基板液处理装置和基板液处理方法与流程

技术特征：

1.一种基板液处理装置，具备：

载置部，其载置从外部搬入的基板；

液处理部，其通过使所述基板以所述基板的板面与水平方向正交的姿势浸在处理液中，来对所述基板进行处理；

搬送部，其在所述载置部与所述液处理部之间搬送所述基板；以及

旋转部，其使利用所述液处理部进行了第一处理的所述基板以与所述基板的板面垂直的轴为中心进行旋转，

其中，所述旋转部使所述基板旋转为与进行所述第一处理时的朝向不同的朝向，

所述搬送部将利用所述液处理部进行了所述第一处理的所述基板从所述液处理部搬送到所述旋转部，将通过所述旋转部来进行了旋转的所述基板从所述旋转部搬送到所述液处理部，

所述液处理部使通过所述旋转部来进行了旋转的所述基板浸在所述处理液中，由此进行第二处理。

2.根据权利要求1所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述旋转部具备壳体，该壳体以收纳有所述基板的状态进行旋转，

在所述壳体上以使所述基板从同一方向被搬入和搬出的方式形成有多个开口部。

3.根据权利要求1或2所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述旋转部使所述基板以与所述基板的板面垂直的轴为中心旋转180度。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述旋转部设置有多个。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述旋转部具备支承所述基板的支承部，

所述支承部具备突出部，该突出部从载置所述基板的载置面的外侧朝向支承所述基板的方向突出，形成有沿着所述基板的外周端的内周壁。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的基板液处理装置，其特征在于，还具备使所述基板干燥的干燥部，

所述搬送部将利用所述干燥部进行了干燥的所述基板搬送到所述旋转部。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述液处理部将所述第一处理和所述第二处理在相同的处理条件下进行。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述液处理部具备贮存相同的所述处理液的多个液处理槽，

针对同一所述基板，所述第一处理和所述第二处理是在同一所述液处理槽中进行的。

9.根据权利要求1至7中的任一项所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述液处理部具备贮存相同的所述处理液的多个液处理槽，

使所述基板浸在所述多个液处理槽中的未浸有所述基板的空闲状态的所述液处理槽中。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述液处理部具备喷出部，该喷出部沿着所述基板的板面喷出所述处理液。

11.一种基板液处理方法，包括以下步骤：

使用搬送部将基板从载置部搬送到液处理部，该载置部载置从外部搬入的所述基板，该液处理部通过使所述基板以所述基板的板面与水平方向正交的姿势浸在处理液中来对所述基板进行处理；

在所述液处理部中，通过使所述基板浸在所述处理液中来进行第一处理；

使用所述搬送部将进行了所述第一处理的所述基板从所述液处理部搬送到旋转部，该旋转部使所述基板以与所述基板的板面垂直的轴为中心进行旋转；

在所述旋转部中，使所述基板旋转为与进行所述第一处理时的朝向不同的朝向；

利用所述搬送部将通过所述旋转部来进行了旋转的所述基板从所述旋转部搬送到所述液处理部；以及

在所述液处理部中，使通过所述旋转部来进行了旋转的所述基板浸在所述处理液中，由此进行第二处理。