基底传输设备的制作方法

相关申请的交叉引用

本申请要求2015年7月13日提交的美国临时专利申请第62/191,836号的权益，其公开内容全部以引用的方式并入本文。

背景技术：

1.技术领域

示例性实施例一般地涉及基底处理系统，并且更加具体地涉及在不用对马达部件进行原位校准的情况下可重新配置且可互换的基底传输设备。

2.相关发展的简要描述

通常，基底或者晶圆传输设备（诸如，仅仅用于示例性目的，用于在半导体处理设备中传输基底的传输设备）具体地被配置用于特定设置。例如，在组装传输设备时，驱动器轴线的数量以及马达特性是固定的。实际上，在基本上不拆卸基底传输设备并且对其重建的情况下，这些基底传输设备就不能被重新配置。这限制了常规的基底传输设备的互换性和互操作性，并且导致制造设施（即，fab（晶圆厂））操作具有许多基本上相似但不可互换的传输设备。举例来说，fab操作者可以具有常规的3轴线、4轴线、以及5轴线的机械手（其每一个用于适用3轴线、4轴线、或者5轴线传输设备的对应处理站或工具）。尽管在配置上基本上相似（例如，常规的机械手可以均具有相同类型的臂，诸如，scara臂（选择顺应性装配机械手臂）、跳蛙臂等），但常规的3轴线、4轴线、以及5轴线传输设备是不可互换的，并且常规传输设备的重新配置（例如，将3轴线传输设备重新配置为5轴线传输设备或者反之亦然）涉及将常规传输设备完全拆卸且重建。

此外，在常规传输设备包括竖直的或者z轴线行进的情况下，用于提供传输设备的传输臂的旋转的马达通常安装在驱动地联接至z轴线驱动器的托架中。该托架的大小通常被设计成用于预定数量的马达，其中，托架内的马达的数量通常是不变的。从至少传输设备制造立场以及从终端用户的立场来看，需要多个托架和驱动壳体框架来适应具有不同数量的堆叠马达以及不同数量的z轴线行进的传输设备。

有利的情况将是具有一种传输设备，该传输设备具有减小高度的模块化马达，该减小高度的模块化马达能够被插入到适应不同马达堆体高度的共同托架中以及从该共同托架上被移除。同样有利的情况将是具有一种传输设备，该传输设备具有减小高度的模块化马达，该减小高度的模块化马达能够彼此交换和组合使用以便实现对传输设备的重新配置。

附图说明

在以下结合附图的描述中对公开的实施例的前述方面和其它特征进行描述，在附图中：

图1a至图1d是包含公开的实施例的方面的基底处理设备的示意图；

图2a至图2e是根据公开的实施例的方面的传输臂的示意图；

图3a、图3b、图3c、以及图3d是根据公开的实施例的方面的基底传输设备的各部分的示意图；

图4a和图4b是根据公开的实施例的方面的基底传输设备的各部分的示意图；

图4c是根据公开的实施例的方面的基底传输设备的一部分的示意图；

图5是根据公开的实施例的方面的基底传输设备的一部分的示意图；

图6是根据公开的实施例的方面的基底传输设备的一部分的示意图；

图7是根据公开的实施例的方面的基底传输设备的一部分的示意图；

图8a、图8b、以及图8c是示出了根据公开的实施例的方面的基底传输设备的一部分的不同配置的示意图；以及

图9是根据公开的实施例的方面的流程图。

具体实施方式

参照图1a至图1d，其示出了包含公开的实施例的方面的基底处理设备或工具的示意图，如本文进一步描述的。尽管将参照附图对公开的实施例的方面进行描述，但应理解的是，公开的实施例的方面可以按照许多形式实施。此外，可以使用任何合适大小、形状、或者类型的元件或者材料。

如下文将更加详细地描述的，公开的实施例的方面提供一种基底传输设备，该基底传输设备具有可重新配置的驱动器主轴，该可重新配置的驱动器主轴允许至少一个驱动器轴线的低转矩应用或者高转矩应用，其中，驱动器主轴由模块化驱动器区段驱动并且连接至该模块化驱动器区段。模块化驱动器区段包括设置成堆体的多于一个的不同的可互换马达模块，其中，每个马达模块包括密封的马达，该密封的马达驱动传输设备的同轴的主轴组件的相应轴并且限定驱动器区段的对应驱动器轴线。该不同的可互换马达模块能够从其它不同的可互换马达模块选择用于放置在该堆体中，其中，马达模块的每一个具有与在堆体中的驱动器模块的放置无关的不同的预定特性。每个驱动器的预定特性与驱动器轴线（例如，相应马达模块共同的驱动器轴线）相对应，与同轴的主轴组件内的轴位置无关。公开的实施例的方面还提供马达模块的安装，以便使得在安装了马达模块时，不需要对马达模块进行进一步调整。公开的实施例的方面提供一种模块化马达配置，该模块化马达配置减小传输设备驱动器区段的高度以及减小传输设备的制造成本和维修成本，同时提供马达转矩性能的线性范围的增加增益。公开的实施例的方面还提供一种z轴线托架，其中，该z轴线托架为具有不同高度的马达堆体提供共同的解决方案，而且不会增加传输设备的成本。相应地，公开的实施例的方面利用共同的部件以用于z轴线托架与本文所描述的在共同框架中具有多种不同组合的长度和主轴组件类型的马达模块之间的对接。

参照图1a和图1b，其示出了根据公开的实施例的方面的处理设备（诸如例如，半导体工具站11090）。尽管在附图中示出了半导体工具11090，但本文所描述的公开的实施例的方面可以应用于采用机械手操纵器的任何工具站或者应用。在该示例中，工具11090被示出为群集工具，然而，公开的实施例的方面可以应用于任何合适的工具站，诸如例如，线性工具站，诸如，在图1c和图1d中示出并且在2013年3月19日公布的名称为“linearlydistributedsemiconductorworkpieceprocessingtool”的美国专利第8,398,355号中描述的工具站，其公开内容全部以引用的方式并入本文。工具站11090通常包括大气前端11000、真空负载锁11010、以及真空后端11020。在其它方面中，该工具站可以具有任何合适的配置。前端11000、负载锁11010、以及后端11020中的每一个的部件可以连接至控制器11091，控制器11091可以是任何合适控制架构（诸如例如，群集架构控制）的一部分。控制系统可以是闭环控制器，该闭环控制器具有主控制器、群集控制器、以及自主远程控制器，诸如，在2011年3月8日公布的名称为“scalablemotioncontrolsystem”的美国专利第7,904,182号中公开的那些控制器，其公开内容全部以引用的方式并入本文。在其它方面中，可以使用任何合适的控制器和/或控制系统。

基底传输设备的控制器11091和/或控制器300c（图3a）（诸如，本文所描述的那些）包括任何合适的存储器300cm和（多个）处理器300pr，该存储器300cm和（多个）处理器300pr包括非暂时性程序代码，该非暂时性程序代码用于操作本文所描述的处理设备以便实现不同马达模块的安装，从而使得在安装马达模块时不需要对马达模块进行进一步调整。例如，在一个方面中，控制器11091和/或控制器300c包括存储器300cm和处理器300pr，该存储器300cm和处理器300pr被配置为储存、检索、以及验证马达模块特定属性（例如，任何合适的驱动器特性，诸如，马达编码器与马达绕组相位角之间的相位差/角）。在一个方面中，这些马达模块特定属性被储存在每个相应马达模块401的存储器401cr上（存储器401cr可以是卡片、芯片、或者其它合适的储存介质），以便使得当相应马达模块被安装在驱动器区段中时，存储器401cr与控制器300c和/或控制器11091通信。控制器300c被配置为基于储存在相应马达模块401的存储器401r中并且从其获取的马达模块特定属性来确立马达模块的旋转位置。作为示例，参照图4a，本文所描述的每个马达模块401具有特定数量，该特定数量是在马达模块401诞生时或者组装时创建的，其中，该特定数量与马达模块的马达401m的电气绕组相位角与编码器410的对准相互关联（例如，见图4a）。该特定数量会在初始化和操作期间优化马达401m的换向。不恰当的数量将产生基底传输停止错误，并且如果稍微偏离，则会产生过度的加热，这是因为各相位之间的功率分布的效率低。该特定数量以及任何其它合适的马达模块特定属性（诸如，上文所描述的那些）被储存在每个马达模块401的存储器401cr上。基底传输控制器300c（或者控制器11091）将马达堆体301中的每个马达模块401的该特定数量（以及与相应特定数量/马达模块相关联的特定相位值）用作基础来生成命令的轨线运动参数以实现期望的转矩、位置、以及（多个）时间要求。这样，本文所描述的每个马达模块401是真正可互换的并且可以在不对马达模块进行进一步调整的情况下安装在基底传输设备中。

在一个方面中，前端11000通常包括负载端口模块11005和微环境11060，诸如例如，装备前端模块（efem）。负载端口模块11005可以是工具标准（bolts）接口的开箱器/装载器，使得符合用于300mm负载端口、前端开口或者底部开口箱/舱以及盒体的semi标准e15.1、e47.1、e62、e19.5、或者e1.9。在其它方面中，负载端口模块可以被配置为200mm的晶圆或者450mm的晶圆接口或者任何其它合适的基底接口，诸如例如，更大或者更小的晶圆或者用于平板显示器的平板。尽管在图1a中示出了两个负载端口模块11005，但在其它方面中，任何合适数量的负载端口模块可以被并入到前端11000中。负载端口模块11005可以被配置为接收来自高架传输系统、自动导引车辆、人导引车辆、轨道导引车辆、或者来自任何其它合适的传输方法的基底载体或者盒体11050。负载端口模块11005可以通过负载端口11040与微环境11060对接。在一个方面中，负载端口11040允许在基底盒体11050与微环境11060之间的基底经过。

在一个方面中，微环境11060通常包括任何合适的转移机械手11013，转移机械手11013包含本文所描述的公开的实施例的一个或多个方面。在一个方面中，机械手11013可以是轨道安装机械手，诸如例如，在美国专利6,002,840中描述的轨道安装机械手，其公开内容全部以引用的方式并入本文，或者在其它方面中，其可以是具有任何合适配置的任何其它合适的传输机械手。微环境11060可以在多个负载端口模块之间提供用于基底转移的受控清洁区域。

真空负载锁11010可以位于微环境11060与后端11020之间并且连接至微环境11060和后端11020。再次要注意的是，如本文所使用的，术语“真空”可以表示高真空，诸如，10-5torr（托）或者更低，基底在该真空下被处理。负载锁11010通常包括大气槽阀和真空槽阀。这些槽阀可以提供环境隔离，环境隔离用于在从大气前端装载基底之后撤离负载锁，并且用于在使锁与惰性气体（诸如，氮气）通气时维持传输室中的真空。在一个方面中，负载锁11010包括对准器11011，该对准器11011用于使基底的基准点与用于处理的期望位置对准。在其它方面中，真空负载锁可以位于处理设备的任何合适位置中并且具有任何合适的配置和/或度量装备。

真空后端11020通常包括传输室11025、一个或多个处理站或者模块11030、以及任何合适的转移机械手或设备11014。转移机械手11014将在下文被描述并且可以位于传输室11025内以在负载锁11010与多个处理站11030之间传输基底。处理站11030可以通过各种沉积、蚀刻、或者其它类型的处理来在基底上操作以便在基底上形成电路或者其它期望结构。典型的处理包括但不限于使用真空的薄膜处理，诸如，等离子蚀刻或者其它蚀刻处理、化学气相沉积（cvd）、电浆气相沉积（pvd）、植入（诸如，离子植入）、度量、快速热处理（rtp）、干式剥离原子层沉积（ald）、氧化/扩散、氮化物的形成、真空石印术、磊晶术（epi）、引线接合器和蒸发、或者使用真空压力的其它薄膜处理。处理站11030连接至传输室11025以便允许基底从传输室11025经过至处理站11030以及反之亦然。在一个方面中，负载端口模块11005和负载端口11040基本上直接联接至真空后端11020，以便使得安装在负载端口上的盒体11050基本上直接（例如，在一个方面中，至少省略微环境11060，并且在其它方面中，还省略真空负载锁11010，以便使得按照类似于真空负载锁11010的方式将盒体11050抽空至真空）与转移室11025的真空环境和/或处理站11030的处理真空对接（例如，处理真空和/或真空环境在处理站11030与盒体11050之间延伸且由其共有）。

现在参照图1c，其示出了线性基底处理系统2010的示意平面图，其中，工具接口区段2012安装至传输室模块3018以便使得接口区段2012大体上面朝（例如，向内）但偏移传输室3018的纵向轴线x。传输室模块3018可以通过将其它传输室模块3018a、3018i、3018j附接至接口2050、2060、2070而在任何合适的方向上延伸，如在美国专利第8,398,355号中所描述的，其在先前以引用的方式并入了本文。每个传输室模块3018、3019a、3018i、3018j包括任何合适的基底传输装置2080，基底传输装置2080可以包括本文所描述的公开的实施例的一个或多个方面，其用于在整个处理系统2010中传输基底并且使基底进出例如处理模块pm（在一个方面中，其大体上类似于上文所描述的处理站11030）。如可以实现的，每个室模块都能够保持隔离的或者受控的环境（例如，n2、清洁空气、真空）。

参照图1d，其示出了示例性处理工具410的示意性立视图，诸如，可以沿着线性传输室416的纵向轴线x截取。在图1d中示出的公开的实施例的方面中，工具接口区段12可以代表性地连接至传输室416。在该方面中，接口区段12可以限定工具传输室416的一端。如在图1d中看到的，传输室416可以具有另一工件入口/出口站412，例如，在接口站12的相对端处。在其它方面中，可以提供用于从传输室插入/移除工件的其它入口/出口站。在一个方面中，接口区段12和入口/出口站412可以允许从工具上装载和卸载工件。在其它方面中，可以从一端将工件装载到工具中并且从另一端将其移除。在一个方面中，传输室416可以具有一个或多个转移室模块18b和18i。每个室模块都能够保持隔离的或者受控的环境（例如，n2、清洁空气、真空）。如之前所指出的，在图1d中示出的用于形成传输室416的传输室模块18b和18i、负载锁模块56a和56、以及工件站的配置/设置仅仅是示例性的，并且在其它方面中，传输室可以具有按照任何期望模块设置的方式设置的更多或者更少的模块。在所示出的方面中，站412可以是负载锁。在其它方面中，负载锁模块可以位于端部入口/出口站（类似于站412）之间，或者邻接的传输室模块（类似于模块18i）可以被配置为作为负载锁操作。

同样如先前所指出的，传输室模块18b和18i具有位于其中的一个或多个对应的传输设备26b和26i，其可以包括本文所描述的公开的实施例的一个或多个方面。相应传输室模块18b和18i的传输设备26b和26i可以协作以便在传输室中提供线性分布的工件传输系统。在该方面中，传输设备26b（其可以基本上类似于在图1a和图1b中图示的群集工具的传输设备11013和11014）可以具有一般的scara臂配置（但在其它方面中，传输臂可以具有任何其它期望的设置，诸如例如，在图2b中示出的线性滑动臂214或者具有任何合适的臂连杆机构的其它合适的臂）。臂连杆机构的合适示例可以在如下文件中找到：例如，2009年8月25日公布的美国专利第7,578,649号、1998年8月18日公布的第5,794,487号、2011年5月24日公布的第7,946,800号、2002年11月26日公布的第6,485,250号、2011年2月22日公布的第7,891,935号、2013年4月16日公布的第8,419,341号、以及2011年11月10日提交的且名称为“dualarmrobot”的美国专利申请第13/293,717号和2013年9月5日提交的且名称为“linearvacuumrobotwithzmotionandarticulatedarm”的第13/861,693号，其公开内容全部以引用的方式并入本文。在公开的实施例的方面中，至少一个转移臂可以源自常规的scara（选择型配用机械手臂）类型的设计，其包括上臂、带驱动前臂、以及带约束末端执行器，或者源自伸缩式臂或者任何其它合适的臂设计。转移臂的合适示例可以在如下文件中找到：例如，2008年5月8日提交的、名称为“substratetransportapparatuswithmultiplemovablearmsutilizingamechanicalswitchmechanism”的美国专利申请第12/117,415号、以及2010年1月19日公布的美国专利第7,648,327号，其公开内容全部以引用的方式并入本文。转移臂的操作可以独立于彼此（例如，每个臂的延伸/收缩独立于彼此），可以通过空转开关进行操作，或者可以在操作上按照任何合适的方式进行链接以便使得臂共享至少一个共同驱动器轴线。在另外的其它方面中，传输臂可以具有任何其它期望的设置，诸如，蛙腿臂216（如2a）配置、跳蛙臂217（图2d）配置、两侧对称臂218（图2c）配置等。在另一方面中，参照图2e，转移臂219包括至少第一铰接臂219a和第二铰接臂219b，其中，每个臂219a和219b包括末端执行器219e，末端执行器219e被配置为将至少两个基底s1和s2并排地保持在共同转移平面中（末端执行器219e的每个基底保持位置共享共有驱动器，该驱动器用于拾取和放置基底s1和s2），其中，基底s1和s2之间的间隔dx与并排的基底保持位置之间的固定间隔相对应。传输臂的合适示例可以在如下文件中找到：2001年5月15日公布的美国专利第6,231,297号、1993年1月19日公布的第5,180,276号、2002年10月15日公布的第6,464,448号、2001年5月1日公布的第6,224,319号、1995年9月5日公布的第5,447,409号、2009年8月25日公布的第7,578,649号，1998年8月18日公布的第5,794,487号、2011年5月24日公布的第7,946,800号、2002年11月26日公布的第6,485,250号、2011年2月22日公布的第7,891,935号、以及2011年11月10日提交的且名称为“dualarmrobot”的美国专利申请第13/293,717号和2011年10月11日提交的且名称为“coaxialdrivevacuumrobot”的第13/270,844号，其公开内容全部以引用的方式并入本文。

在图1d中示出的公开的实施例的方面中，传输设备26b的臂可以被设置为提供所称的快速交换设置，该快速交换设置允许传输装置在拾取/放置位置处快速地交换晶圆（例如，从基底保持站拾取晶圆并且然后立即将晶圆放置到相同的基底保持位置）。传输臂26b可以具有任何合适的驱动器区段（例如，同轴地设置的驱动器轴、并排的驱动器轴、水平邻近的马达、垂直堆叠的马达等），该驱动器区段用于给每个臂提供任何合适数量的自由度（例如，围绕肩部和肘关节独立地旋转以及z轴线运动）。如在图1d中看到的，在该方面中，模块56a、56、30i可以有间隙地位于转移室模块18b和18i之间并且可以限定合适的处理模块、（多个）负载锁ll、（多个）缓冲站、（多个）度量站、或者（多个）任何其它期望的站。例如，间隙化模块（诸如，负载锁56a和56以及工件站30i）可以分别具有固定工件支架/搁架56s1、56s2、30s1、30s2，该固定工件支架/搁架56s1、56s2、30s1、30s2可以与传输臂协作以便实现传输或者使工件沿着传输室的线性轴线x通过传输室的长度。举例来说，可以通过接口区段12将（多个）工件装载到传输室416中。（多个）工件可以由接口区段的传输臂15定位在负载锁模块56a的（多个）支架上。在负载锁模块56a中，可以通过模块18b中的传输臂26b来使（多个）工件在负载锁模块56a与负载锁模块56之间移动，并且利用臂26i（在模块18i中）使其按照相似且连续的方式在负载锁56与工件站30i之间移动，并且利用模块18i中的臂26i使其在站30i与站412之间移动。该过程可以完全地或者部分地颠倒以便使（多个）工件在相反方向上移动。因此，在一个方面中，可以使工件沿着轴线x在任何方向上移动并且沿着传输室移动至任何位置，并且可以被装载至与传输室通信的任何期望模块（处理模块或者其它模块）或者从该任何期望模块上被卸载。在其它方面中，可能未在传输室模块18b和18i之间提供具有静态工件支架或者搁架的间隙化传输室模块。在这些方面中，邻接传输室模块的传输臂可以直接将工件从末端执行器或者一个传输臂传递至另一传输臂的末端执行器以便使工件移动通过传输室。处理站模块可以通过各种沉积、蚀刻、或者其它类型的处理来在基底上操作以便在基底上形成电路或者其它期望结构。处理站模块连接至传输室模块以便允许将基底从传输室传递至处理站以及反之亦然。美国专利第8,398,355号中描述了与在图1d中描绘的处理设备具有相似的一般特征的处理工具的合适示例，其在先前以引用的方式全部并入本文。

现在参照图3a、图3b、以及图3c，上文所描述的传输设备包括连接至传输设备的框架f（图1c）的驱动器区段或者单元300。在一个方面中，驱动器区段300包括框架或者支撑结构300f，该框架或者支撑结构300f按照任何合适的方式连接至基底传输设备的框架f，诸如例如，通过联接至框架300f的一端（例如，顶部300ft或者底部300fb）的凸缘305。在其它方面中，框架300f是侧部安装框架，其具有用于安装至例如基底处理设备（诸如，本文所描述的那些基底处理设备）的侧部安装设置。框架300f的侧部安装部可以从框架的侧部300fs悬垂，限定出运动联接器，该运动联接器允许框架300f具有可互换性。在一个方面中，框架300f大体上类似于在2013年11月5日公布的美国专利申请第8,573,919号中描述的框架，其公开内容全部以引用的方式并入本文。

驱动器区段300的框架300f具有任何合适的形状和配置，诸如例如，具有顶部300ft、底部300fb、以及至少一个侧部300fs的一般柱形或者通道形状。在一个方面中，框架300f是单壳式或者半单壳式构造（即，框架300f所形成的壁或者外壳是负载轴承并且承载着给予框架330f的负载）。在一个方面中，框架300f是一体式构造（即，单件式构件）。在一个方面中，框架300f由任何合适的金属（诸如，不锈钢或者铝合金）锻造而成、铸造而成、挤压成型、或者成形加工而成。在其它方面中，框架300f可以由任何合适的塑料、陶瓷、以及/或者复合材料构造而成。在一个方面中，框架300f的底部300fb包括端板300ep，该端板300ep按照任何合适的方式联接至底部fb以便至少部分地限定出框架300f的内部空间。在一个方面中，端板300ep为部件（诸如，电子器件包或者控制器300c）提供安装平台。控制器300c是被配置为控制马达堆体310的每个单独的马达模块的任何合适的控制器。在一个方面中，控制器300c按照任何合适的方式连接至控制器11091并且可以与控制器11091通信以便实现与驱动器区段300相关联的基底传输设备的操作。

马达堆体310按照任何合适的方式可移动地安装在框架300f内。例如，同样参照图3d，具有可变长度（即，z高度dz）的可移动托架320被安装在框架300f内并且被配置为可移动地支撑马达堆体以用于使马达堆体310沿着z方向移动（例如，线性滑动移动）。在一个方面中，可移动托架320通过使用所有行程共同的部件来给传输设备提供约50mm、约100mm、约135mm、以及/或者约150mm的z轴线行程zs（图8a至图8c）。在其它方面中，可移动托架提供大于约150mm或者小于约50mm以及在此之间的任何合适的z轴线行程。如本文将描述的，可移动托架允许在主轴组件类型和数量上具有灵活性，同时改进马达/主轴的对准性。托架320包括一个或多个导轨320r1和320r2、第一或者上滑动构件230s1、以及第二或者下滑动构件320s2，其中，一个或多个导轨320r1和320r2是第一滑动构件320s1和第二滑动构件320s2两者共有的，并且第一滑动构件320s1和第二滑动构件320s2彼此隔开。一个或多个导轨320r1和320r2按照任何合适的方式联接至框架300f。在一个方面中，一个或多个导轨320r1和320r2机械地联接至框架300f，而在其它方面中，一个或多个导轨320r1和320r2与框架300f形成为整体。例如，在一个方面中，一个或多个导轨320r1和320r2与框架300f形成为整体的统一单件式构件。第一滑动构件320s1和第二滑动构件320s2可移动地安装至一个或多个导轨320r1和320r2，以便使得第一滑动构件320s1和第二滑动构件320s2中的每一个可独立于第一滑动构件320s1和和第二滑动构件320s2中的另一个沿着一个或多个导轨320r1和320r2的长度自由地移动（第一滑动构件320s1和第二滑动构件320s2中的每一个包括单独的对应线性轨道压板320sp1和320sp2）。在一个方面中，第一滑动构件320s1和第二滑动构件320s2中的每一个的独立移动提供如本文所描述的托架320的可变z高度dz，以便使得托架320取决于马达堆体310中所包括的马达模块401的数量和配置而占据不同的主轴长度。

第一滑动构件320s1包括马达底座320m1，该马达底座320m1被配置为联接至马达堆体310中的最上部（即，顶部）马达模块401并且在空间上定位该最上部（即，顶部）马达模块401。例如，马达底座320m1包括任何合适的（多个）定位特征370，该定位特征370将马达堆体310的顶部定位在框架300f内的预定位置处并且使马达堆体310的顶部固定以防其进行侧向（sidetoside）移动。在一个方面中，定位特征370是销或者槽，该销或者槽配置为与马达模块401上的对应销或者槽接合，而在其它方面中，（多个）定位特征370是相配沟槽或者任何其它保持特征。第二滑动构件320s2包括马达底座320m2，最下部（即，底部）马达模块401的至少一部分联接至该马达底座320m2。在一个方面中，同样参照图4b，马达堆体基部构件310b联接至并且形成马达底座320m2的至少一部分。马达堆体基部构件310b从第二滑动构件320s2延伸出去并且悬臂式延伸出去以便至少部分地支撑马达堆体310。在一个方面中，马达堆体基部构件310b包括运动定位特征310bk，该运动定位特征310bk与底部马达模块401的对应运动相配特征401k交界和接合，以用于相对于框架300f内的主轴组件spa的中心线cl位置将底部马达模块定位在预定位置中（例如，在x轴线、y轴线、以及z轴线中的每一个中以及在预定旋转（即，θ）方向上的预定位置）。应理解，尽管在图4a中图示的主轴组件spa被示出为具有与两个马达模块401a和401b相对应的两个驱动器轴450和451的同轴的主轴组件，然而，在其它方面中，同轴的主轴组件spa具有任何合适数量的驱动器轴（诸如，多于或者少于两个），其与设置在驱动器区段300中的任何合适数量的马达模块401相对应。例如，图6图示了具有三个马达模块401a、401b、401c的三轴线驱动器，其与具有三个驱动器轴的三轴主轴组件相对应。

在一个方面中，马达堆体基部构件310b形成用于马达堆体310（以及因此联接至马达堆体310的传输臂）的z轴线位置的参考基准rdb。在一个方面中，驱动器区段300的z轴线驱动器模块315按照任何合适的方式联接至马达堆体基部构件310b以用于实现马达堆体基部构件310b、第一滑动构件320s1和第二滑动构件320s2以及联接至其的马达堆体310作为整体沿着一个或多个轨道320r1和320r2在z方向上的位移。在一个方面中，采用可变长度的托架320，以便使得托架320与马达堆体310之间的共同联接会确保用于在不受干扰的情况下适应可变马达堆体高度和z驱动的空间，如本文所描述的，其中，在马达堆体310的顶部的位置随着不同的马达堆体310高度dz1、dz2、dz3（见图8a至图8c）变化时，马达堆体基部构件310b所形成的z轴线位置参考基准与底部马达模块401上的对应基准表面对接。

固定平台330设置在框架330f内并且按照任何合适的方式连接至框架330f。固定平台330被配置为支撑任何合适的z轴线驱动器模块315（例如，该z轴线驱动器模块按照任何合适的方式安装至固定平台330）。z轴线驱动器模块可操作地联接至托架滑动构件320s1和320s2以及马达堆体基部构件310b中的一个或多个以用于使马达堆体310沿着z轴线移动。在一个方面中，z轴线驱动器模块，在一个方面中，是滚珠螺杆驱动器或者任何其它合适的线性致动器。

参照图4a，马达模块401a包括壳体401h，该壳体401h具有马达模块高度sha。如本文所描述的，马达模块的部件设置在壳体401h内并且受马达模块高度sha限制。在一个方面中，马达模块401a包括马达401m，该马达401m限定出驱动器区段300的单个轴线或者共同轴线。马达包括定子401s和对应的转子401r。定子401s至少部分地固定在壳体401h内。转子401r按照任何合适的方式可移动地安装在壳体401h内。例如，在一个方面中，至少一个机械轴承401b设置在壳体内，以便使得至少一个机械轴承的外座圈固定至壳体以用于将至少一个机械轴承401b固定在壳体401h内。至少一个机械轴承401b的内座圈联接至转子401r以用于可移动地将转子401r支撑在壳体401h内以便使得转子401r可操作地与定子401s交界。与常规的驱动马达不同，壳体401h的轴承/转子支架401hs设置为定位至少一个机械轴承401b以便使得至少一个机械轴承401b至少部分地嵌套在定子401s内以形成具有紧凑马达模块高度的马达模块，即是说，当与常规的马达相比时，独立于机械驱动器轴轴承401b和401b'（见图4a和图5）。例如，如能够在图4a中看到的，实现了紧凑马达模块高度，以便使得转子401r成形为具有通道截面，从而使得轴承/转子支架401hs至少部分地设置在转子401r的通道内。在一个方面中，马达壳体401h包括一个或多个凹槽或者凹口nr（图6），该一个或多个凹槽或者凹口nr允许一个或多个托架滑动件320s1和320s2落在马达401m的半径内，以便使得马达壳体401h和托架滑动件320s1和320s2落在轨道320r1和320r2内并且驱动器区段的直径/半径减小。当与常规马达的结构相比时（在常规马达中，转子和轴承支架大体上是内联的并且彼此上下堆叠以便使得轴承位于定子上方），公开的实施例的方面提供更加紧凑的马达，当与常规马达相比时，该更加紧凑的马达具有减小的模块高度sha。本文描述的公开的实施例的方面还提供一种独立的马达模块401，其中，马达模块401的马达（诸如，马达401m）、轴承（诸如，轴承401b）、转子（诸如，转子401r）、以及编码器410是独立于主轴组件spa的相应驱动器轴的独立的模块化单元。例如，在一个方面中，主轴组件spa的相应驱动器轴按照任何合适的方式在马达模块组件之后安装在相应马达模块401中。例如，通过将相应驱动器轴按压到轴承401b的内座圈中来将相应驱动器轴安装在独立的马达模块401中。

在一个方面中，马达模块401a包括任何合适的编码器410，编码器410与例如控制器300c通信以便实现对马达401m的旋转θ位置（以及因此联接至驱动器区段300的转移臂的至少对应部分的位置）的指示。在一个方面中，同样参照图7，编码器410包括任何合适的传感器410s和至少一个编码器码道410t。传感器410s按照任何合适的方式安装至壳体401h，以便使得传感器410s定位为读取至少一个编码器码道410t。在一个方面中，编码器码道410t包括绝对刻度和增量刻度中的一个或多个。

仍参照图4a，如上文所描述的，马达模块401是能够堆叠在马达堆体310中以形成具有任何合适数量的驱动器轴线的驱动器区段300的模块化单元。作为示例，图4a图示了具有两个马达模块401a和401b的马达堆体，该两个马达模块401a和401b形成双轴线驱动器区段300。每个马达模块401a和401b的壳体401h包括任何合适的位置特征700（图7），该位置特征700被配置为在空间上相对于马达堆体310中的一个马达模块401a和401b来定位马达模块401a和401b中的另一个。例如，一个马达模块401a和401b的壳体401h包括至少一个销和至少一个凹槽，该至少一个销和至少一个凹槽与另一马达模块401a和401b的另一壳体401h上的对应销和凹槽接合，以用于使马达模块401a和401b相对于彼此以及框架300f内的主轴组件spa的中心线cl在x方向、y方向、以及θ方向上定向，注意，底部马达模块（在该示例中为马达模块401a）通过其与马达堆体基部构件310b的对接形成马达堆体310的参考基准。在其它方面中，（多个）壳体401h具有任何合适的定位特征，该定位特征用于相对于马达堆体310中的一个壳体401h来定位另一壳体401h。

马达模块401a和401b设置在马达堆体310中以便使得每个马达模块401a和401b的各定子401s邻近彼此，从而使得非磁性罐形密封件或者隔离壁470跨越在相应壳体401h之间以便形成共同密封，该共同密封使相应定子401s与相应定子401s所操作的环境气密地隔离。在一个方面中，罐形密封件470包括成形为罐或者以其他方式具有圆柱形配置的密封件。在一个方面中，罐形密封件470大体上类似于在2014年11月13日提交的且名称为“sealedrobotdrive”的美国专利申请第14/540,072号中描述的罐形密封件，其公开内容全部以引用的方式并入本文。在一个方面中，罐形密封件470被集成到马达模块401的壳体401h（例如，定子壳体）中，然而，在另一方面中，罐形密封件470（见图4d）可以与定子形成为整体或者以其他方式与定子集成在一起（例如，与驱动壳体隔开）以便使得定子在结构上支撑罐形密封件470。在一个方面中，罐形密封件470提供对可互换模块的选择，因为该密封件在马达堆体310中的马达模块401a和401b的堆叠期间被插入在马达模块401a和401b之间。在一个方面中，罐形密封件470利用设置在罐形密封件470与壳体401h之间的一个或多个密封件480来密封至壳体401h。

马达模块401b基本上类似于马达模块401a。在图4a中图示的方面中，马达模块401b被图示为相对于马达模块401a颠倒，以便使得每个马达模块401a和401b的定子401s设置为邻近彼此。在其它方面中，马达模块401a和401b具有相同的方位，以便使得定子设置为朝向马达堆体310的顶部310t或者马达堆体310的底部310b。应理解的是，当在本文中使用时，术语“顶部”和“底部”指的是将驱动器区段300和马达堆体310定向为使得中心线cl竖直地设置，然而，在中心线cl水平地设置的方面中，则可以使用不同于“顶部”和“底部”的术语来描述马达堆体310和驱动器区段300的终端。如本文将描述的，在一个马达模块401的定子401s未定位为邻近另一马达模块401的定子401s的情况下，盖子或者中间基部600b附接至马达模块401以便为罐形密封件470提供接口并且因此在堆叠的马达模块401之间提供密封表面。在一个方面中，任何合适的密封件460设置在每个马达模块401的顶部和底部处以在各马达模块之间形成密封并且在底部马达模块401a和马达堆体基部构件310b之间形成密封，从而使得与罐形密封件470一起将马达堆体310的移动部件设置在密封环境中。

现在参照图5，在一个方面中，马达模块401被配置为提供不同的相应驱动器特性，诸如，不同的转矩量。在图5中图示的方面中，双轴线马达堆体310被图示为具有马达模块401a，马达模块401a是低转矩马达模块，并且马达模块401c（其基本上类似于马达模块401a，但用于其转矩输出）是高转矩马达模块，其输出比低转矩马达模块401a更高/更大的转矩。马达模块401c的壳体401h'具有模块高度shb，由于例如马达模块401c的增加的转矩配置，所以模块高度shb大于马达模块401a的模块高度sha（图4a）。在该方面中，马达模块401c包括马达401m'，马达401m'具有定子401s'和转子401r'。转子401r'联接至（多个）轴承401b'的内座圈，主轴组件spa的驱动器轴联接至该（多个）轴承401b'。马达模块401c包括如上文所描述的编码器410（在图5中图示了编码器码道410t）。要注意的是，马达模块401c的编码器码道410r在一个方面中位于驱动器轴上，而在其它方面中，编码器码道410t按照上文所描述的方式联接至（多个）轴承401b'的内座圈。如能够在图5中看到的，高转矩马达模块401c和低转矩马达模块401a的定子401s和401s'被设置为邻近彼此，以便使得罐形密封件470跨越在高转矩马达模块401c和低转矩马达模块401a之间并且是这两者所共有的。要注意的是，尽管低转矩马达模块401被图示为马达堆体310中的底部马达模块（例如，形成用于马达堆体的参考基准），但在其它方面中，高转矩马达模块401c位于马达堆体的底部上以便形成马达堆体310的参考基准。在其它方面中，为了实现更大的转矩，将任何合适数量的马达模块401a、401b、401c组合起来以便使得所组合的马达模块共享共同驱动器轴并且将由所组合的马达模块生成的转矩共同地应用至共同驱动器轴。例如，马达模块401a和401b可以共享共同驱动器轴，从而所组合的马达模块的输出是每个马达模块401a和401b单独的输出的两倍。如能够意识到的，所组合的马达模块可以是高转矩马达模块和/或低转矩马达模块的任何合适的组合。

参照图6，如上文参照图4a所描述的那样设置三轴线马达堆体，该三轴线马达堆体具有两个低转矩马达模块401a和401b以及高转矩马达模块401c。在该方面中，马达模块401a和401b的定子401s设置为邻近彼此以便共享共同罐形密封件470。由于马达模块的奇数数量，所以不存在能够与马达401m'的定子401s'配对的定子。这样，中间基部600b联接至马达模块401c的一端以便形成罐形密封件470'的接口（其大体上类似于罐形密封件470，然而，罐形密封件470'具有与单个定子而不是多个定子相对应的长度）以及与马达堆体310中的另一马达模块401b的接口。应理解的是，马达模块401a、401b、401c可以按照任何顺序设置在马达堆体310内，这取决于例如主轴组件spa中的每个驱动器轴的预定转矩输出，其中，仅仅为了示例性目的，底部驱动器模块与最内部驱动器轴相对应，并且顶部马达模块与最外部驱动器轴相对应。

现在参照图8a、图8b、以及图8c，如上文所描述的，托架滑动件320s1与托架滑动件320s2相距的距离取决于马达堆体310的高度，从而马达堆体外壳（即，组合的马达模块壳体401h和401h'形成马达堆体外壳）形成托架320的至少一部分（例如，马达堆体将托架滑动件320s1和320s2结合至彼此）并且马达堆体高度sh设定托架320的高度。例如，图8a图示了具有马达模块401a和401b的马达堆体310，马达模块401a和401b分别具有模块高度sha，以便使得托架具有长度dz1，长度dz1大体上等于模块高度sha的两倍。图8b图示了具有马达模块401a和401c的马达堆体310，其中，马达模块401a具有模块高度sha并且马达模块401c具有模块高度shb，以便使得托架具有长度dz2，长度dz2大体上等于模块高度sha加上模块高度shb。图8c图示了具有马达模块401a、401b以及401c的马达堆体310，其中，马达模块401a和401b分别具有模块高度sha并且马达模块401c具有模块高度shb，以便使得托架具有长度dz2，长度dz2大体上等于二乘以模块高度sha加上模块高度shb。如能够意识到的，托架320可以具有任何其它合适的长度，这取决于被放置在马达堆体310中的马达模块401的数量和类型（例如，高转矩或者低转矩）。在图8a至图8c中图示的各种配置以及公开的实施例的各方面通常提供相应的z行程zs，如本文针对晶圆转移平面wtp所描述的。晶圆转移平面wtp至例如制造设施的地板的高度是由“国际半导体设备和材料标准”来限定。如上文所描述的，本文所描述的马达模块401具有紧凑马达模块高度，当与常规基底传输马达/马达模块相比时，该紧凑马达模块高度允许相对于从晶圆转移平面至例如制造设施地板的给定高度安装增加数量的马达模块以及/或者增加能力的马达模块（例如，高转矩马达模块，诸如，马达模块401c）。

现在参照图4a和图9，将对公开的实施例的方面的示例性操作进行描述。在一个方面中，从多个不同的马达模块401a、401b、401c选择至少一个马达模块401（图9，框900）。（多个）所选择的马达模块联接至驱动器区段300以及至少控制器300c（图9，框910）。例如，（多个）马达模块401安装至或者以其他方式联接至如上文所描述的托架320。例如，通过控制器300c和/或控制器11091从相应存储器401cr获取（多个）所选择的马达模块401中的每一个的马达模块特定属性（图9，框920）。控制器300c和/或控制器11091通过生成用于相应（多个）马达模块401的命令轨线运动参数来操作基底传输设备（诸如，本文所描述的那些基底传输设备），以便在不用在将马达模块安装在驱动器区段300中之后对马达模块进行进一步调整的情况下（例如，在不用对驱动器区段中的马达模块进行原位调整的情况下）基于所选择的（多个）马达模块401的特定属性来实现期望的转矩、位置、以及（多个）时间要求（图9，框930）。

根据公开的实施例的一个或多个方面：

一种基底传输设备，其包括：

框架；以及

驱动器区段，该驱动器区段连接至框架，该驱动器区段包括：

多驱动器轴主轴，该多驱动器轴主轴具有至少一个同轴的轴主轴；

设置成堆体的多于一个的不同的可互换马达模块，该多于一个的不同的可互换马达模块的每一个具有可操作地连接至同轴的轴主轴的对应轴的马达并且限定驱动器区段的对应的独立驱动器轴线，每个模块的马达相应地具有固定至框架的马达定子以及连接至对应轴的马达转子；以及

罐形密封件，该罐形密封件设置在每个马达模块的马达定子和马达转子之间并且使相应的马达定子和马达转子彼此气密地密封；

其中，堆体中的不同的可互换马达模块中的至少一个能够从能够放置在该堆体中的其它不同的可互换马达模块选择以用于放置在堆体中，不同的可互换马达模块相应地具有与在堆体中的放置无关的不同的预定特性，模块的不同的预定特性限定对应驱动器轴线的与轴主轴位置无关的不同的预定驱动器特性，以便使得对至少一个马达模块的选择确定与独立驱动器轴线中的另一个不同的对应轴线的不同的预定驱动器特性。

上文的基底传输设备，其中，罐形密封件跨越驱动器区段的不同的可互换模块之间的接口。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，堆体高度是可变的，其中，对至少一个模块的选择会改变堆体的高度。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，同轴的轴主轴包括三轴主轴。

上文的一个或多个内容的基底处理设备，其中，马达模块中的至少一个具有嵌套在相应定子内的轴主轴机械轴承。

上文的一个或多个内容的基底处理设备，其中，至少一个马达模块是紧凑高度模块，其中，紧凑高度模块的模块高度与轴主轴机械轴承无关。

上文的一个或多个内容的基底处理设备，其中，驱动器区段进一步包括z轴托架，该z轴托架连接至堆体的顶部马达模块和底部马达模块。

上文的一个或多个内容的基底处理设备，其中，马达模块联接至彼此以便形成堆体，并且堆体的所联接的马达模块限定z轴托架。

一种基底传输设备，其包括：

框架；以及

驱动器区段，该驱动器区段连接至框架，该驱动器区段包括：

驱动器轴主轴，该驱动器轴主轴具有至少一个驱动器轴；

设置成堆体的多于一个的可互换马达模块，该多于一个的可互换马达模块的每一个具有可操作地连接至驱动器轴主轴的对应驱动器轴的马达并且限定驱动器区段的对应的独立驱动器轴线，每个模块的马达分别具有固定至框架的马达定子以及连接至对应轴的马达转子；

其中，堆体中的可互换马达模块中的至少一个能够从能够放置在堆体中的其它可互换马达模块选择以用于放置在堆体中；以及

线性滑动托架，该线性滑动托架具有联接至堆体中的马达模块的预定共同联接器，该线性滑动托架具有可调节的长度以便实现利用预定共同联接器将线性滑动托架联接至具有相应堆体高度的不同堆体。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，线性滑动托架的预定共同联接器具有联接部，该联接部与堆体中的底部马达模块接合并且限定用于固定堆体的z高度位置的z轴线参考基准。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，线性滑动托架的预定共同联接器具有另一联接部，该另一联接部与堆体中的顶部马达模块接合并且被配置为使得联接部与另一联接部之间的长度是可变长度。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，联接部与另一联接部之间的长度由堆体的高度来设定。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，联接部和另一联接部具有单独的对应线性轨道压板。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，设置成堆体的多于一个的可互换马达模块包括两个马达模块，并且至少一个驱动器轴包括两个驱动器轴，每个驱动器轴与两个马达模块中的相应一个马达模块相对应。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，设置成堆体的多于一个的可互换马达模块包括三个马达模块，并且至少一个驱动器轴包括三个驱动器轴，每个驱动器轴与三个马达模块中的相应一个马达模块相对应。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其进一步包括罐形密封件，该罐形密封件设置在每个马达模块的马达定子和马达转子之间并且使相应的马达定子和马达转子彼此气密地密封。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，堆体中的每个马达模块具有与在堆体中的放置无关的不同的预定特性，模块的不同的预定特性限定对应驱动器轴线的与轴主轴位置无关的不同的预定驱动器特性，以便使得对至少一个马达模块的选择确定与独立驱动器轴线中的另一个不同的对应轴线的不同的预定驱动器特性。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，对马达模块的选择限定线性滑动托架的高度。

一种基底传输设备，其包括：

框架；以及

驱动器区段，该驱动器区段连接至框架，该驱动器区段包括：

驱动器轴主轴，该驱动器轴主轴具有至少一个驱动器轴；

设置成堆体的多于一个的不同的可互换马达模块，该多于一个的不同的可互换马达模块的每一个具有可操作地联接至驱动器轴主轴的对应驱动器轴的马达并且限定驱动器区段的对应独立驱动器轴线，每个模块的马达相应地具有固定至框架的马达定子、连接至对应轴的马达转子、以及固定至框架的轴主轴机械轴承，其中，轴主轴机械轴承的至少一部分嵌套在定子内；以及

其中，堆体中的不同的可互换马达模块中的至少一个能够从能够放置在该堆体中的其它不同的可互换马达模块选择以用于放置在堆体中。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，驱动器区段进一步包括罐形密封件，该罐形密封件设置在每个马达模块的马达定子和马达转子之间并且使相应的马达定子和马达转子彼此气密地密封。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，罐形密封件跨越驱动器区段的不同的可互换模块之间的接口。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，不同的可互换马达模块中的每一个具有与在堆体中的放置无关的不同的预定特性，模块的不同的预定特性限定对应驱动器轴线的与轴主轴位置无关的不同的预定驱动器特性，以便使得对至少一个马达模块的选择会确定与独立驱动器轴线中的另一个不同的对应轴线的不同的预定驱动器特性。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，堆体高度是可变的，其中，对至少一个模块的选择改变堆体的高度。

上文的一个或多个内容的基底传输设备，其中，驱动器轴主轴包括三轴主轴。

上文的一个或多个内容的基底处理设备，其中，至少一个马达模块是紧凑高度模块，其中，紧凑高度模块的模块高度与轴主轴机械轴承无关。

上文的一个或多个内容的基底处理设备，其中，驱动器区段进一步包括z轴托架，该z轴托架连接至堆体的顶部马达模块和底部马达模块。

上文的一个或多个内容的基底处理设备，其中，马达模块联接至彼此以便形成堆体，并且堆体的所联接的马达模块限定z轴托架。

应理解的是，前述描述仅仅图解说明了公开的实施例的各方面。在不背离公开的实施例的各方面的情况下，本领域的技术人员可以设想各种替代例和修改例。相应地，公开的实施例的各方面意在涵盖落在所附权利要求书的范围内的所有这些替代例、修改例、以及变化例。进一步地，在彼此不同的从属或者独立权利要求中叙述了不同的特征，这一不争的事实并不表明不能够有利地使用这些特征的组合，这种组合仍被包括在本发明的各方面的范围内。