技术总结
本发明揭示了一种多晶硅片清洗系统及其清洗方法，包括上料工位、清洗工位及下料工位，且三个工位均借助输送装置实现各个工位的连接，多晶硅片通过输送装置可从下料工位进入制绒槽，清洗工位依顺序设置有喷淋装置、擦拭装置及干燥装置，且喷淋装置、擦拭装置及干燥装置之间通过输送装置相连接；多晶硅片清洗系统还包括控制装置；输送装置、喷淋装置、擦拭装置及干燥装置均与控制装置相连接并受控制装置的控制。本发明清洗工位上设置有喷淋装置、擦拭装置及干燥装置，可以加大多晶硅表面的水分蒸发，减少对制绒槽内的化学试剂及制绒槽的污染，从而延长制绒槽内化学试剂的使用时间，另外可以缩短多晶硅电池片工艺的流程时间，从而提高生产效率。
技术研发人员：李虹罡
受保护的技术使用者：中建材浚鑫科技有限公司
技术研发日：2017.12.06
技术公布日：2018.06.12