生长在玻璃衬底上的GaN薄膜的制作方法

技术总结
本实用新型公开了生长在玻璃衬底上的GaN薄膜，包括生长在玻璃衬底上的铝金属层，生长在铝金属层上的银金属层，生长在银金属层上的AlN缓冲层，生长在AlN缓冲层上的GaN缓冲层，生长在GaN缓冲层上的GaN薄膜。本实用新型的GaN薄膜缺陷密度低、结晶质量好，电学、光学性能好。

技术研发人员：李国强;高芳亮;张曙光
受保护的技术使用者：华南理工大学
文档号码：201621450923
技术研发日：2016.12.27
技术公布日：2017.08.18