多层布线的晶圆级三维封装结构的制作方法

文档序号:13738070阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明实施例涉及集成电路的封装领域。本发明实施例中,多层布线的晶圆级三维封装结构,该三维封装结构由若干个二维集成结构通过金属焊料上下互连组成;二维集成结构包括功能芯片(或多层布线转接板)、垂直互连转接板、填充材料和再布线层,将功能芯片(或多层布线转接板)、垂直互连转接板同一水平面放置且通过填充材料封装为一个整体,在所得结构表面设有再布线层且通过再布线层实现功能芯片信号引出端的转移。本发明利用多层布线转接板增加系统的布线层数,并采用可提高生产效率的垂直互连转接板并采用侧边垂直互连转接方法,将二维集成结构堆叠形成三维封装结构,实现总体封装的高密度、高复杂性集成。

技术研发人员:明雪飞;张荣臻;朱媛
受保护的技术使用者:中国电子科技集团公司第五十八研究所
技术研发日:2017.08.22
技术公布日:2018.02.16
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