技术特征：
技术总结
提供一种能抑制结露的产生的基板搬运装置、包括该基板搬运装置的基板处理装置、以及抑制在基板搬运装置产生结露的结露抑制方法。该基板搬运装置包括：基板把持部(301a、301b)，该基板把持部(301a、301b)对基板进行把持；筐体(300)；驱动机构(302)，该驱动机构(302)的至少一部分设于所述筐体(300)内，并使用空气对所述基板把持部(301a、301b)进行驱动。所述驱动机构(302)能向所述筐体(300)内供给空气。
技术研发人员：铃木宪一;小菅隆一;斎藤贤一郎
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
技术研发日：2017.04.01
技术公布日：2017.10.20