一种理疗仪内置芯片生产用晶圆清洗设备的制作方法

本实用新型属于理疗仪生产技术领域，尤其涉及一种理疗仪内置芯片生产用晶圆清洗设备。

背景技术：

理疗仪全称叫物理治疗仪，其原理是同通过高科技技术，例如远红外线，可以活化细胞，还有一些事磁疗，还有电子脉冲等工作原理，改善人体代谢，激活身体机能，来提供身体的健康状况。

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。晶圆是最常用的半导体材料，按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格，近来发展出12英寸甚至研发更大规格（14英吋、15英吋、16英吋……20英吋以上等）。晶圆越大，同一圆片上可生产的IC就越多，可降低成本；但对材料技术和生产技术的要求更高，例如均匀度等等的问题。一般认为硅晶圆的直径越大，代表着这座晶圆厂有更好的技术，在生产晶圆的过程当中，良品率是很重要的条件。

理疗仪主要靠其内的芯片来实现对其的控制，芯片若质量差，会导致理疗仪在工作时不稳定，所以芯片是理疗仪内极其重要的部分，芯片主要载体即为晶圆，所以晶圆的质量会影响到芯片的质量，晶圆在制作集成电路之前首先需要进行清洗，目前的晶圆清洗设备存在清洗效果差、清洗速度慢的缺点，因此亟需研发一种清洗效果好、清洗速度快的理疗仪内置芯片生产用晶圆清洗设备。

技术实现要素：

（1）要解决的技术问题

本实用新型为了克服目前的晶圆清洗设备存在清洗效果差、清洗速度慢的缺点，本实用新型要解决的技术问题是提供一种清洗效果好、清洗速度快的理疗仪内置芯片生产用晶圆清洗设备。

（2）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种理疗仪内置芯片生产用晶圆清洗设备，包括有底板、滑块、滑轨、连接杆、右架、固定座、弹簧、清洗箱、合页、箱盖、网板、出液管、阀门、第一轴承座、L型安装座、旋转电机、蜗杆、搅拌叶片、第一底座、第二轴承座、第一转轴、小皮带轮、蜗轮、平皮带、第二底座、第三轴承座、第二转轴、大皮带轮、转盘、铰接部件、紧固盖和摆动杆，底板顶部左侧通过螺栓连接的方式连接有滑轨，滑轨上滑动式设有滑块，滑块与滑轨配合，底板顶部右端焊接有右架，右架左侧下部焊接有固定座，右架左侧上部通过挂钩连接的方式均匀连接有弹簧，弹簧左端通过挂钩连接的方式连接有清洗箱，清洗箱左壁顶部通过螺钉连接的方式连接有合页，合页上通过螺钉连接的方式连接有箱盖，清洗箱内下部通过螺钉连接的方式连接有网板，清洗箱左壁底部设有出液管，出液管上设有阀门，清洗箱底部中心设有开有圆形通孔，圆形通孔内过盈连接有第一轴承座，第一轴承座内的轴承上过盈连接有蜗杆，蜗杆上部均匀焊接有搅拌叶片，搅拌叶片位于清洗箱内，清洗箱底部左端与滑块顶部之间焊接有连接杆，清洗箱底部左侧焊接有L型安装座，L型安装座右端通过螺栓连接的方式连接有旋转电机，旋转电机的输出轴与蜗杆底端通过联轴器连接，清洗箱底部右侧焊接有第一底座和第二底座，第一底座位于第二底座左侧，第一底座上通过螺栓连接的方式连接有第二轴承座，第二轴承座内的轴承上过盈连接有第一转轴，第一转轴上通过键连接的方式连接有蜗轮和小皮带轮，蜗轮位于小皮带轮后侧，蜗轮与蜗杆啮合，第二底座上通过螺栓连接的方式连接有第三轴承座，第三轴承座内的轴承上过盈连接有第二转轴，第二转轴上通过键连接的方式连接有大皮带轮和转盘，大皮带轮位于转盘后侧，大皮带轮与小皮带轮之间绕有平皮带，转盘偏心位置处与固定座之间通过铰接部件连接有摆动杆。

优选地，铰接部件包括有旋转轴和紧固盖，转盘偏心位置处开有通孔，固定座上也开有通孔，摆动杆左右两端均开有通孔，旋转轴穿过摆动杆左端和转盘偏心位置处的通孔，并且旋转轴后端与紧固盖过盈连接，旋转轴穿过摆动杆右端和固定座上的通孔，并且旋转轴后端与紧固盖过盈连接。

优选地，还包括有密封圈，清洗箱内底部中心胶接有密封圈，密封圈与第一轴承座紧密接触。

优选地，还包括加强筋，底板顶部右侧与右架左侧下部之间焊接有加强筋。

优选地，旋转电机为伺服电机。

优选地，清洗箱的材质为不锈钢。

优选地，摆动杆的材质为Q235钢。

工作原理：当工人需要清洗晶圆时，工人首先将箱盖打开，将合适量的晶圆倒入清洗箱内，晶圆落在网板上，接着工人再将清洗剂倒入清洗箱内，当清洗剂将晶圆全部浸没后，工人停止倒入清洗剂，并且将箱盖关闭。然后工人控制旋转电机顺时针旋转，旋转电机带动蜗杆顺时针旋转，蜗杆带动搅拌叶片顺时针旋转，搅拌叶片旋转搅动清洗剂，使得清洗剂对晶圆进行清洗，与此同时，蜗杆带动蜗轮顺时针旋转，蜗轮带动第一转轴顺时针旋转，第一转轴带动小皮带轮顺时针旋转，小皮带轮通过平皮带带动大皮带轮顺时针旋转，大皮带轮带动第二转轴顺时针旋转，第二转轴带动转盘顺时针旋转，因为摆动杆右端与固定座铰接，并且清洗箱右端与弹簧连接以及清洗箱底部与滑块之间焊接有连接杆，所以当转盘顺时针旋转时，通过摆动杆带动清洗箱左右晃动，使得其内的晶圆翻动，达到均匀清洗的效果。如此反复，当晶圆表面清洗干净，并且清洗箱回到初始位置后，工人控制旋转电机停止旋转，然后将阀门打开，清洗剂通过出液管流出，工人对其进行收集，当清洗剂全部流完后，工人将阀门关闭，接着将箱盖打开，将网板上的晶圆取出，将网板清理干净，再将箱盖关闭。

因为铰接部件包括有旋转轴和紧固盖，转盘偏心位置处开有通孔，固定座上也开有通孔，摆动杆左右两端均开有通孔，旋转轴穿过摆动杆左端和转盘偏心位置处的通孔，并且旋转轴后端与紧固盖过盈连接，旋转轴穿过摆动杆右端和固定座上的通孔，并且旋转轴后端与紧固盖过盈连接，该铰接部件摆动灵活，使设备的使用年限更长。

因为还包括有密封圈，清洗箱内底部中心胶接有密封圈，密封圈与第一轴承座紧密接触，防止清洗剂泄漏。

因为还包括加强筋，底板顶部右侧与右架左侧下部之间焊接有加强筋，加强了设备结构的稳定性。

因为旋转电机为伺服电机，伺服电机能更好的控制其转速，使设备运行的更平稳。

因为清洗箱的材质为不锈钢，不锈钢耐腐蚀，有效延长了设备的使用寿命。

因为摆动杆的材质为Q235钢，Q235钢刚性强且不易变形，有效延长了设备的使用寿命。

（3）有益效果

本实用新型达到了清洗效果好、清洗速度快的效果，并且结构简单、操作方便，减小了工人的劳动强度，提高了工人的工作效率，晶圆表面清洗彻底，提高了芯片生产的质量，进而提升了企业的效益。

附图说明

图1为本实用新型的第一种主视结构示意图。

图2为本实用新型铰接部件的立体结构示意图。

图3为本实用新型的第二种主视结构示意图。

图4为本实用新型的第三种主视结构示意图。

附图中的标记为：1-底板，2-滑块，3-滑轨，4-连接杆，5-右架，6-固定座，7-弹簧，8-清洗箱，9-合页，10-箱盖，11-网板，12-出液管，13-阀门，14-第一轴承座，15-L型安装座，16-旋转电机，17-蜗杆，18-搅拌叶片，19-第一底座，20-第二轴承座，21-第一转轴，22-小皮带轮，23-蜗轮，24-平皮带，25-第二底座，26-第三轴承座，27-第二转轴，28-大皮带轮，29-转盘，30-铰接部件，301-旋转轴，302-紧固盖，31-摆动杆，32-密封圈，33-加强筋。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。

实施例1

一种理疗仪内置芯片生产用晶圆清洗设备，如图1-4所示，包括有底板1、滑块2、滑轨3、连接杆4、右架5、固定座6、弹簧7、清洗箱8、合页9、箱盖10、网板11、出液管12、阀门13、第一轴承座14、L型安装座15、旋转电机16、蜗杆17、搅拌叶片18、第一底座19、第二轴承座20、第一转轴21、小皮带轮22、蜗轮23、平皮带24、第二底座25、第三轴承座26、第二转轴27、大皮带轮28、转盘29、铰接部件30、紧固盖302和摆动杆31，底板1顶部左侧通过螺栓连接的方式连接有滑轨3，滑轨3上滑动式设有滑块2，滑块2与滑轨3配合，底板1顶部右端焊接有右架5，右架5左侧下部焊接有固定座6，右架5左侧上部通过挂钩连接的方式均匀连接有弹簧7，弹簧7左端通过挂钩连接的方式连接有清洗箱8，清洗箱8左壁顶部通过螺钉连接的方式连接有合页9，合页9上通过螺钉连接的方式连接有箱盖10，清洗箱8内下部通过螺钉连接的方式连接有网板11，清洗箱8左壁底部设有出液管12，出液管12上设有阀门13，清洗箱8底部中心设有开有圆形通孔，圆形通孔内过盈连接有第一轴承座14，第一轴承座14内的轴承上过盈连接有蜗杆17，蜗杆17上部均匀焊接有搅拌叶片18，搅拌叶片18位于清洗箱8内，清洗箱8底部左端与滑块2顶部之间焊接有连接杆4，清洗箱8底部左侧焊接有L型安装座15，L型安装座15右端通过螺栓连接的方式连接有旋转电机16，旋转电机16的输出轴与蜗杆17底端通过联轴器连接，清洗箱8底部右侧焊接有第一底座19和第二底座25，第一底座19位于第二底座25左侧，第一底座19上通过螺栓连接的方式连接有第二轴承座20，第二轴承座20内的轴承上过盈连接有第一转轴21，第一转轴21上通过键连接的方式连接有蜗轮23和小皮带轮22，蜗轮23位于小皮带轮22后侧，蜗轮23与蜗杆17啮合，第二底座25上通过螺栓连接的方式连接有第三轴承座26，第三轴承座26内的轴承上过盈连接有第二转轴27，第二转轴27上通过键连接的方式连接有大皮带轮28和转盘29，大皮带轮28位于转盘29后侧，大皮带轮28与小皮带轮22之间绕有平皮带24，转盘29偏心位置处与固定座6之间通过铰接部件30连接有摆动杆31。

铰接部件30包括有旋转轴301和紧固盖302，转盘29偏心位置处开有通孔，固定座6上也开有通孔，摆动杆31左右两端均开有通孔，旋转轴301穿过摆动杆31左端和转盘29偏心位置处的通孔，并且旋转轴301后端与紧固盖302过盈连接，旋转轴301穿过摆动杆31右端和固定座6上的通孔，并且旋转轴301后端与紧固盖302过盈连接。

还包括有密封圈32，清洗箱8内底部中心胶接有密封圈32，密封圈32与第一轴承座14紧密接触。

还包括加强筋33，底板1顶部右侧与右架5左侧下部之间焊接有加强筋33。

旋转电机16为伺服电机。

清洗箱8的材质为不锈钢。

摆动杆31的材质为Q235钢。

工作原理：当工人需要清洗晶圆时，工人首先将箱盖10打开，将合适量的晶圆倒入清洗箱8内，晶圆落在网板11上，接着工人再将清洗剂倒入清洗箱8内，当清洗剂将晶圆全部浸没后，工人停止倒入清洗剂，并且将箱盖10关闭。然后工人控制旋转电机16顺时针旋转，旋转电机16带动蜗杆17顺时针旋转，蜗杆17带动搅拌叶片18顺时针旋转，搅拌叶片18旋转搅动清洗剂，使得清洗剂对晶圆进行清洗，与此同时，蜗杆17带动蜗轮23顺时针旋转，蜗轮23带动第一转轴21顺时针旋转，第一转轴21带动小皮带轮22顺时针旋转，小皮带轮22通过平皮带24带动大皮带轮28顺时针旋转，大皮带轮28带动第二转轴27顺时针旋转，第二转轴27带动转盘29顺时针旋转，因为摆动杆31右端与固定座6铰接，并且清洗箱8右端与弹簧7连接以及清洗箱8底部与滑块2之间焊接有连接杆4，所以当转盘29顺时针旋转时，通过摆动杆31带动清洗箱8左右晃动，使得其内的晶圆翻动，达到均匀清洗的效果。如此反复，当晶圆表面清洗干净，并且清洗箱8回到初始位置后，工人控制旋转电机16停止旋转，然后将阀门13打开，清洗剂通过出液管12流出，工人对其进行收集，当清洗剂全部流完后，工人将阀门13关闭，接着将箱盖10打开，将网板11上的晶圆取出，将网板11清理干净，再将箱盖10关闭。

因为铰接部件30包括有旋转轴301和紧固盖302，转盘29偏心位置处开有通孔，固定座6上也开有通孔，摆动杆31左右两端均开有通孔，旋转轴301穿过摆动杆31左端和转盘29偏心位置处的通孔，并且旋转轴301后端与紧固盖302过盈连接，旋转轴301穿过摆动杆31右端和固定座6上的通孔，并且旋转轴301后端与紧固盖302过盈连接，该铰接部件30摆动灵活，使设备的使用年限更长。

因为还包括有密封圈32，清洗箱8内底部中心胶接有密封圈32，密封圈32与第一轴承座14紧密接触，防止清洗剂泄漏。

因为还包括加强筋33，底板1顶部右侧与右架5左侧下部之间焊接有加强筋33，加强了设备结构的稳定性。

因为旋转电机16为伺服电机，伺服电机能更好的控制其转速，使设备运行的更平稳。

因为清洗箱8的材质为不锈钢，不锈钢耐腐蚀，有效延长了设备的使用寿命。

因为摆动杆31的材质为Q235钢，Q235钢刚性强且不易变形，有效延长了设备的使用寿命。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。