电子器件的制作方法

文档序号:11553296阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电子器件,其特征在于,包括:

衬底;

被所述衬底横向地包围的绝缘结构;以及

被所述绝缘结构和所述衬底横向地包围的第一导电结构或有源区域,其中所述第一导电结构或有源区域与所述衬底在横向上间隔开至少4微米。

2.根据权利要求1所述的电子器件,其特征在于,还包括嵌于所述第一导电结构内的多个绝缘柱。

3.根据权利要求1所述的电子器件,其特征在于,还包括第二导电结构,其中所述电子器件包括被所述第二导电结构横向地包围的所述第一导电结构。

4.根据权利要求1所述的电子器件,其特征在于,其中所述电子器件包括含有半导体材料的所述有源区域。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的电子器件,其特征在于,其中所述第一导电结构包括含有嵌入式空隙的导电材料。

6.一种电子器件,其特征在于,包括:

绝缘结构,所述绝缘结构包括嵌入式空隙;以及

被所述绝缘结构横向地包围的电感器,所述电感器具有芯,所述芯包括绝缘材料或磁性材料但不包括半导体衬底的任何部分。

7.根据权利要求6所述的电子器件,其特征在于,其中所述电感器是螺线管。

8.根据权利要求7所述的电子器件,其特征在于,其中所述螺线管具有包含磁性材料的芯。

9.根据权利要求6所述的电子器件,其特征在于,其中所述电感器是平面螺旋电感器。

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