一种基板承载台的制作方法

文档序号:11385057阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板承载台,其特征在于,所述基板承载台包括载盘以及多个顶针,所述载盘设有多个穿孔,所述载盘用于水平承载基板;所述顶针可相对所述载盘上升或者下降,所述顶针包括顶端、底端以及弹性件,所述顶端和所述底端设置于所述顶针的两个末端,所述顶端通过所述穿孔以顶升承载于所述载盘中的基板,当所述顶针上升使得顶端施加一顶升力于所述基板以顶升所述基板时,所述弹性件发生形变而产生一缓冲力,减缓所述顶针对所述基板的作用力。

2.如权利要求1所述的基板承载台,其特征在于,所述顶针还包括密封件,所述密封件包括本体、设置于本体内的空腔、以及设置于本体上与所述空腔连通的通孔,所述弹性件和所述顶针靠近所述底端的部分位于所述空腔内,所述顶针靠近所述顶端的部分透过所述通孔外漏于所述本体。

3.如权利要求2所述的基板承载台,其特征在于,所述顶针还包括位于所述空腔内的挡块,所述挡块设置于所述顶针靠近底端的位置上。

4.如权利要求3所述的基板承载台,其特征在于,所述密封件还包括本体上相对设置的顶部和底部,所述顶部设有所述通孔。

5.如权利要求4所述的基板承载台,其特征在于,所述弹性件设置于所述挡块与所述底部之间。

6.如权利要求5所述的基板承载台,其特征在于,所述弹性件套设于所述顶针上。

7.如权利要求2所述的基板承载台,其特征在于,所述穿孔的尺寸与所述顶针的尺寸相匹配,所述通孔的尺寸与所述顶针的尺寸相匹配。

8.如权利要求2所述的基板承载台,其特征在于,所述基板承载台还包括升降机构,所述升降机构用于驱动所述顶针上升与下降。

9.如权利要求8所述的基板承载台,其特征在于,所述密封件还包括有凹槽及凸块,所述凹槽用于与弹性件连接,所述凸块用于与所述升降机构连接。

10.如权利要求9所述的基板承载台,其特征在于,所述升降机构还包括与所述凸块相对应设置的凹块,所述凹块的尺寸与凸块的尺寸相匹配。

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