焊盘结构的制作方法及倒装LED芯片的制作方法与流程

文档序号:14573433发布日期:2018-06-02 00:09阅读:来源:国知局
技术总结
公开了一种焊盘结构的制作方法,所述焊盘结构应用于倒装LED芯片,所述倒装LED芯片包括由上而下的衬底、外延层、电流扩展层、连通电极、绝缘反射层和焊盘结构,包括:通过蒸发或溅射方式在所述绝缘反射层上形成第一接触层;通过电镀或化学镀方式在所述第一接触层上形成阻隔层;通过电镀、化学镀或热阻蒸发方式形成共金层;其中,所述阻隔层的厚度为0.5‑5μm,粗糙度为10‑30nm。本发明还提供了一种倒装LED芯片的制作方法,解决了回流焊过程中锡向芯片表面扩展的问题,工艺简单、成本低,便于大量生产。

技术研发人员:李东昇;丁海生;马新刚;赵进超
受保护的技术使用者:杭州士兰明芯科技有限公司
技术研发日:2017.12.26
技术公布日:2018.06.01

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