诸如集成电路引线框架等结构的蚀刻成型，具备成型精度高、成本低廉的优点。另外，本蚀刻设备还能实现卷对卷(卷料进卷料出)、卷对片(卷料进片料出)以及片对片(片料进片料出)等多功能，极大地满足了用户的不同需求。

如图1及图2所示，本实用新型一些实施例中的蚀刻设备可依序包括卷式放料装置A、输送辊道B、校平装置C、拉料装置D、显影装置E、第一水洗装置F、第一烘干装置G、蚀刻装置H、第二水洗装置I、剥离装置J、第三水洗装置K、第二烘干装置L、片式收料装置M以及卷式收料装置N。

卷式放料装置A用于承载并平稳放出卷料，该卷料可为按照需要曝光后的材料。可以理解地，在一些实施例中也可以把曝光设备整合到蚀刻设备，从而可以在蚀刻设备中进行曝光。该输送辊道B大致贯穿整个蚀刻设备，以将料带或片料由上游向下游平稳输送，该输送辊道B可包括一个可敞开的前端，以供片料放入，形成片料放料装置。校平装置C可布置在该片料放料装置的紧邻下游，用于对料带进行校平，防止料带不够平整而影响到后续的蚀刻效果。拉料装置D用于拉动料带驱动料带向下游行进，使得卷料被蚀刻呈片料时，料带仍然能够很好地移动。显影装置E用于对曝光后的料带或片料进行显影。第一水洗装置F用于对显影后的料带或片料进行清洗，防止显影药水被带入下游的蚀刻装置H中，而对蚀刻装置H内药水造成污染。第一烘干装置G用于对清洗后的料带进行烘干，在一些实施例中，在第一水洗装置F和第一烘干装置G之间还设置有吸水装置P。蚀刻装置H用于对显影后的料带或片料进行蚀刻，以形成需要的成型结构；蚀刻装置H可以将料带蚀刻成片料。第二水洗装置I用于对蚀刻后的料带或片料进行清洗，剥离装置J用于对清洗后的料带或片料上的菲林膜进行剥离，并具备菲林膜废渣回收功能，以节约剥离药水的使用。第三水洗装置K用于对剥离菲林膜的料带或片料进行清洗，第二烘干装置L则用于对清洗后的料带或片料进行烘干；同样，第三水洗装置K和第二烘干装置L之间也可以设置吸水装置P。片式收料装置M用于收取片料，卷式收料装置N用于收取卷料。

在上述的蚀刻设备中，由于同时具备了卷式放料装置A、片料放料装置、显影装置E、拉料装置D、蚀刻装置H、片式收料装置M以及卷式收料装置N，使得该蚀刻设备具备卷对卷、卷对片以及片对片三种蚀刻成型模式。具体而言，当需要卷料进和卷料出时，则只要片料放料装置和片式收料装置M不工作即可。当需要卷料进和片料出时，只要卷式收料装置N不工作即可。而当需要片料进和片料出时，只要卷式放料装置A和卷式收料装置N不工作即可。如此，该蚀刻设备为用户的使用带来了极大的便利。

如图3至图5所示，卷式收料装置N在一些实施例中可包括机架1以及安装于机架1上的多个收料单元2，这些收料单元2可分成两组，且该两组收料单元2上下错开设置，以实现一备一用(即一组使用，另一组备用)。每一组收料单元2均并排布置在机架1的宽度方向上，以收卷来自上游的多条料带。

如图所示，机架1在一些实施例中可包括底座11、第一侧板12、第二侧板13以及若干横梁14，底座11可呈矩形框体构造。第一侧板12和第二侧板13分别设置在底座11顶部的两相对侧上，且彼此相平行。该若干横梁14与底座11相平行，并将第一侧板12和第二侧板13相固定连接。底座11、第一侧板12和第二侧板13一道界定出一个收容腔，这些收料单元2则收容在该收容腔中。机架1在一些实施例中可包括踏台18，以供操作人员可以踩踏于其上。优选地，第一侧板12和第二侧板13可呈对称的阶梯状，以便两组收料单元2能够一上一下，一前一后地错开布置，充分利用空间。

一同参阅图6，每一个收料单元2包括卷盘20、第一滚轮21、第二滚轮22、第三滚轮23以及第一驱动装置24，第一滚轮21、第二滚轮22以及第三滚轮23呈三角形布置，而界定出一个卷盘收容空间，该卷盘20可拆卸地收容于该卷盘收容空间中。第一驱动装置24在一些实施例中可为电机组件，其可包括电机以及与电机的输出轴相连接的齿轮系，该齿轮系与该三个滚轮中的一个相连接，以为卷盘20旋转提供动力。优选地，该第一驱动装置24与第一滚轮21相连接，以更好地利用空间。

在一些实施例中，第一滚轮21和第二滚轮22前后间隔地布置在机架1中，以起到承托卷盘20下部的作用；第三滚轮23设置于第一滚轮21和第二滚轮22的上方，以抵压在卷盘20的顶部。驱动装置24优选地与第一滚轮21相连接，以驱动第一滚轮21转动，进而让第一滚轮21驱动卷盘20转动，实现卷料作业。在一些实施例中，机架1包括第一转轴15和第二转轴16，第一滚轮21和第二滚轮22分别套设于第一转轴15和第二转轴16上。

在一些实施例中，第三滚轮23安装于机架1上，并能够在一个第一位置和一个第二位置之间来回切换；在第一位置上，第三滚轮23与卷盘20相抵，防止卷盘20从该卷盘收容空间脱出，也即该第三滚轮23将卷盘收容空间闭合；在第二位置上，第三滚轮23与卷盘20相分离，并让卷盘20可以从卷盘收容空间中取出，以便卷盘20出入该卷盘收容空间，也即该第三滚轮23将该卷盘收容空间敞开。每一个收料单元2还可包括第二驱动装置25，该第二驱动装置25与第三滚轮23相连接，以驱动该第三滚轮23在该第一位置和第二位置之间来回切换，以方便卷盘20的装卸。

在一些实施例中，第三滚轮23通过一对L型连接机构26转动连接于机架1上，该L型连接机构26的中部枢接于机架1的第三转轴17上，第三滚轮23则安装于L型连接机构26的第一端，L型连接机构26的第二端与第二驱动装置25相连接。第二驱动装置25为伸缩式驱动装置，可以为油缸或气缸等，其一端铰接在机架1上，另一端与L型连接机构26的该第二端。通过第二驱动装置25的伸缩，可以带动L型连接机构26绕第三转轴17翻转，进而带动第三滚轮23在第一位置和第二位置之间来回切换。

在一些实施例中，每一收料单元2还包括设置于卷盘20上游的导向轮27以及设置在导向轮27上游的分隔件28，该导向轮27用于将料带导引给对应的卷盘20，该分隔件28用于将相邻的料带进行隔离，防止相互干扰。

再如图所示，在一些实施例中，同一组收料单元2的第一滚轮21均套设于第一转轴15上，同一组收料单元2的第二滚轮22均套设于第二转轴16上，安装第三滚轮23的L型连接机构均套设于第三转轴17上。如此，同组的收料单元2能够很好地对齐。

如图7所示，卷式收料装置N在一些实施例中还可包括与控制中心通信连接的缓冲感应装置3，该缓冲装置用于感测上游来料的速度，并通过感测到的速度调节卷盘20的速度，防止卷盘20的速度与来料的速度不一致。该缓冲感应装置3可包括纵长的基座31以及平行间隔地竖立在该基座31顶部的若干根立柱32。每相邻两根立柱32之间形成一个间隔30，供对应的料带下垂穿过；每个间隔30的两侧均布置有一对条状感应件33，以感应料带下垂的位置。该一对条状感应件33中的一个可以沿长度方向设置多数个红外发射器，另一个设置与红外发射器一一对应的红外接收器，如此，当料带穿过间隔30时，其在间隔30上对应位置的红外光被阻挡，使得料带在间隔30中的垂直方向的位置被感测到。如此，当感测到料带位置比较高时，表示料带绷得较紧，说明卷料的速度大于来料的速度，此时，可以通过控制中心调降卷盘20的转速。同时，当感测到料带位置比较高时，表示料带下垂过大，说明卷料的速度小于来料的速度，此时可以通过控制中心调升卷盘20的转速，以达到来料与卷料的速度一致。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。